Poravnavalac / Mašina za poravnanje fotolitografija , China Poravnavalac / Mašina za poravnanje fotolitografija Manufacturers, Suppliers, Factory

Opis proizvoda

Mask Poravnavač Mašina za litografiju

Mask Poravnavač se glavnо koristi u razvoju i proizvodnji malih i srednjih integrisanih šema, poluprovodničkih komponenti, optoelektronskih uredjaja, površinskih akustičnih talasnih uredjaja, tankofilmskih šema i snaga elektronskih uredjaja
Mask Aligner, poznat i kao: mask alignment exposure machine, exposure system, lithography system itd., je glavna oprema za proizvodnju čipova. Koristi tehnologiju sličnu fotoštampi da štampa fina uzorci sa maske na silicijumsku pločicu preko svetlosne ekspozicije.
Glavno sastoji se od: visokopreciznog poravnatog radnog stola, binokularnog odvojenog polja vidika vertikalnog mikroskopa, binokularnog odvojenog polja vidika horizontalnog mikroskopa, digitalne kamere, računarskog sistema snimanja slike, višetakmičnog izvora svetlosti (fly eye) ekspozicionog glave, PLC upravljačkog sistema, pneumatickog sistema, vakuum sistema, direktno povezane vakuum pompe, sekundarnog protivtreperavog radnog stola i dodatne kutije.

Aligner /Alignment Machine photolithography manufacture

Aligner /Alignment Machine photolithography factory

Karakteristika

1. Visoka uniformnost fly-eye ekspozicione glave / vazduhoplovni ravnotežni mehanizam / pouzdan vakuumski pričvrstani ekspozicije. visoka rezolucija.
2. Poravnavanje metodom koristeći masku koja osigurava stabilnost i unos podloga, što garantuje konzistentnost vodiljne sile i pritiska.
3. Korišćenje bezrazmernog linearnog vodiča, visoka preciznost, brza brzina.
4. Svi modeli su pogodni za rad sa svim standardnim fotoresistancama, kao što su AZ, Shipley, SU 8.
5. Svi modeli: Kvalitet šablon-a prenesenog od sistema na substartat posle 5 maska bi trebalo da bude isti kao kvalitet šablona nakon primene prvog maska.
6. Vreme ekspozicije se može prilagoditi između 1 sekunde i 1 sata. Tačnost poravnanja 1 µm

Aligner /Alignment Machine photolithography supplier

Aligner /Alignment Machine photolithography details

Specifikacija

Model	MD-G25A	MD-G25D	MD-G31		MD-G33
Tip ekspozicije	jedna strana			Dvostrana poravnanja i dvostrana ekspozicija
Režim ekspozicije	Kontakt, meki i ne-kontakt bliski
Količina izloživačke glave	1 izloživačka glava			2 izloživačke glave
Tip izvora svetlosti	GCQ350 sferna merkurijerna lampa						LED UV izloživačka glava
Metod hlađenja	Хлађење ваздухом
Područje izloženosti	Φ100mm	110×110mm	Φ100mm		150mm×150mm
Režim ekspozicije	Saglasno sa tvrdim i mekim kontaktom
Neravnomerno osvetljenje	Φ100mm<±3%<>	≤±3%
Osjetljivost osvetljenja	2μm	1 μm
Intenzitet zraka (365 nm)	≥6mw/cm²	≤40mw/cm2	≥5mw/cm2		0～30мВ/см²
Нехомогеност светлости	≤±4%	≤±3%
Највећи угаони одсављач UV светлости	4°	3°
Распон осветљavanja	≤Φ117mm	Φ117mm	≤Φ117mm		Спред ≥ Φ115mm
Режим компензије грешке клине	Хемисферна аутоматска компензија			Automatsko eliminisanje		3-tačkasto automatsko kompenziranje
Putovanje X i Y osa	±4mm	±5mm	±4mm		±5 mm
Putovanje θ	±3°	≤5°	≤±5º		≤0.5°
Rezolucija pomera substrata XYZ	0.5µm	0.3µm	0.3µm		0.01µm
Sistemska količina mikroskopa	Dva jednocepljastih mikroskopa / Dve CCD kamere
Veličina displeja	15 inča
Rezolucija sistema snimanja	2µm	1.5µm	1.5µm		1.5µm
Rastojanje merenja između maska i subustrata	0.5 µm	0.3 µm
Dijagonalna dimenzija površine CCD cilja	1/3, (6mm)						40mm～110mm
Veličina pode mnice	≤ Kvadrat 5*5 inch (Prilagođene specifikacije)
Veličina substrata	Φ 100mm ili kvadrat 100*100mm	kvadrat 60*49.5mm	2”-4”		1"x1"-5"x5"
Debljina substarta	1-3mm	≤5 mm	1-3mm		≤5 mm
Vakum pumpa	Ulja slobodan tišin (-0.07～－0.08MPα)
Čista stisnuta vazduha	≥0.4MPα
Извор енергије	AC 220V±10% 50HZ 1.5KW
Klasa čistoća soba	Klasa 100
Temperatura čistog prostora	25℃±2℃
Relativna vlažnost čistog prostora	≤60%
Amplituda vibracije čistog prostora	≤4μm
Dimenzije opreme	1300 ×720×1600mm				1500 ×800×1600mm
Težina opreme	200KG				280kg

Proizvodnja visoko preciznog poravnavnog sistema zahteva skoro savršeno precizne mehaničke procese. Još jedan tehnički problem poravnavnog sistema je poravnavni mikroskop. Kako bi se povećao vidikup mikroskopa, mnogi visokoendni litografski strojevi koriste LED osvetljenje. Postoji dva skupa poravnavnog sistema sa fokusirajućom funkcijom. Glavno se sastoji od dva oka i dva vidika usmerena prema telu mikroskopa, jedan par okulara i jedan par objektiva (litografski stroj obično pruža okulare i objektive različitih uvećanja korisnicima). Funkcija CCD poravnavnog sistema je da uveća poravnavne oznake maski i uzorka i prikazuje ih na monitoru.

Radna ploča je ključni deo litografskog stroja, koji se sastoji od celokupnog pokretne ploče za masku i uzorak (XY), relativne pokretne ploče za masku i uzorak (XY), rotacione ploče, mehanizma ravnanja uzorka, fokusiranja uzorka, ploče za veštačke dijelove, držača za masku i izvlačenje ploče za masku. Mehanizam ravnanja uzorka sastoji se od loptovitog sjedališta i polulopte. Tijekom procesa ravnanja, prvo se pritisno zrak primjenjuje na loptovito sjedalište i poluloptu, a zatim se loptovito sjedalište, polulopta i uzorak pomiču prema gore kroz ručicu za fokusiranje, tako da se uzorak ravna protiv maske, a zatim prebacivač troputne elektromagnetske vratila prebacuje loptovito sjedalište i poluloptu na vakuum za zaključavanje kako bi se održao stanje ravnanja.

Minder-Hightech vam donosi naprednu tehnologiju za fotolitografiju putem poravnavanja strojeva.

Da li se suočavate sa problemom nesavršene tačnosti prilikom štampanja šema na vaše elektronske proizvode? Sa Minder-Hightech-ovim Poravnavačem/Urđivačkim strojem, možete biti sigurni da ćete postići visoku preciznost u proizvodnji štampanih šema.

Sa ovim inovativnim uređajem, možete lako preneti visokorezolucioni sliku na proizvod koristeći fotolitografiju. Ovaj stroj osigurava tačnost kroz operativni sistem poravnavanja materijala sa slikom.

Nakon što su slikeštampirane i otpremljene, stroj izračunava količinu ekspozicije koja je potrebna i kako je materijal poravnan u odnosu na slike. Ovaj izračun se vrši koristeći najnovije računarsko softver koji se može ažurirati kako bi pratilo tehnološki razvoj u proizvodnoj industriji.

Omogućiti će vam stvaranje širokog spetra, uključujući mikrokola, radiofrekvencijske (RF) kola i ugrađene kola. Jedinica može postići najbolju dubinu režanja, širinu trake i poravnanje slojeva uz pomoć raznih komplementarnih procedura, kao što su hemijsko režanje i elektrodepozicija.

Prednost našeg proizvoda leži u mogućnosti da postigne visoku tačnost poravnanja, što osigurava da su obrasci precizno raspoređeni na materijalu. Moguće je lako štampati mnoge složene dizajne bez bilo kakvih deformacija.

Jednostavan je za upotrebu, kompaktan i efikasan, što ga čini pogodnim za različite proizvodnje objekte ili veličinu tvrtke. Također, naše uređaje dolaze sa ručnim održavanjem i obukom na mestu uz podršku našeg tima tehničke podrške.

Minder-Hightech-ov Uravnoteživač/Uravnoteživački stroj koristi fotolitografsku tehnologiju da vam pomaže da postignete najbolje rezultate prilikom štampanja vaših krugova. Iskusite nov nivo tehnologije koja vam pruža visoku tačnost i preciznost koju tradične metode štampe ne mogu podudarati. Minder-Hightech-ov Uravnoteživač/Uravnoteživački stroj je ono što vaša proizvodnja potrebuje da bi ostala korak ispred konkurencije. Kontaktirajte nas danas kako biste uživali u prednostima najbolje tehnologije Uravnoteživača/Uravnoteživačkog stroja na tržištu.

početna strana

O NAMA

MH Equipment

Решење

Korisnici iz inostranstva

Video

KONTAKTIRAJTE NAS

Poravnavalac / Mašina za poravnanje fotolitografija

Više proizvoda

Serija MD-FS stroj za vijanje kondenzatora

Serija MD-FDS Automatski stroj za vijanje kondenzatora

Serija MD-EFS stroj za vijanje kondenzatora

Serija MD-EDFS filmni stroj za vijanje kondenzatora

upit

Articles

Products

Get In Touch