Minder-Hightech je proizvođač poluprovodnika. Poluprovodnici su ključni sastojci mnogih stvari koje čine savremeni život, kao što su mobilni telefoni i računari. Sada, postoji nekoliko koraka u kreiranju poluprovodnika, ali prvi korak je da se na ploču poznatu kao taler napravi uzorak.

Da bismo izveli ovaj uzorak, nanosimo posebnu materijalu na taler. Ta tvar se zove fotoresist. Nakon što smo stavili fotoresist, izlagamo ga svetlu. Pod uticajem svetla, deo fotoresista postaje čvrst i jak. Deovi u senki ostaju meki i mogu biti obrisani.

Nakon što dobijemo željeni uzorak na taleru, fotoresist mora biti uklonjen sa područja gde ćemo izvršiti dalju obradu. Ovde Plasma Cleaner stupa na scenu, doslovno.

Metode bazirane na plazmi za uklanjanje fotoresista

Plazma je stanje plinove sa visokim nivojem energije, zbog velikog električnog nabijača koji je primenjen na njega. I ovaj aktiviran plin je izuzetno koristan za uklanjanje fotoresista s površine vefera. Putem plazme, fotoresist može postati hrupeći i čišćenje ga postaje mnogo lakše.

Imamo dve različite tehnike korišćenje plazme za uklanjanje fotoresista: suvo ražnjenje i šarenje.

Suvo ražnjenje: U ovoj tehnici, stvarna plazma interaguje sa fotoresistem. Plazma reaguje sa fotoresistem gde se dodiruju. Ova reakcija dekomponira fotoresist i pretvara ga u plin. Ova plinska tvar zatim može biti posle uklonjena sa površine vefera, što rezultira otvaranjem područja koja trebamo čista i dostupna za dalji razvoj.

Aširanje — Ovo je drugačiji način da se to uradi, u ovom metodu koristi se nereaktivna plazma za fotoresist. Plazma razbija fotoresist na mala delića. Zatim se ti malи delovi mogu otopiti sa vefera. Ovaj pristup je pogodan i štiti vefer dok uklanja nepotreban fotoresist.

Korišćenje reaktivne plazme za čišćenje fotoresista

Plazma obrada površine je vrlo moćan alat koji nam pomaže da skinemo najteži fotoresist sa vefera. Plazma je neverovatna po sebi, ali najbolji deo je što je moguće prebaciti u super selektivan agenat. To znači da se može prilagoditi tako da reaguje samo sa fotoresistem, a ne sa drugim materijalima ispod njega.

Na primer: Ako imamo uzorak na veferu gde je metal postavljen ispod fotoresistencije, možemo koristiti vrstu plazme koja reaguje samo sa fotoresistencijom. Time možemo odrubiti fotoresistenciju bez štetovanja metala ispod nje. Sada, ovo je veoma kritično jer nam je potrebno da svi delovi vefera zadrže svoju integritet tokom procesa.

Tehnika Plazme za Skidanje Fotoresistencije

Minder-Hightech koristi moderne plazmen-tehnologije za skidanje fotoresistencije sa naših vefera. To nam omogućava da proizvodimo bezgrešne poluprovodnike visoke kvalitete.

Brzo, prilagođeno vašim potrebama Naši sistemi su dizajnirani da se uklapaju besprekorno u vaš radni tok. To znači da smo u stanju da skinemo fotoresistenciju u kratkom roku. I pošto smo brzi, ispunjavamo punu potrebu naših kupaca, dostavljajući odlične proizvode kad ih trebaju.

Noš, naše plazamske sisteme su takođe vrlo tačne, osim što su efikasne. Šta nam ova tačnost pruža je mogućnost da uklonimo isključivo fotoresist sam. Naša tehnologija sprečava štetu bilo kom drugom delu vajfera tijekom našeg procesa, a to se ne smije desiti. Ova metodična praksa postaje još važnija za kvalitet poluprovodnika koje proizvodimo.

Plazamska uklanjanja fotoresista na poluprovodnicima

Dakle, kratko rečeno, plazma je super moć koja nam omogućava da sružimo neki fotoresist sa površine vejfera na izuzetno učinkovit način. Mi, u Minder-Hightech-u, primenjujemo najnoviju i najbolju plazamsku tehnologiju kako bismo proizveli tačno nula defektnu kvalitetnu poluprovodničku opremu. Kada je reč o plazamskim sistemima, naše rešenja se proizvode tako da ravnoteže brzinu sa tačnošću, a ipak ostaju vrlo efikasna. To znači da smo u stanju da ispunimo zahteve naših kupaca kao i da pružamo kvalitetne proizvode bez grešaka. To poboljšava proces poluprovodnika koje koristimo. uklanjanje plazmom tehnologija koja čini naše poluprovodnike što bolje moguće za sve vrste elektronskih uredjaja kako bi bili pouzdani uređaji.