Element |
MD150-RIE |
MD200-RIE |
MD200C-RIE |
||
Velikost produkta |
≤6 palcev |
≤8 palcev |
≤8 palcev |
||
RF močni vir |
0-300W/500W/1000W Prilagodljiv, samodejni ujemanje |
||||
Molekulska pumpanja |
-/620(L/s)/1300(L/s)/Po meri |
Antiseptično 620(L/s)/1300(L/s)/Po meri |
|||
Predpomorska pumpanja |
Strojna pumpanja/suha pumpanja |
Suha črpalka |
|||
Procesni tlak |
Nekontrolirano tlakovanje/0-1Torr kontrolirano tlakovanje |
||||
Vrsta plina |
H/CH4/O2/N2/Ar/SF6/CF4/ CHF3/C4F8/NF3/Po meri (Do 9 kanalov, brez korozivnih in toksičnih plinov) |
H2/CH4/O2/N2/Ar/F6/CF4/ CHF3/C4F8/NF3/Cl2/BCl3/HBr (Do 9 kanalov) |
|||
plinski kuhalnik |
0~5sccm/50sccm/100sccm/200sccm/300sccm/500sccm/prilagojen |
||||
Nalaganje/zaklepanje |
Da/Ne |
Da |
|||
Krmiljenje temperature vzorca |
10°C~običajna temperatura/-30°C~100°C/prilagojeno |
-30°C~100°C /prilagojeno |
|||
Hladitev z helijem |
Da/Ne |
Da |
|||
Obruba procesne jamy |
Da/Ne |
Da |
|||
Krmiljenje temperature stene jamy |
Ne/Običajna temperatura~60/120°C |
Običajna temperatura-60/120°C |
|||
Nadzorni sistem |
Avtomatsko/prilagojeno |
||||
Očrpalna snov |
Na osnovi kremenika: Si/SiO2/SiNx. IV-IV: SiC Magnetne snovi/spletnaste snovi Kovinska snov: Ni/Cr/Al/Au. Organična snov: PR/PMMA/HDMS/Organčna plenka. |
Na osnovi kremenika: Si/SiO2/SiNx. III-V (opomba 3): InP/GaAs/GaN. IV-IV: SiC II-VI (opomba 3): CdTe. Magnetne snovi/spletnaste snovi Kovinsko material: Ni/Cr/Al/Au. Organicno material: PR/PMMA/HDMS /organična plenka. |
Priljepno za mikrovalne naprave, močne naprave itd.
Minder-High-tech reaktivna ionska lepilnica (RIE) je vrhunska tehnologija, ki lahko lepi in analizira različne vrste materialov z neverjetno natančnostjo. Ta stroj je namenjen uporabi v različnih industrijskih sektorjih, kjer je potrebna redna mikrofabrikacija ali lepilni proces. Izdelan je iz visoke kakovosti materialov, ki ga činijo trdnim, zanesljivim in sposobnim proizvoditi odlične rezultate.
Opremljen s RF plazmatorjem je učinkovit. RIE sistem uporablja induktivno povezavo za ustvarjanje plazme iz goriva. Ta tehnika ustvari visoko gostoto plazme, ki poveča hitrost lepilnega procesa pri produktu. Lepilni proces stroja RIE je učinkovit, natančen in zelo nadzorljiv, kar omogoča dosego določene globine. Ta lastnost ga dela odličnim izbirom za raziskovalno delo ali industrijske opravilo.
Stroj ima širok obseg uporabe, vključno s microelektroniko, izdelavo MEMS in polprevodniško proizvodnjo. Ta stroj igra pomembno vlogo pri lepilu in mikromehaniki polprevodniških materialov, kot so kremen, galij arsenid in germanij v polprevodniški industriji. Minder-High-tech RIE naprava je bila dodatno uvedena tudi v MEMS industrijo za izdelavo jarkih in trdih materialov, kot so poliamid, kremeni oksid in kremeni nitrid. Poleg tega je na voljo tudi za analizo napak v industriji, povezani z elektronskimi storitvami in produkci.
Vsebuje funkcije, ki olajšajo uporabo. Program je uporabniku prijazen in zagotavlja popolno nadzorovanje parametrov lesovanja, ki jih uporablja naprava. Nastavitve naprave so shranjene v notranji pomnilnik, ki lahko hrani več kot 100 skupin nastavitev. Imam dotikov zaslon, ki omogoča nastavljanje parametrov, kot so pretok plina, moč gostote in tlak. Minder-High-tech RIE stroj ima tudi lastnost nadzora temperature, ki zagotavlja, da se materiali lesijo pri pravi temperaturi in preprečuje poškodovanje.
Sovsem ustrezen podjetjem, ki potrebujejo zanesljiv in učinkovit stroj, ki lahko ponudi točne in natančne rezultate. Ta naprava je bila zasnovana s vrhunsko tehnologijo in na visoki ravni. Njen versatilnost in prijazne funkcije uporabnikom jo činijo zelo dobro izbiro za raziskovalne in industrijske uporabe v različnih sektorjih.
Ima tudi učinkovit sistem analize napak, ki omogoča stroju, da zazna in popravi katerekoli mehanske težave čim prej. Ta sistem zagotavlja, da RIE stroj obdrži visoko kakovost in zanesljivost skozi celotni življenjski cikel. Za katere koli industrijo, ki zahteva natančno in učinkovito lepilno ali mikrofabrikacijsko delo, je Minder-High-tech RIE stroj idealno rešitev.
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved