Stroj za natančno brušenje in poliranje MDAM-CMP100/150, glavna enota in vsi rezervni deli so izdelani iz materialov, ki so zelo odporni proti koroziji. Celoten stroj je odporen proti koroziji, stabilen, odporen proti obrabi in rji, primeren za kemično mehansko brušenje in poliranje različnih polprevodniških materialov. Delovni prostor je ločen od nadzornega območja zaslona in je digitalno nadzorovan s sistemom upravljanja z zaslonom na dotik. Je CNC krmiljen, shranjen in priklican.
Sistem naprave ima časovno funkcijo, ki lahko neprekinjeno deluje 10 ur in nadzoruje hitrost polirne plošče. Nadzorna plošča je nameščena zunaj delovnega območja, da se prepreči brizganje abrazivne raztopine na nadzorno ploščo. Vse parametre gostitelja je mogoče prilagoditi na zaslonu na dotik. Parametri gostiteljskega procesa imajo funkcije shranjevanja in pridobivanja, ki zagotavljajo doslednost in ponovljivost procesa. Vzorec rezin je adsorbiran na spodnjo površino vpenjala z vakuumskim črpanjem, opremljen z vakuumsko črpalko brez olja in ima neodvisno funkcijo proti povratnemu sesanju.
Vzorec horizontalnega rotacijskega pogonskega sistema vzorca konfiguracije vpenjala ima funkcijo nihanja z nastavljivim območjem nihanja od 0 do 100 %. Amplitudo nihanja in hitrost frekvence je mogoče natančno nastaviti prek nadzorne plošče. Napeljava je opremljena z neodvisnim pogonskim sistemom za vrtenje, z nastavljivim razponom hitrosti 0-120rpm. Ta funkcionalna zasnova zagotavlja popolno poliranje vzorca med postopkom brušenja in poliranja, kar močno izboljša zmogljivost poliranja in učinkovitost opreme.
Napeljava je opremljena z digitalno tabelo za spremljanje debeline z natančnostjo spremljanja 1 μm. Pritisk vpenjala na vzorec rezin je zvezno nastavljiv, z razponom tlaka 0-3.5 kg in natančnostjo 2 g/cm² ter opremljen z napravo za merjenje tlaka.
Delovanje brusilne in polirne plošče krmili glavni pogon, hitrost plošče pa je mogoče nastaviti od 0 do 120 obratov na minuto. To območje spreminjanja hitrosti učinkovito zagotavlja hitrost brušenja in poliranja vzorcev različnih trdot in velikosti materialov, s čimer se dosežejo višji procesni indikatorji. Zamenjava brusnih plošč in polirnih plošč je enostavna in hitra, z vgrajenimi ploščami, ki opremi omogočajo hiter prehod iz postopka brušenja na postopek poliranja, kar močno skrajša čas postopka. In brusilni disk je opremljen z blokom za popravilo diska, ki zagotavlja dobro ravnost brusilnega diska.