Систем реактивног јонског јеткања
Професионално обезбедите прилагођена решења за купце
Двокоморно РИЕ (Цл₂) прилагођавање
У фебруару 2024. примили смо захтев од купца за процес хлора од 100 мм плочице.
Ово је за нас интересантна примена јер потребни процесни гас садржи токсичне гасове Цл2 и БЦл3. Морамо да побољшамо све конфигурације машине да бисмо избегли безбедносне проблеме, а посебно смо дизајнирали двокоморну структуру процесне коморе и коморе за пренос како би савршено заштитили оператера док испуњавају захтеве процеса.
После око 5 месеци дизајна и производње, спровели смо више тестова узорака и симулације производње у интерној лабораторији компаније и брзо испоручили опрему након што је купац прихватио.
Ауторско право © Гуангзхоу Миндер-Хигхтецх Цо., Лтд. Сва права задржана