Veličina wafera
|
4”~ 8” pločica
|
Debljina pločice
|
100~750 mikrona
|
Tip pločice
|
Si, SiC, GaN ili druge materijale
|
Tip filma
|
Plava folija, UV folija
Širina: 230 ~ 300 mm Dužina: 100 m Debljina: 0.05 ~ 0.2 mm |
Prsten nosač pločica
|
6”, 8” DISCO
|
Metod otpakivanja i pakovanja
|
Ručno postavljanje i uklanjanje pločica/prstena
|
Tačnost pozicioniranja folije
|
±0.5mm
Standardne ploče za krpce 6” i 8” za krpce 6” i 8” |
Vakum pumpa
|
Minder-Hightech
|
Kontrola antistatičnosti
|
Deionizacijski ventilator
|
Jedinica za upravljanje
|
Temeljeno na PLC upravljanju, sa 10” dodirnim ekranom
|
Sigurnosna zaštita
|
Konfigurisano sa zaštitom od svetlosnog zavjesa i dugmetom za hitnu zaustavu
|
Напон на снабдевање
|
Jednofazni AC 220V, 16A
|
Компресиони ваздух
|
0.45~0.6MPa, protok 70L/min
|
Kutija stroja
|
Bijela plastika oblačena metala kutija
|
Zapremina
|
850mm (širina)*1750mm (dubina)*1970mm (visina)
|
Neto težina
|
480kg
|
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved