Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
EN
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Dobijte ponudu

Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.

početna strana
O NAMA
MH Equipment
Решење
Korisnici iz inostranstva
Video
KONTAKTIRAJTE NAS
Почетна> Wafer Šlicer
  • Visoka preciznost procesa Himijsko Mehaničkog Planarizovanja CMP
  • Visoka preciznost procesa Himijsko Mehaničkog Planarizovanja CMP
  • Visoka preciznost procesa Himijsko Mehaničkog Planarizovanja CMP
  • Visoka preciznost procesa Himijsko Mehaničkog Planarizovanja CMP
  • Visoka preciznost procesa Himijsko Mehaničkog Planarizovanja CMP
  • Visoka preciznost procesa Himijsko Mehaničkog Planarizovanja CMP
  • Visoka preciznost procesa Himijsko Mehaničkog Planarizovanja CMP
  • Visoka preciznost procesa Himijsko Mehaničkog Planarizovanja CMP

Visoka preciznost procesa Himijsko Mehaničkog Planarizovanja CMP

Dobijte besplatnu ponudu
Opis Proizvoda

Visoka preciznost Oprema za hemijsko mehaničku planarizaciju (CMP)

Precizna CMP oprema postiže efikasno uklanjanje prekoračenih materijala na površinama vefera i globalnu planarizaciju na nanoskali kroz sinergijski efekat hemijskog korozija i mehaničkog šlehanja.
Višestruka namena hemijskog mašinske poliranja, posebno dizajnirana za primene CMP i poliranja slojeva koje zahtevaju strogu geometrijsku tačnost i kvalitet površine, može postići nivo Ra ispod nanometra.
Ovaj uređaj može izvršiti precizno poliranje na nivou nanometara za pojedinačne forme, kao i poliranje tanakih pločica prečnika do 8 inča. Pored toga, može se koristiti i u nekonvencionalnim primenama poliranja, kao što su poliranje tvrdih podloga, priprema Epi površine i poboljšanje recikliranja čipova.
Kako bi se prilagodili mašinama iz serije CDP različitim materijalima i procesnim zahtevima, tehničari prilagođavaju i dizajniraju odgovarajuće šablonse poliranja prema tehničkim zahtevima korisnika kako bi tačno ispunili zahteve CMP procesa. Slika sa leve strane prikazuje opseg jedne ploče prečnika od 8 inča.
Kako bismo osigurali precizno merenje i kontrolu pločica ili uređaja poliranih na mašinama CDP, razvili smo EPD sistem, čiji je prilagođeno dizajnirani skeniranje grafički program za mašine CDP mogao da radi na laptopovima. Ovaj program praćenje i grafički prikazuje proces poliranja, a automatski zaustavlja kada se dostigne krajnja tačka.
Spriječiti prekomjernu poliranje. Skeniranje CDP može takođe služiti kao sigurnosna značajka. Ako se otkriju promjene u bilo kojem nadziranom procesnom parametru, CDP Scan će izazvati audio alarm kako bi se spriječilo prekomjerno poliranje. Primjeri u ovom smislu uključuju promjenu brzine nosača s njegove predodređene vrijednosti. Sustav EPD primijetiće ovu situaciju jer će nivo trenja između ploče i polirane materije promijeniti zbog bilo koje promjene u brzini nosača, što bi moglo ogroziti uspješnu planarizaciju talasa/C. U tom trenutku sustav EPD pokrenuti će čujni alarm prije nego što se fiksna točka ukloni s površine ploče, ili može biti podešen na automatsko isključivanje.
Sustav ACP može se bolje koristiti u širokom rasponu primjena, a grafikon prikazuje rezultate testiranja procesa CMP za silicijev oksid, bakar, nitrid silicija, aluminij-bakar, silicij-germanij i wolfram.
Grafikon prikazuje da nakon procesa CMP, WTWNU može dostići 2,82%.
Primena
Planarizacija silicijskih pločica
Planarizacija II-V spojeva
Ravnanje oksida
Ravnanje podložaka za infracrvene materijale
Ravnanje podložaka od safira, nitrida galijuma i karbida silicijuma, ravnanje EPI podložaka
Zatamčavanje SOS i SOI vefera ispod 20 mikrona
Hierarhijska inverzna inženjerija ili primene FA
Specifikacija
Извор енергије
220v 10A
Veličina wafera
4”/100mm
6”/150mm
8”/200mm
12”/300mm
Пречник радног диска
520mm, 780mm
Брзина радног диска
0-120RPM
Брзина фиксера
0-120RPM
Честотаswing фиксера
0-30spm
Повратни притисак вафре
0-150psi
Притисак у централној тачки вафре
0-50psi
Vremenski period
0-10 h
Kanala za hrano
≥2
Brzina pomeranja
0-150ml/min
Pakovanje i dostava
Profil kompanije
Minder-Hightech je predstavnik prodaje i servisa u industriji opreme za poluprovodnike i elektronske proizvode. Od 2014., kompanija se bavi pružanjem klijentima Suvremenih, Pouzdanih i Kompletnih Rešenja za mašinsku opremu.
ČPP
1. О цени:
Све наше цене су konkurentne и pregovarivane. Cena varira u zavisnosti od konfiguracije i složenosti prilagođavanja vašeg uređaja.

2. О uzorku:
Možemo da vam pružimo uslugu proizvodnje uzoraka, ali možda ćete morati da platite neke naknade.

3. O plaćanju:
Nakon što se plan potvrdi, morate nam prvo platiti depozit, a zatim će fabrika početi da priprema robe. Nakon što
se oprema pripremi i platite ostatak, mi ćemo je poslati.

4. O dostavi:
Nakon što je izrada opreme završena, pošaljićemo vam video snimak prihvatanja, a možete i da dođete na mestо da proverite opremu.

5. Instalacija i podešavanje:
Nakon što oprema stigne u vaš zavod, možemo poslati inženjere da instaliraju i otkloni greške na opremi. Za ovu uslugu ćemo vam pružiti poseban ponudni iznos.

6. O garanciji:
Naša oprema ima garančni rok od 12 meseci. Nakon garančnog perioda, ukoliko su neki delovi oštećeni i trebaju se zamijeniti, naplaćićemo samo troškove proizvodnje.

Više proizvoda

upit

Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved

Pravila o privatnosti

upit Email WhatsApp Top
×

Zakažite sastanak