1.MDAM-CMPA200 je idealan sistem za šlepanje i poliranje za visokoproizvodno šlepanje i poliranje različitih materijalnih pločica (SiC, Safir, GaN, AlN...) komponenti, kao što su filter materijali, klinasti materijali, LCD paneli itd.
2. Četiri motorna pogona i četiri ekstra velika polirna glava omogućavaju da se istovremeno polira do 48 pločica dimenzija 2". Stoga je serija MP strojeva idealna za upotrebu u proizvodnom okruženju sa punim opterećenjem.
3. Automatska kontrolna tabla stroja koristi prenosivi dodirni ekran za kontrolu, a procesni parametri mogu se slobodno uneti i promeniti.
4. Automatska kontrola i inteligentni sistemi za učitavanje/iskidanje mogu brzo polirati pločice do površina pripremljenih za epitaksiju. Ovaj sistem je posebno koristan za rad sa tvrdim podlogama, a takođe može da radi pločice do 8" ø.
5.MDAM-CMPA200 precizna mašina za šlehanje i poliranje uključuje glavnu jedinicu, sistem udaljenog upravljanja, držač, vakuumski sistem, sistem punjenja, šlehne i polirane ploče itd.
6.MDAM-CMPA200 precizna mašina za šlehanje i poliranje, glavna jedinica i sva rezervna delova su izrađena od materijala sa visokom otpornosti na koroziju, cijela mašina je otporna na koroziju, i prilagođena je hemijskom mehaničkom šlehanju i poliranju različitih poluprovodničkih materijala.
7.Putem nezavisnog sistema udaljenog upravljanja može se postići i zajedničko upravljanje više mašina. Putem jednog kontrolnog terminala može se upravljati više mašina za šlehanje i poliranje, što olakšava promenu tehnoloških parametara tijekom procesa. Može se takođe postići precizna numerička kontrola više procesa istovremeno, znatno povećavajući radnu efikasnost i tačnost procesa.
8. Sistem automatskog punjenja može prilagoditi brzinu kapljivanja prema različitim tehničkim zahtevima, a automatski se gasi kada se izgubi tanko materijal kako bi se spriječilo oštećenje uzorka kada nema tankog materijala.
9. Upravljački sistem opreme ima funkciju timera. Nakon što se dostigne zadano vrijeme, sistem se automatski gasi.