ПЛАЗМА
|
RF
|
RF
|
||
снага
|
ICP
|
КСНУМКСв
|
КСНУМКСв
|
|
БИАС
|
600в (опција)
|
600в (опција)
|
||
Применљив опсег
|
4~8寸
|
4~8寸
|
||
Број појединачних обрада
|
1
|
2
|
||
Димензије изгледа
|
КСНУМКСкКСНУМКСкКСНУМКСмм
|
КСНУМКСкКСНУМКСкКСНУМКСмм
|
||
Контрола система
|
Индустријски систем управљања
|
Индустријски систем управљања
|
||
Ниво аутоматизације
|
аутоматски
|
аутоматски
|
Ауторско право © Гуангзхоу Миндер-Хигхтецх Цо., Лтд. Сва права задржана