Реактивно јонско нагризање звучи као застрашујући израз, али то је у ствари метод који људи користе да праве мале комаде за технологију у оне величине бранча. Ови мали комадићи су кључни састојци у широком спектру уређаја који се свакодневно користе, као што су паметни телефони, рачунари итд. Главна функција овог процеса је уклањање делова материјала како бисте могли да направите мале и прецизне делове. У овом чланку ћемо разговарати о томе шта је реактивно јонско нагризање — позитивне и негативне стране рада са РИЕ у поређењу са другим методама за плазма-хемијски третман; улога хемије плазме у овом процесу; како можете постићи висококвалитетне резултате правилним коришћењем РИЕ опреме и коначно где она заузима своје место као технолошки алатреадцрх квв.
Реактивно јонско нагризање је сложена метода која укључује ситне јоне и гас за одвајање комада материјала. Замислите то као спреј велике снаге који селективно одстрањује материјал да би формирао тачан облик. То укључује експлозију ових јона на површину материјала. Док јони ударају у материјал, они реагују са њим и разбијају се на ситне комаде који се могу уклонити. Материјал стављате у неку врсту кутије која је потпуно затворена и без ваздуха, која се зове вакуум комора. Ове мале честице се стварају енергијом радио фреквенције, где стварају јоне.
Реактивно јонско нагризање је једно од најбољих када су детаљи у питању. То значи да може да произведе високо прецизне угаоне и закривљене карактеристике, али то се ради помоћу гаса, а не помоћу течности. То значи да су делови направљени овом методом буквално прилагођени сврси у технологији [1]. Такође, ово је један од најбржих процеса; већи број делова може се произвести у кратком периоду. Пошто је овај процес тако брз, може бити прилично ефикасан за компаније са великом потражњом за одређеним делом.
Али реактивно јонско нагризање такође има проблема. Није погодан за све врсте материјала јер неке различите врсте неће моћи да имају ове ласерске резове. И захтева одговарајуће температуре и притиске да буду на локацији. Исправни услови такође морају да буду присутни, иначе се нови процес такође можда неће испунити. Једини недостатак је то што може бити скупо за успостављање у односу на друге праксе јеткања, што може одвратити нека предузећа да искористе предности премаза у праху.
Значајно место заузима плазма хемија у процесу реактивног јонског јеткања. Ови јони које производи плазма изазивају распад хемијских веза материјала, што доводи до сечења. Када се везе покидају, материјал се распада на ситне комаде који затим одлете са струјом гаса. На шта настаје током хемијске реакције може утицати врста гаса који се користи. На пример, гас азота може да обезбеди уредно нагризање омогућава уклањање материјала без остављања нежељених остатака, док гас кисеоника обезбеђује различите врсте јеткања које могу бити погодне у зависности од захтева.
Јака контрола процеса је кључна за постизање добрих резултата са реактивним јонским јеткањем. Ово захтева мерење многих параметара укључујући температуру, притисак, проток гаса и енергију јона. Стабилно окружење доприноси доследним, предвидљивим резултатима у линији гравирања. Ако се једна од ових варијабли не контролише ефикасно, то може утицати на коначни производ. Штавише, чишћење материјала и правилна припрема су неопходни пре него што почнете са јеткањем. Ако је све време утрошено унапред на припрему материјала за гравирање, то би требало да резултира бољим резултатима.
Пример је реактивно јонско нагризање које се обично користи у индустрији микрофаб за израду веома малих делова за различите технолошке уређаје. Једна од ствари за које је графен користан је производња малих електронских кола, сензора и микрофлуидних уређаја који су неопходни за савремену технологију. Такође се користи у изради микро-електромеханичких система (МЕМС) који су мали уређаји који буквално могу да виде, чују, осете и померају ствари један по молекул. Ови нг МЕМС се користе у многим апликацијама: од малих уређаја попут паметних телефона до већих алата, па чак и медицинске опреме. Међу овим процесима, реактивно јонско нагризање игра критичну улогу јер може направити мале и прецизне карактеристике потребне за тако напредне технологије.
Ауторско право © Гуангзхоу Миндер-Хигхтецх Цо., Лтд. Сва права задржана