Tehnični parameter |
Način merjenja |
PSI/VSI/superni globini polja/osebno polje |
Enostavno merilo območje (20× objektiv) |
500*350μm (samodejno povezovanje) |
|
Prilagajanje kota |
±12° ročno |
|
Prilagajanje Z-osi |
20mm električno + 50mm ročno (mehanizem hrube in jasne prilagoditve) |
|
Dolžinsko skeniranje območja |
0-10 mm |
|
Dolžinska ločljivost |
<0.2nm |
|
Ponovitost merjenja dolžinskega hrubosti |
0.01nm (režim PSI) |
|
indikacijska napaka višinske korake merjenje |
<0.75% (režim VSI) |
|
Vodoravna ločljivost: @550nm |
0.69μm (objektiv 20×) |
|
Merljiva odbojna moč vzorca |
0.1%-100% |
|
Merilni čas |
<5s (režim PSI) |
|
Analitično funkcijo |
Analitično funkcijo |
merjenje višine v 3D, analiza hrubeza v 3D, merjenje razsežnosti v 2D |
izhodne podatke v 3D |
podatki o točkastem oblaku v 3D, slikovni podatki s sivinsko paleto, prilagojen poročilnik |
Povečave objektiva |
2.5x |
5X |
10x |
20x |
50x |
100x |
Numerična apertura |
0.075 |
0.13 |
0.3 |
0.4 |
0.55 |
0.7 |
Optična ločljivost @550nm (μm) |
3.7 |
2.1 |
0.92 |
0.69 |
0.5 |
0.4 |
Globina fokusiranja (μm) |
48.7 |
16.2 |
3.04 |
1.71 |
0.9 |
0.56 |
Delovna razdalja (mm) |
10.3 |
9.3 |
7.4 |
4.7 |
3.4 |
2.0 |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved