Tehnični parametri | Način merjenja | PSI/VSI/super globinska ostrina/svetlo polje |
Eno merilno vidno polje (20× objektiv) | 500*350μm (avtomatsko šivanje) | |
Nastavitev kota | ±12° ročno | |
Nastavitev osi Z | 20 mm električni + 50 mm ročni (mehanizem za grobo in fino nastavitev) | |
Vzdolžno območje skeniranja | 0-10mm | |
Vzdolžna ločljivost | <0.2nm | |
Ponovljivost merjenja vzdolžne hrapavosti | 0.01 nm (način PSI) | |
napaka indikacije višine stopnice Merjenje | <0.75 % (način VSI) | |
Bočna ločljivost: @550nm | 0.69 μm (20× objektiv) | |
Merljiva odbojnost vzorca | 0.1%-100% | |
Čas merjenja | <5 s (način PSI) | |
Funkcija analize | Funkcija analize | 3D merjenje višine, 3D analiza hrapavosti, 2D merjenje dimenzij |
3D izpis podatkov | Podatki 3D oblaka točk, slikovni podatki v sivinah, prilagojeno poročilo |
Objektivna povečava | 2.5x | 5x | 10x | 20x | 50x | 100x |
Številčna odprtina | 0.075 | 0.13 | 0.3 | 0.4 | 0.55 | 0.7 |
Optična ločljivost @550nm (μm) | 3.7 | 2.1 | 0.92 | 0.69 | 0.5 | 0.4 |
Globina fokusa (μm) | 48.7 | 16.2 | 3.04 | 1.71 | 0.9 | 0.56 |
Delovna razdalja (mm) | 10.3 | 9.3 | 7.4 | 4.7 | 3.4 | 2.0 |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co., Ltd. Vse pravice pridržane