Postavka | MD150-RIE | MD200-RIE | MD200C-RIE | ||
Velikost izdelek | ≤6 palcev | ≤8 palcev | ≤8 palcev | ||
RF vir energije | 0-300W/500W/1000W Nastavljivo, samodejno ujemanje | ||||
Molekularna črpalka | -/620(L/s)/1300(L/s)/Po meri | Antiseptik620(L/s)/1300(L/s)/Po meri | |||
Prednja črpalka | Mehanska črpalka/suha črpalka | Suha črpalka | |||
Procesni tlak | Nenadzorovan tlak/kontroliran tlak 0-1 Torr | ||||
Vrsta plina | H/CH4/O2/N2/Ar/SF6/CF4/ CHF3/C4F8/NF3/Po meri (Do 9 kanalov, brez jedkih in strupenih plinov) | H2/CH4/O2/N2/Ar/F6/CF4/ CHF3/C4F8/NF3/Cl2/BCl3/HBr(Up to 9 channels) | |||
Plinsko območje | 0~5sccm/50sccm/100sccm/200sccm/300sccm/500sccm/custom | ||||
LoadLock | Da / Ne | Da | |||
Kontrola vzorca tem | 10°C~Sobna temperatura/-30°C~100°C/Po meri | -30°C~100°C / po meri | |||
Hrbtno hlajenje s helijem | Da / Ne | Da | |||
Obloga procesne votline | Da / Ne | Da | |||
Nadzor temperature votlih sten | Ne/Sobna temperatura~60/120°C | Sobna temperatura-60/120°C | |||
Kontrolni sistem | Samodejno/po meri | ||||
Material za jedkanje | Na osnovi silicija: Si/SiO2/SiNx. IV-IV: SiC Magnetni materiali/zlitine Kovinski material: Ni/Cr/Al/Au. Organski material: PR/PMMA/HDMS/Organski film. | Na osnovi silicija: Si/SiO2/SiNx. III-V(注3): InP/GaAs/GaN. IV-IV: SiC II-VI (注3): CdTe. Magnetni materiali/zlitine Kovinski material: Ni/Cr/A1/Au. Organski material: PR/PMMA/HDMS /organski film. |
Primerno za mikrovalovne naprave, električne naprave itd.
Minder-High-tech Reactive Ion Etching (RIE) stroj je najsodobnejši kos tehnologije, ki lahko jedka in analizira različne vrste materialov z neverjetno natančnostjo. Ta stroj je zasnovan za uporabo v različnih panogah, kjer je redno potrebno mikroproizvodnjo ali jedkanje. Izdelana je iz visokokakovostnih materialov, zaradi katerih je vzdržljiva, zanesljiva in omogoča odlične rezultate.
Opremljen z RF plazemskim generatorjem je učinkovit. Sistem RIE uporablja induktivno sklopko, da pride do plazme iz dovodnega bencina. Ta tehnika ustvari plazmo z visoko gostoto, ki poveča stopnjo jedkanja, povezano z izdelkom. Postopek jedkanja stroja RIE je učinkovit, natančen in zelo nadzorovan, kar omogoča doseganje specifične globine. Ta funkcija je edinstvena in odlična izbira za raziskave ali industrijska dela.
Stroj ima široko paleto, vključno z mikroelektroniko, izdelavo MEMS in izdelavo polprevodnikov. Ta stroj igra pomembno vlogo pri jedkanju in mikroobdelavi polprevodniških materialov, kot so silicij, galijev arzenid in germanij v industriji polprevodnikov. Naprava Minder-High-tech RIE je bila dodatno uveljavljena v industriji MEMS za izdelavo mehkih in trdih materialov, kot so poliimid, silicijev dioksid in silicijev nitrid. Poleg tega je dostopen za analizo napak v panogah, povezanih s storitvami in izdelki, ki so elektronski.
Vključuje različne funkcije, ki olajšajo uporabo. To je uporabniku prijazna programska oprema, ki operaterju zagotavlja popoln nadzor nad parametri jedkanja, ki se uporabljajo v napravi. Nastavitve stroja se shranijo v njegov notranji pomnilnik in lahko shrani več kot 100 nizov nastavitev. Zaslon na dotik omogoča operaterju nastavitev parametrov, kot so gibanje plina, debelina moči in tlak. Stroj Minder-High-tech RIE ima tudi funkcijo nadzora temperature, ki zagotavlja, da so materiali jedkani pri pravi temperaturi, in preprečuje njihovo poškodbo.
Kot nalašč za podjetja, ki potrebujejo zanesljiv in učinkovit stroj, ki lahko zagotovi točne in natančne rezultate. Ta naprava je bila zasnovana z vrhunsko tehnologijo in raven je veliko. Zaradi vsestranskosti in uporabniku prijaznih funkcij je izbira zelo dobra za raziskovalne in industrijske aplikacije v različnih sektorjih.
Ima tudi učinkovit sistem za analizo napak, ki stroju omogoča, da čim prej zazna in odpravi morebitne mehanske težave. Ta sistem zagotavlja, da stroj RIE ohranja visoko kakovost in zanesljivost v celotnem življenjskem ciklu. Za vsako industrijo, ki zahteva natančno in učinkovito jedkanje ali mikrofabrikacijo, je stroj Minder-High-tech RIE odlična rešitev.
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co., Ltd. Vse pravice pridržane