Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.

Domov
O nas
MH Equipment
Rešitev
Uporabniki v tujini
Video
Kontaktirajte nas
Domov> Preverjanje polprevodnikov
  • Spektroskopski elipsometer
  • Spektroskopski elipsometer
  • Spektroskopski elipsometer
  • Spektroskopski elipsometer
  • Spektroskopski elipsometer
  • Spektroskopski elipsometer
  • Spektroskopski elipsometer
  • Spektroskopski elipsometer
  • Spektroskopski elipsometer
  • Spektroskopski elipsometer
  • Spektroskopski elipsometer
  • Spektroskopski elipsometer

Spektroskopski elipsometer

Opis produkta

Spektroskopski elipsometer

Spektralni elipsometer lahko izvede hitro in večtočkovno samodejno testiranje, pri čemer lahko enostavno preverite enakomernost vzorca. Polarizator, analizator in kompensator produkta so opremljeni z napravami za absolutno kodiranje s funkcijo kompensacije bandgap, kar poveča natančnost in stabilnost sistema. S posredovanjem dvojne vlaken arhitekture se poviša učinkovitost zbiranja svetlobe, tako da je mogoče zbrati dovolj spektrov s strukturiranimi kislotnimi površinami ali običajnimi piramidalnimi fronti za testiranje in analizo. Vsebuje tudi osnovne funkcije, kot so samodejni fokus, izbira intenzitete svetlobe in fazna kompensacija.
Dizajniran za visoko natančno in učinkovito analizo optičnih lastnosti materialov. Omogoča samodejno, hitro in
točno meritev prirečne kazalke, koeeficienta izginjanja in debeline plasti materialov. Priredeno je za potrebe poizvedovanja o nezadostenjih in karakterizacije materialov v znanstveni raziskavi, polprevodnikih, fotovoltaiki, optičnih oblogah, prikaznih ploščah in drugih področjih.

Meritev objekta:

Optična obloga: Si02, Si3N4, SnO2, Nb205, Ti02, Ta205, A2O3, MgF2,Pi.
Prikaz: OLED(AIG3, PCBM, NPB, NPD...), elektrod (ITO, PEDOT, MgO, Ag, Al, Mg...) ...
Fotovoltaika: Si, Poly-Si, SiNx, CdS, CIGS, CdTe, PFN-Br, ABX3, PEDOT:PSS, PTB7-Th:PC71BM.
Polprevodnik: Fotoresist, ZnO, SiON, SiC, SiGe, GaN, AIN, InP, GaAs, AlxGa(1-x)N
Drugo: OCD, 2-D materiali, Van der Waals heterozveza in naprava...

Funkcija izdelka:

Merjenje prelomnega količnika: Natančno merite prelomni količnik materialov pri različnih dolžinah valov, kar ponuja ključne podatke za optično načrtovanje in raziskave materialov.
Merjenje koeficienta umiranja: Analizirajte lastnosti absorpcije svetlobe materialov, da pomagate optimizirati delovanje optoelektronskih naprav.
Meritev debeline filma: Podpira zaznavo debeline filmov na ravni nanometrov do mikronov s visoko ločljivostjo in dobro ponovitvenostjo.
Hitro samodejno testiranje: S funkcijo večtočkovnega samodejnega skeniranja doseže hitrost merjenja 1 sekunda/točka, kar znatno poveča učinkovitost serijnega testiranja.

Načelo merjenja:

Načelo elipsometrijskega merjenja temelji na spremembi stanja polarizacije optičnih odbitkov pred in po površini sredine, da pridobi informacije o optičnih lastnostih in strukturi.
Električno polje vpadnega žarka je razcepreno v dva vertikalna smeri, kjer je svetlo p vzporedno k vibracijam svetla
val, s svetloba je pravokotna k vibracijam svetlobne valve. Amplitude in fazi p in S svetlobe se spremenita, ko se žarka odbije od površine sredstva.

Korelacija med fizikalnimi lastnostmi sredstva in spremembo stanja polarizacije.

Delovno okolje aparata:

Moč: 220VAC+10%
Stevila temperatura: okoljska temperatura (10-30)℃
Relativna vlažnost: (20-80)% RH

Spektrometer:

Zaznavni enot: 2048-pikselni hitri CCD detektor z nazadnjo osvetlitvijo
Podrobnji parametri:
1. spektralni obseg boljši od 350nm-1000nm
2. poskoki svetlobe <0,02%@400nm
3. razmerje signala in stresa 4800
4. dinamični obseg 50000:1
5. holografska svetlobna pot
6. digitalna ločljivost 16-bit
7. hitreje berljivost >400kHz
8. hitrost prenašanja podatkov 600MB/s
9. najmanjše časovno integracijo/opravilo koraka 6 μs/1μs
10. zamuda zunanje izpeljave 95ns+/–20ns
11. računalniški vmesnik USB4.1C/2.0
12. operacijski sistem Win 7/in 8/Win 10
povprečna QE v UV območju, hladno osvetljeni CCD, povprečna QE ≥75% Hladilni sistem s mikro TE hlađenjem, temperatura po hlađenju je 30 °C
nižja od okoljske temperature.
Metoda integracije: avtomatska nastavitev časa integracije pod upravo programske opreme, doseže najboljše rezultate

Sistem svetlobnega izvora:

Izvor svetlobe halogen lampa s kvarcno žarno, območje valovnih dolžin 350nm-2000nm, brez odpadanja, življenjska doba daljša kot 50000 ur.
Samostojna napajalna vrata za halogen lampo, napetost 4.9vd

Postelj z funkcijo samodejnega fokusiranja:

Premaknite vzorec na najboljše merilno pozicijo z funkcijo samodejnega fokusiranja. Pot: 100mm
Natančnost: 0,0005mm. Omejitve položaja z pozitivnim in negativnim omejitvom ter senzorjem ničevne položaje; začetna pozicija, končna pozicija in korak funkcije samodejnega fokusiranja se lahko nastavita v programski opremi z uporabo metode gaussove regresije; nastavite določeno integracijsko čas in zbirate intenziteto s pomočjo metode Fokusiranja.
Struktura izdelka
Specificacija
Optični sistem:
Kot dopada
65°
Odmik zveze
< 0.3°
Merilske Parametre
Psi&Del, TanPsi&CosDel, Alpha&Beta
Polarizatorji
Glan-Thompson
Material
a-BBO
Kompenzator
četrtinski valovni fazni zamik, hiper akromatni
Izbor intenzitete
Element izbora linearnega optičnega gostota. Omogoča dober razmerje signala in buke med merjenjem, izboljša natančnost podatkov,
izogiba se nasemu svetlobne intenzitete ali premočno šibke, da ne bi zmanjšali razmerja signala in buke ter natančnosti
Optika
dvokrilo prenese svetlobo iz lampice v spektrometer skozi polarizacijske elemente; stabilna svetlobna pot, praktično za zameno lamp
Fiber
proti UV pasiviranje; NA=0.22; prosti premer 600um
Mikro svetlobna točka
premer ≤200um, da se razlikuje uporabna odbitev svetlobe s prednje ploskve in neuporabna odbitev svetlobe s
spodnje ploskve, enostavno razstavit
Delitev
1 50um, za razlikovanje uporabne odbitev svetlobe s prednje ploskve in neuporabne odbitev svetlobe s spodnje
površina
Tabela izbire osnovnih parametrov:
Spektralni obseg
350-1000nm
C
Viden
210-1000nm
Uc
UV-Vidno
210-1700nm
UN
UV-Vidno-NIR
Optični kompensator
RC
Enoposredni kompensator
RC2
C2
Dvoposredni kompensator
Spektralni obseg
X-Y
M
Velik obseg do 230mm
X-R
R
Velik premer do 300mm
Pakiranje & Dostava
Podjetni profil
Minder-Hightech je prodajni in storitveni predstavnik v opremi za industrijo polprevodnikov in elektronskih izdelkov. Od leta 2014 je podjetje posvečeno temu, da strankam ponuja Izredne, Zanesljive in Enotne Rešitve za strojno opremo.
Pogosta vprašanja
1. O ceni:
Vsa naša cenovanja so konkurenčna in pogajljiva. Cena se spreminja v odvisnosti od konfiguracije in kompleksnosti prilagoditve vaše naprave.

2. O vzorcu:
Možemo vam ponuditi storitve izdelave vzorcev, a morate plačati nekatera stroškovna pristojbina.

3. O plačilu:
Po potrditvi načrta morate najprej plačati zaloge, nato pa bo zavod začel pripravljati izdelke. Ko bo oprema pripravljena in boste plačali ostanek, jo bomo poslali.

4. O dostavi:
Ko bo izdelava opreme končana, vam bomo poslali video za sprejem, lahko pa tudi pridejo na lokacijo za pregled opreme.

5. Namestitev in prilagajanje:
Ko bo oprema prišla v vašo fabriko, jo lahko pošljemo inženirje za namestitev in prilagajanje opreme. Za ta strošek storitve vam bomo ponudili poseben cenik.

6. O jamstvu:
Naše opreme ima jamstvo trajajoče 12 mesecev. Po obdobju jamstva, če so katerikoli deli pokvarjeni in jih je treba zamenjati, bomo vzel le stroške proizvodnje.

Poizvedba

Poizvedba Email Whatsapp Top
×

Ostanite v stiku