Industrija polprevodnikov RIE PLASMA PR stroj za odstranjevanje ostankov fotorezista, Kitajska Polprevodniška industrija RIE PLASMA PR stroj za odstranjevanje ostankov fotoresista Proizvajalci, dobavitelji, tovarna

opis izdelka

RIE PLAZMA Odstranjevalec fotorezista

Jedkanje silicijevega karbida
Čiščenje površine po jedkanju
DESCUM
Trda plast maske, suho odstranjevanje
Jedkanje silicijevega oksida ali silicijevega nitrida
Odstranitev optičnega upora med mediji
Odstranjevanje površinskih ostankov

Industrija polprevodnikov RIE PLASMA PR stroj za odstranjevanje fotorezista Podrobnosti o odstranjevanju ostankov

Proces

Industrija polprevodnikov RIE PLASMA PR stroj za odstranjevanje fotorezista Residual Removal Tovarna

Polprevodniška industrija RIE PLASMA PR stroj za odstranjevanje fotorezista Residual Removal Proizvodnja

prednost:

Osnovna prednost

Visoka stopnja degumiranja: plazma visoke gostote, hitra hitrost degumiranja
Stabilnost: po obdelavi s plazmo visoka ponovljivost
Oddaljena plazma: Oddaljena plazma, nizka ionska poškodba rezin
Predstavljena programska oprema: neodvisna raziskava in razvoj programske opreme, intuitivna animacija procesa, podrobni podatki in zapisi
Enakomernost: Plazma lahko nadzoruje tlak in temperaturo skozi metulj
Varnostni faktor: Nizka plazma zmanjša škodo pri izpustu izdelka.
Poprodajne storitve: hiter odziv in zadostna zaloga
Nadzor prahu: Izpolnite zahteve kupcev.
Osnovna tehnologija: s skoraj 40 % članov ekipe za raziskave in razvoj

Kasetna platforma (MD-ST 6100/620)

1. 4 nosilci za rezine
2. Visoka združljivost: prilagodljivost izbire velikosti rezin prinaša visoke stroške in učinkovitost rešitve
3. Visoko stabilna vakuumska komora za prenos:
Zrela in stabilna zasnova vakuumskega prenosa se že vrsto let zrelo uporablja na trgu in jo kupci dobro prepoznajo.
Zasnova gramofona, kompakten prostor, znatno zmanjšanje tveganja PARTICAL
4. Humaniziran vmesnik za delovanje programske opreme:
Intuitivni vmesnik za humanizirano programsko opremo, spremljanje stanja delovanja stroja v realnem času;
Obsežne alarmne in varne funkcije za preprečevanje napačnega delovanja.
Zmogljiva funkcija izvoza podatkov, zapisi različnih procesnih parametrov in izvoz zapisov proizvodnje izdelkov.

robot

1. Enkratna zasnova dvojne rezine za izbiranje in postavitev prinaša visoko produktivnost
2. Izboljšajte prostorsko učinkovitost.

Grelna plošča

1. Visoko natančna plošča za nadzor temperature
Grelna plošča za rezine od sobne temperature do 250°C, natančnost nadzora temperature ±1°C
Grelna plošča za rezine je bila kalibrirana s profesionalnimi instrumenti in enotnostjo. Znotraj ±3°C zagotovite enakomerno odstranjevanje lepila
2. Enokomorna obdelava dvojnih rezin
Enokomorna zasnova z dvojnimi rezinami;
Neodvisna zasnova odvajanja moči za vsako rezino, ki zagotavlja, da vsaka rezina. Okrogli učinek odstranjevanja PR;
Pod predpostavko zagotavljanja učinkovitosti UPH zmanjšajte stroške izdelka. Močna združljivost
3. Proizvodna zmogljivost: dvodelna reakcijska komora, visoka proizvodna učinkovitost.

Tehnični podatki

vir PLAZMA			RF
moč	ICP	_
moč		PRISTRANOST	1000 W (možnost)
Veljavno področje uporabe			4 ~ 8 cm
Število posameznih rezin obdelave			1
Dimenzije videza			850mmx900mmx1850mm
Nadzor sistema			PLC
Stopnja avtomatizacije			Navodilo

Zmogljivost strojne opreme
Čas delovanja/razpoložljiv čas	≧ 95%
Povprečni čas za čiščenje （MTTC）	≦6 ur
Povprečni čas za popravilo（MTTR）	≦4 ur
Povprečni čas med napakami（MTBF）	≧350 ur
Povprečni čas med pomočnikom（MTBA）	≧24 ur
Povprečna rezina med zlomljenimi (MWBB)	≦1 v 10,000 rezinah
Nadzor grelne plošče	50-250 °