Industrija polprevodnikov RIE PLASMA odstranjevalnik PR Photoresist Odprava ostankov , China Industrija polprevodnikov RIE PLASMA odstranjevalnik PR Photoresist Odprava ostankov Manufacturers, Suppliers, Factory

Opis produkta

RIE PLASMA Odstranjevalnik fotoresistiranja

Izrezovanje kovinskega karbida
Površinsko čiščenje po lepiljenju
DESCUM
Trda maska, suho odstranjevanje
Izrezovanje oksida ali nitrida silicija
Odstranitev optičnega upora med medijema
Odstranitev površinskega ostanka

Semiconductor industry RIE PLASMA PR removal machine Photoresist Residual Removal details

Proces

Semiconductor industry RIE PLASMA PR removal machine Photoresist Residual Removal factory

Semiconductor industry RIE PLASMA PR removal machine Photoresist Residual Removal manufacture

Prednost:

Jedrska prednost

Visoka stopnja odstranjevanja: Gosta plazma, hitra stopnja odstranjevanja
Stabilnost: Po plazmenski obdelavi visoka reprodukcibilnost
Oddaljeno plazmo: Oddaljena plazma, nizka poškodba ionov na ploščici
Izbrano programsko opremo: samostojno raziskave in razvoj programske opreme, intuитivna procesna animacija, podrobni podatki in zapisi
Enakomernost: Plazma lahko nadzira tlak in temperaturo prek metuljskega ključa
Varnostni faktor: Nizka plazma zmanjša poškodbo izpusti produkta.
Posredovanje v prodaji: Hitri odziv in dovolj zaloge
Kontrola prašnice: Izpolnjuje zahteve strank.
Jedrska tehnologija: Z skoraj 40 % članov razvojnega tima

Kasetni platforma (MD-ST 6100/620)

1. 4 nosilci ploščic
2. Visoka združljivost: fleksibilnost izbire velikosti plošče prinaša visoko stroškovno učinkovitost in rešitve
3. Vakuumski prenosni komor z visoko stabilnostjo:
Zrelo in stabilno vakuumsko prenosno različico je že več let zrelo uporabljena na trgu in je dobro priznana med strankami.
Obročna konstrukcija, kompaktni prostor, značilno zmanjšanje tveganja PARTICAL
4. Človeško-družbeni vmesnik za delovanje programa:
Intuitiven človeško-družbeni vmesnik za delovanje programa, realno-časovno spremljanje stanja dela stroja;
Kompleksne funkcije opozoril in zaščite pred napakami, da se izognemo napačnim operacijam.
Močna funkcija izvoza podatkov, zapisi različnih procesnih parametrov in izvoz zapisov proizvodnje izdelkov.

Robot

1. Dvojni sistem izbora in postavitve plošče v enem koraku prinaša visoko proizvodnost
2. Povečana učinkovitost prostora.

Topilna plošča

1. Visoko-precizna temperaturna regulacija plošče za peljke
Topilna plošča za peljke od sobne temperature do 250 °C, natančnost upravljanja z temperaturo ±1°C
Topilna plošča za peljke je bila kalibrirana s profesionalnimi instrumenti, enakomernost v mejah ±3°C, zagotavlja enakomerno odstranitev lepljenja
2. Enokamberni obdelavi dveh peljk
Enokamberni dizajn za dve pelji;
Samostojen izpust moči za vsako peljo, zagotavlja enakomerno odstranitev PR na vsaki pelji;
Pod pogojem, da se zagotovi učinkovitost UPH, zmanjša stroške produkta. Močna združljivost
3. Proizvodna zmogljivost: reakcijska komora z dizajnom za dve pelji, visoka proizvodna učinkovitost.

Specificacija

PLASMA vir			RF
Moč	ICP	_
Moč		BIAS	1000W (možnost)
Namena uporabe			4~8 palec
Število obdelanih pladenkov			1
Izgledne razmere			850mmx900mmx1850mm
Kontrola sistema			PLC
Stopnja avtomatizacije			Navodila

Strojna zmogljivost
Stevilo ur delovanja / Dostopen čas	≧95%
Povprečni čas za čiščenje (MTTC)	≦6 ur
Povprečni čas za popravilo (MTTR)	≦4 ur
Povprečni čas med napakama (MTBF)	≧350 ur
Povprečni čas med pomočjo (MTBA)	≧24 ure
Povprečna ploščica med poškodovanimi (MWBB)	≦1 na 10.000 ploščic
Kontrola grijalne plošče	50-250°