Фотолитографија машина за поравнавање / машина за поравнање, Кина Фотолитографија машине за поравнавање / поравнање Произвођачи, добављачи, фабрика

Производи Опис

Маск Алигнер литографска машина

Маск Алигнер се углавном користи у развоју и производњи малих и средњих интегрисаних кола, полупроводничких компоненти, оптоелектронских уређаја, уређаја са површинским акустичним таласима, танкослојних кола и енергетских електронских уређаја.
Маск Алигнер Такође познат као: машина за излагање маски, систем експозиције, систем литографије, итд., је основна опрема за производњу чипова. Користи технологију сличну штампању фотографија за штампање финих шара на маски на силиконској плочици излагањем светлости
Углавном се састоји од: високопрецизног радног стола за поравнање, вертикалног микроскопа са одвојеним видним пољем, хоризонталног микроскопа са одвојеним видним пољем, дигиталног фотоапарата, рачунарског меморијског система за слике, експозицијске главе са више тачака извора светлости (муших очију), ПЛЦ управљачког система, пнеуматски систем, вакуумски систем, директно повезана вакуум пумпа, секундарни антивибрациони радни сто и кутија за прибор

Производња фотолитографије машина за поравнавање / поравнање

Фабрика за фотолитографију машина за поравнавање

Карактеристика

1. Висока униформност главе за излагање мушицама / механизам за нивелисање плутања ваздуха / поуздано излагање вакуумским стезањем. висока резолуција.
2. Метода поравнања помоћу маске одржава стабилно и храњење супстрата, који осигуравају конзистентност гравитације водича и силе.
3. Коришћење правог водича без размака, високе прецизности, велике брзине.
4. Сви модели погодни за рад са свим стандардним фоторезистима. као што су АЗ, Шипли, СУ 8.
5. Сви модели Квалитет шаре који систем преноси на апликације маске подлоге 5 треба да буде исти као и квалитет шаре након примене прве маске.
6. Време експозиције подесиво између 1 секунде и 1 сата. Прецизност поравнања 1 µм

Добављач фотолитографије машина за поравнавање/машина за поравнање

Детаљи фотолитографије машине за поравнавање /Алигнмент Мацхине

Спецификација

модел	МД-Г25А	МД-Г25Д	МД-Г31		МД-Г33
Врста експозиције	Једне стране			Двоструко бочно поравнање и двострука бочна експозиција
Режим експозиције	Контакт тврда, мека и бесконтактна близина
Количина експозицијске главе	1 Глава експозиције			2 Глава експозиције
Тип извора светлости	ГЦК350 сферична живина лампа						ЛЕД глава за излагање УВ зрачењу
Начин хлађења	Хлађење ваздуха
Подручје изложености	ΦКСНУМКСмм	КСНУМКС × КСНУМКСмм	ΦКСНУМКСмм		КСНУМКСмм × КСНУМКСмм
Режим експозиције	Компатибилан са контактним тврдим, меким
Неједнакост експозиције	Φ100мм<±3%<>	≤ ± КСНУМКС%
Резолуција експозиције	КСНУМКСμм	КСНУМКС μм
Интензитет зрака (365 нм)	≥6мв/цм²	≤40мв/цм2	≥5мв/цм2		0～30мв/цм2
Нехомогеност зрака	≤ ± КСНУМКС%	≤ ± КСНУМКС%
Угао максималног одступања УВ светла	КСНУМКС °	КСНУМКС °
Распон осветљења	≤Φ117мм	ΦКСНУМКСмм	≤Φ117мм		Предњи и задњи ≥ Φ115 мм
Режим компензације грешке клина	Хемисферична аутоматска компензација			Ауто елиминација		Аутоматска компензација у 3 тачке
Путовање осе Кс и И	± КСНУМКСмм	± КСНУМКСмм	± КСНУМКСмм		± КСНУМКС мм
Путовање θ	± КСНУМКС °	≤КСНУМКС °	≤±5º		≤КСНУМКС °
КСИЗ резолуција померања супстрата	КСНУМКСμм	КСНУМКСμм	КСНУМКСμм		КСНУМКСμм
Микроскопски систем	Два једноцевна микроскопа /Две ЦЦД камере
veličina екрана	КСНУМКС инча
Резолуција система за снимање	КСНУМКСμм	КСНУМКСμм	КСНУМКСμм		КСНУМКСμм
Маска и растојање мерења подлоге	КСНУМКС μм	КСНУМКС μм
Дијагонална димензија ЦЦД циљне површине	1/3, (6 мм)						40мм～110мм
Подешавање величине табеле	≤ Квадрат 5 * 5 инча (прилагодљиве спецификације)
Величина подлоге	Φ 100мм или 100*100мм квадрат	60 * 49.5 мм квадрат	КСНУМКС "-КСНУМКС"		1"к1"-5"к5"
Дебљина подлоге	КСНУМКС-КСНУМКСмм	≤КСНУМКС мм	КСНУМКС-КСНУМКСмм		≤КСНУМКС мм
Вакумска пумпа	Без уља (-0.07～－0.08МПα)
Чисти компримовани ваздух	≥0.4МПα
Напајање	АЦ 220В±10% 50ХЗ 1.5КВ
Оцена чисте собе	Класа КСНУМКС
Чиста собна температура	25 ± 2 ℃
Релативна влажност чисте просторије	≤КСНУМКС%
Амплитуда вибрација чисте собе	≤4μм
Величина опреме	1300 × 720 × 1600 мм				1500 × 800 × 1600 мм
Тежина опреме	КСНУМКСкг				КСНУМКСкг

Производни систем за поравнање високе прецизности треба да има скоро савршен прецизан механички процес. Други технички проблем система поравнања је микроскоп за поравнање. Да би се побољшало видно поље микроскопа, многе врхунске литографске машине користе ЛЕД осветљење. Постоје два сета система за поравнање са функцијом фокусирања. Углавном се састоји од два ока и два видна поља која циљају на главно тело микроскопа, једног пара окулара и једног пара објектива (машина за литографију обично обезбеђује окулар и објектив објектива са различитим увећањем за кориснике). Функција ЦЦД система за поравнање је да увећа ознаке поравнања маске и узорка и слика их на монитору.

Фаза радног комада је кључни део литографске машине, која се састоји од фазе укупног кретања узорка маске (КСИ), фазе релативног кретања узорка маске (КСИ), фазе ротације, механизма за нивелисање узорка, механизма за фокусирање узорка , стадијум плочице, стезаљка за маску и степен маске за извлачење. Механизам за нивелисање узорка се састоји од лежишта лопте и полулопте. У процесу нивелисања, прво се ваздух под притиском примењује на седиште лопте и хемисферу, а затим се седиште лопте, хемисфера и део узорка померају нагоре кроз точак за фокусирање, тако да се комад узорка може поравнати са маском, а затим двоположајни тросмерни електромагнетски вентил пребацује седиште кугле и хемисферу у вакуум ради закључавања како би се одржало стање нивелисања.

Миндер-Хигхтецх вам доноси напредну технологију за фотолитографију путем машине за поравнавање/поравнање.

Да ли се борите са недовољно прецизности док штампате кола на својим електронским производима? Са Миндер-Хигхтецх-овом машином за поравнавање/поравнање, можете се одморити знајући да ћете постићи високу прецизност у производњи штампаних кола.

Помоћу овог револуционарног артикла можете неприметно пренети слику високе резолуције на производ помоћу фотолитографије. Ова машина гарантује тачност кроз оперативни систем поравнања материјала са сликом.

Након што су слике одштампане и постављене, машина израчунава количину потребне експозиције и како је материјал усклађен са помињањем слика. Ова калкулација се врши коришћењем најновијег компјутерског софтвера који се може ажурирати у складу са технолошким развојем у производној индустрији.

То ће вам омогућити да направите широк спектар, укључујући микро кола, радиофреквентна (РФ) кола и уграђена кола. Јединица може да произведе најбољу дубину нагризања, ширину траке и поравнање слоја до слоја додавањем различитих комплементарних процедура, као што су хемијско јеткање и галванизација.

Предност нашег производа лежи у његовој способности да произведе високо поравнање, што гарантује да су шаре лоциране са великом прецизношћу на материјалу. Можете лако да одштампате многе компликоване дизајне без икаквих деформитета.

Једноставан је за употребу, компактан и ефикасан, што га чини погодним за различите производне погоне или величину компаније. Поред тога, наш уређај долази са ручним одржавањем и обуком на лицу места са нашим тимом особља за техничку подршку.

Миндер-Хигхтецх-ова машина за поравнавање/поравнање користи технологију фотолитографије како би вам помогла да постигнете најбоље резултате док штампате своја кола. Искусите нови ниво технологије који вам нуди високу тачност и прецизност која се не може мерити традиционалним методама штампања. Миндер-Хигхтецхова машина за поравнање/поравнање је оно што вашој производној компанији треба да остане корак испред конкуренције. Контактирајте нас већ данас да бисте уживали у предностима најбоље технологије машине за поравнавање/машину за поравнање на тржишту.