Реактивно јонско оцртање звучи као застрашујући термин, али то је у ствари метода коју људи користе да би направили мале делове за технологију у оне величине ручка. Ови мали делови су кључни састојци у широком спектру уређаја који се користе свакодневно као што су паметни телефони, рачунари итд. Главна функција овог процеса је да се уклоне делови материјала тако да можете створити мале и прецизне делове. У овом чланку ћемо разговарати о томе шта је реактивно јонско оцртање позитивне и негативне стране рада са РИЕ у поређењу са другим методама за плазмено-хемијски третман; улога плазмене хемије у овом процесу; како можете постићи квалитетне резултате правилно користећи РИЕ опрему,
Reaktivno jonsko režanje je složena metoda koja uključuje male jone i plin da bi se oduzvale dijelove materijala. Zamislite ga kao snažan prskalac koji selektivno uništava materijal kako bi formirao tačnu oblikovanu strukturu. Metoda uključuje šaljenje ovih jona na površinu materijala. Kada joni udaraju u materijal, reaguju sa njim i razbijaju se u mikroskopske čestice koje mogu biti odbijene. Stavljate materijal u vrstu kutije koja je potpuno zaključena i slobodna od vazduha, poznatog kao vakuum kamara. Ove male čestice se generišu pomoću radiofrekvencijske energije, pri čemu se formiraju joni.
Reaktivno jonsko režanje je jedno od najboljih kada je riječ o detaljima. To znači da može proizvoditi visokoprecizne uglove i zakrivljene oblike, ali se to radi plinom umesto korišćenjem tekućine. To znači da su delovi napravljeni ovom metodom doslovno prilagođeni nameni u tehnologiji [1]. Takođe, ovo je jedan od najbržih procesa; veći broj delova može biti proizveden u kratkom vremenskom periodu. Budući da je ovaj proces tako brz, može biti vrlo efikasan za kompanije sa velikim potrebama određenog dela.
Međutim, reaktivno jonsko režanje ima i probleme. Nije pogodno za sve vrste materijala, jer neki neće moći da imaju ove laser reze. I zahteva da budu na mestu odgovarajuće temperature i tlaka. Takodje moraju biti prisutne odgovarajuće uslove ili novi proces možda neće biti dovoljno efikasan. Jedina mane je što može biti troškova prepreka za uspostavu u odnosu na druge prakse režanja, što može odrasti neke poslovne kuće od iskorišćavanja prašnoj štaplji.
Značajan prostor zauzima plazma hemija u procesu reaktivnog jonovog izrezivanja. Ovi ionski čestici proizvedene od strane plazme uzrokuju prekid kemijskih veza materijala, što dovodi do režanja. Nakon što se veze prekinu, materijal se raspada na maliće koje zatim odlaze sa tokom plina. Šta se formira tijekom kemijske reakcije može biti utjecalo od vrste plina koji se koristi. Na primer, azotni plin omogućuje čisto izrezivanje što dozvoljava uklanjanje materijala bez ostavljanja neželjenih ostataka, dok s druge strane, kisikni plin pruža drugačiji tip izrezivanja koji može biti prikladan ovisno o zahtjevu.
Snažna kontrola procesa je ključna za postizanje dobrih rezultata prilikom reaktivnog jonskog izrada. To zahteva merenje mnogih parametara, uključujući temperaturu, pritisak, protok plinova i energiju jonova. Stabilno okruženje doprinosi konzistentnim i predvidivim rezultatima u procesu izrade linije. Ako jedan od ovih parametara nije efikasno kontrolisan, to može uticati na konačni proizvod. Nadalje, čišćenje materijala i pravilna priprema su neophodne pre početka izrade. Ako se svi resursi ulože u pripremu materijala na početku, to bi trebalo da poveća kvalitet konačnog rezultata.
Пример је реактивно јонско ецирање које се обично користи у микрофаб индустрији за израду веома малих делова за различите технолошке гађете. Једна од ствари у којима је графен користан је у производњи малих електронских кола, сензора и микрофлуидних уређаја који су неопходни за модерну технологију. Такође се користи у израду микроелектромеханичких система (МЕМС) који су мали уређаји који буквално могу да виде, чују, осете и померају ствари један молекула у исто време. Ови ng MEMS се користе у многим апликацијама: од малих уређаја као што су паметни телефони до већих алата и чак медицинске опреме. Међу овим процесима, реактивно јонско еццинг игра критичну улогу јер може да направи мале и прецизне карактеристике потребне за такве напредне технологије.
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved