Točilna in polirna mašina MDAM-CMP100/150, glavni enotnik in vsi deli so izdelani iz materialov z visoko upornostjo pred korozijskim poškodovanjem. Celotna mašina je upornika pred korozijskim poškodovanjem, stabilna, odupna in upornika pred ržavo, primerna za kemsko-mehansko točenje in poliranje različnih polprevodniških materialov. Delovno prostor je ločen od območja za prikaz in nadzor ter se upravlja s pomočjo digitalnega sistema z dotiknim zaslonom. Je CNC upravljana, omogoča shranjevanje in ponovno branje.
Sistem naprave ima funkcijo časovanja, ki lahko deluje neprestano 10 ur in nadzira hitrost polirnega diska. Nadzorna plošča je nameščena zunaj delovne območja, da se izognemo skakanju oštrkivačke na nadzorno ploščo. Vse parametre glavnega enote je mogoče prilagajati na dotikovnem zaslonu. Procesni parametri glavne enote imajo funkcije shranjevanja in ponovnega poizvedovanja, da se zagotovi skladnost in ponovljivost procesa. Vzorec peljke je adsorbovan na spodnji ploskvi pripeva s pomočjo vakuumiranja, opremljen s vakuumskim pumpom brez olja in ima neodvisno funkcijo za spremljanje obratnega sukanja.
Vzornični konfiguracijski vzorec s horizontalnim rotacijskim gonilnim sistemom ima oscilacijsko funkcijo, pri čemer je obseg oscilacije prilagodljiv od 0-100%. Amplitudo in frekvenčno hitrost oscilacije je mogoče natančno nastaviti prek nadzorne plošče. Vzorec je opremljen z neodvisnim gonilnim sistemom za vrtenje, pri čemer je obseg hitrosti prilagodljiv od 0-120 obratov na minuto. Ta funkcionalna različica omogoča popolno oscilacijsko poliranje vzorca med procesoma šlehanja in poliranja, kar znatno poveča zmogljivost in učinkovitost naprave.
Vzorec je opremljen z digitalno pregledno mersko ploščo debeline, ki ima točnost pregledovanja 1 μm._tlak_vzorca_na_folt_je_zvezno_prilagodljiv, pri čemer je obseg tlaka od 0-3,5 kg in točnost 2 g/cm², ter je opremljen z napravo za merjenje tlaka.
Delovanje ciljanja in poliranja diska je nadzorovano s glavnim pogonom, pri čemer se hitrost diska lahko prilagodi od 0 do 120 obratov na minuto. Ta obseg spreminjanja hitrosti učinkovito zagotavlja hitrost ciljanja in poliranja vzorcev različne trdnosti in velikosti materiala, s tem dosežejo višje procesne kazalce. Zamenjava ciljnih in poliranih diskov je preprosta in hitra, z vgrajenimi diskami, ki omogočijo napravi hitro prehod iz procesa ciljanja v proces poliranja, kar znatno zmanjša čas procesa. Poleg tega je ciljni disk opremljen s popravkom za disk, ki zagotavlja dobro ravnost ciljnega diska.