Polavtomatska RTP hitra toplinska obdelava za polprevodniške krpce SlC LED MEMS , China Polavtomatska RTP hitra toplinska obdelava za polprevodniške krpce SlC LED MEMS Manufacturers, Suppliers, Factory

Opis produkta

Hitro termično obdelovanje

Ponujamo zanesljivo RTP opremo za sestavne polprevodnike, SlC, LED in MEMS

Značilnost

* Segrevanje s krmiljenjem z infračrvenim halogenim žarovnim cevi, hladjenje pa je z vzdušnim hlađenjem;
* PlD temperaturna regulacija moči žarovek, ki natančno nadzira temperature, zagotavljajo dobre reprodukcije in enakomerno temperaturo;
* Vhodno materialno ploskev je nameščena na površini WAFER, da se izognemo nastanku hladnih točk med procesom oživitve in se zagotovi dobra enakomerna temperatura izdelka;
* Lahko izberete oba načina obravnave: v atmosferi ali v vakuumu, s predobdelavo in počistitvijo telesa;
* Dve množici procesnih plinov sta standardni in jih je mogoče razširiti do 6 množic procesnih plinov;
* Največja velikost merljive vzorce sklopne kalcije je 12 palcev (300x300 mm);
* Tri varnostne ukrepe - zaščita pri varnosti odvarjanja temperature, dovoljenje odpiranja temperaturnega regulatorja in varnostna zaščita prihodnega ustanka naprave - so popolnoma implementirane, da se zagotovi varnost sredstva;

Izpitni poročil

Skladnost krivulj na stopnjo 20

20 krivulj za temperaturno nadzorovanje pri 850 ℃

Skladnost 20 povprečnih temperaturnih krivulj

Temperaturno nadzorovanje pri 1250 ℃

RTP temperaturno nadzorovanje procesa pri 1000 ℃

Proces pri 960 ℃, ki ga nadzira infravecerni pirometer

Podatki o procesu LED

RTD ploska je senzor temperature, ki uporablja posebne obdelovalne tehnike za vgradnjo senzorjev temperature (RTD) na določenih lokacijah na površini ploske, kar omogoča realno merjenje temperature na ploski.

Prave meritve temperature na določenih lokacijah na ploski in splošna porazdelitev temperature na ploski lahko preberete s pomočjo RTD ploske; Lahko jo tudi uporabite za neprekinjeno spremljanje kratekčasnih sprememb temperature na ploskah med procesom toplinske obravnave.