Polprevodniška industrijska oprema MDLB-MC200 Photomask čistilo, Kitajska Polprevodniška industrijska oprema MDLB-MC200 Photomask čistilo Proizvajalci, dobavitelji, tovarna

MDLB-MC200

Čistilo za foto masko

Čistilna enota:

Čistilna komora je obdelana z materiali, odpornimi proti koroziji, ki imajo gladko površino in so enostavni za čiščenje. Na dnu notranje votline je odprtina za izpust odpadkov, ki s pomočjo gravitacije omogoča izpust odpadne tekočine v tovarniški izpustni cevovod za odpadke. V notranjosti votline je sesalna odprtina, ki lahko pravočasno izvleče atmosfero iz votline. Opremljen s 3 samodejnimi nihajnimi rokami, omogoča samodejno čiščenje.

Tabela konfiguracijskih parametrov:

No.	Projekt	Tehnični podatki	Opombe
1	Pregled opreme	Ime naprave: Photomask Cleaner
		Model opreme: MDLB-MC200
		Skupne mere (približno): 1300 mm (Š) * 1000 mm (G) * 1950 mm (V)
		Teža celotnega stroja (približno): 300 KG
		Višina operacijske mize: 900 ± 50 mm
		Specifikacije velikosti podlage: primerno za 2/4/5/6/8 palčne kvadratne maske
		Potek procesa: ročno polaganje rezin → čiščenje (ščetka, čistilna raztopina → voda pod visokim pritiskom → megasonična voda → deionizirana voda → sušenje z dušikovim plinom) → ročno odstranjevanje rezin
		Vrsta opreme: polavtomatsko, ročno nakladanje in razkladanje
2	Konstrukcija opreme	Ohišje: nerjaveče jeklo, gladko, odporno proti koroziji, enostavno za čiščenje
		Čistilna komora: PP, gladka, odporna proti koroziji, enostavna za čiščenje
		Cevovod: uporablja se ustrezni cevovod PU/PFA
		Delovna razsvetljava: protikorozijska rumena razsvetljava
		Stil odpiranja vrat: dvojna vrata s funkcijo alarma pri odpiranju vrat
		Zaslon na dotik: 10-palčni barvni zaslon na dotik * 1
		FFU: Razred 100
		Neprepustna spodnja podpora: na voljo
3	Visoko natančen servo motor	Količina: 1
		Hitrost: -3000~3000rpm	Prazen tovor
		Največji pospešek vrtenja vretena: 3000rpm/s	Prazen tovor
		Natančnost hitrosti: ± 1rpm (50rpm~3000rpm)
		Ločljivost hitrosti: 1rpm
4	Samodejna nihajna roka	Količina: 3
4	Samodejna nihajna roka	Hitrost nihajne roke: 1~30 °/S
5	čiščenje enote	Čistilna nihajna roka: 1 kanal deionizirane vode, 1 kanal dušika Megasonic Arm: 1 Megasonic, 1 visokotlačna voda Krtačna roka: 1 krtača, 1 voda, 1 čistilna raztopina
		Način čiščenja: avtomatsko čiščenje
		Funkcija sesanja deionizirane vode: na voljo
		Povratno izpiranje (deionizirana voda): 1 pot
		Način dobave: Čistilna raztopina: Membranska črpalka Deionizirana voda: dobavlja neposredno tovarna
		Tlačni rezervoar z zaznavanjem nivoja tekočine
6	Krtača krtača	Količina: 1 (s samočistilno funkcijo)
		Hitrost: do 1000rpm, nastavljiva hitrost
		Ročno nastavljiva višina
7	Naloži pladenj	Količina: 5
		Material: PPS+nerjaveče jeklo
		Velikost: Primerno za 2/4/5/6/8 palčne kvadratne plošče maske
		Metoda pritrditve na podlago: Metoda pritrditve s kremplji
8	Krmilni sistem	Nadzorni sistem: z uporabo krmiljenja PLC
		Program: 100 skupin, vsaka skupina je sestavljena iz 100 korakov, z največjim časom posameznega koraka 3000.0 sekund Ločljivost: 0.1S
		Program lahko shranite, pokličete, spremenite in izbrišete
		Nastavite dovoljenja za šifriranje: za operaterje naprav, tehnike, skrbnike in proizvajalce
		Vrsta signalnega stolpa: rdeča, rumena, zelena 3 barve