Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
EN
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Dobijte ponudu

Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.

Početna strana
O NAMA
MH Equipment
Решење
Korisnici iz inostranstva
Video
KONTAKTIRAJTE NAS
Почетна> MH Equipment> Šlejer i polirničar
  • Automatsko CMP posle čišćenja
  • Automatsko CMP posle čišćenja
  • Automatsko CMP posle čišćenja
  • Automatsko CMP posle čišćenja
  • Automatsko CMP posle čišćenja
  • Automatsko CMP posle čišćenja
  • Automatsko CMP posle čišćenja
  • Automatsko CMP posle čišćenja
  • Automatsko CMP posle čišćenja
  • Automatsko CMP posle čišćenja
  • Automatsko CMP posle čišćenja
  • Automatsko CMP posle čišćenja

Automatsko CMP posle čišćenja

Dobijte besplatnu ponudu
Opis Proizvoda

Oprema za čišćenje nakon Hemikalno Mehaničkog Istruživanja wafera

CMP Nakon Čišćenja

Карактеристике машине

Jaka sposobnost obrade
Dvokomorni štapanje, sa širokim rasponom procesne primenljivosti
Oprema zauzima malu površinu, sa dimenzijama od 2200 * 800 * 2200 (mm)

Oblasti primene

štampanje nakon CMP od 6-8 cala
Čišćenje posle trenja SIC ili drugih podloga

Tehnički parametri

Čišćenje posle 4-inch i 6-inch CMP
Dvo-kamerni dizajn, nezavisno funkcionišanje kamere Mokro ulaz i suvo izlaz ili suvo ulaz i suvo izlaz
Visoko brzinsko centrifugirano osušavanje SRD

LoadPort jedinica, jedinica za učitavanje

LoadPort je jedinica za učitavanje ovog uređaja
Mokro kazeta šalter
Ima funkciju sprej umlaživanja

Četkasta jedinica, jedinica za čišćenje wafera

Dvo-kamerna jedinica, sposobna da podrži dve različite čišćene rastvorine
Položaj čišćenja može se prilagoditi prema receptu - Tasi za prenos

Jedinica SRD, Jedinica za sušenje Vafera

Tip špiner skupa sa sušenjem, maksimalna brzina 4000OKR/MIN
Može izvršiti AS čišćenje na površini vafera i sprej DIW

Jedinica za IZVOĐENJE, Jedinica za sečenje

Jedinica za izvođenje ima nezavisnu FFU jedinicu da bi se osigurala čistoća izlaza vafera

Транспортер

Mokra zona je tasi za prenos
Suha zona za teleportaciju robota

Opis čišćenja jedinice

Kao što je prikazano na levom slici, ovaj uređaj sastoji se od dve jedinice za čišćenje, a to su BU1 i BU2.
Pritisak četkice svakog jedinica može se pojedinačno prilagoditi (kao što je navedeno u receptu), a svaki odeljak sa četkama može biti očišćen različitim hemijskim rečenicama zasebno.
Četkica mašine je PVA četkica, tip koji je široko korišćen na tržištu.
Prenos između prostora je opaska prenosna traka. Unutar prostora postoji DIW PRANJE.

SRD jedinica

SRD jedinica je opremljena začepom CHUCK i rukom AS ARM, koja može dodatno fizički očistiti i osušiti površinu vejfera rotacijom.
Specifikacija
Veličina opreme:
2200 * 800 * 2200 (mm)
Metode učitavanja i isklanjanja
sušno u/umokro u/sušno iz
Broj četkovih jedinica
2
Broj SRD jedinica
1
Način transporta
Transport po mokrom području putem opaske, transport po suhom području putem robota
Dimenzije opreme sa četkastom komorom 1 su 1850 * 800 * 2200
Pakovanje i dostava
Profil kompanije
ČPP
1. О цени:
Све наше цене су konkurentne и pregovarivane. Cena varira u zavisnosti od konfiguracije i složenosti prilagođavanja vašeg uređaja.

2. О uzorku:
Možemo da vam pružimo uslugu proizvodnje uzoraka, ali možda ćete morati da platite neke naknade.

3. O plaćanju:
Nakon što se plan potvrdi, morate nam prvo platiti depozit, a zatim će fabrika početi da priprema robe. Nakon što
se oprema pripremi i platite ostatak, mi ćemo je poslati.

4. O dostavi:
Nakon što je izrada opreme završena, pošaljićemo vam video snimak prihvatanja, a možete i da dođete na mestо da proverite opremu.

5. Instalacija i podešavanje:
Nakon što oprema stigne u vaš zavod, možemo poslati inženjere da instaliraju i otkloni greške na opremi. Za ovu uslugu ćemo vam pružiti poseban ponudni iznos.

6. O garanciji:

Naša oprema ima garančni rok od 12 meseci. Nakon garančnog perioda, ukoliko su neki delovi oštećeni i trebaju se zamijeniti, naplaćićemo samo troškove proizvodnje.

Više proizvoda

Upit

Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved

Pravila o privatnosti

Upit Email WhatsApp Top
×

Zakažite sastanak