Аутоматска хемијска механичка полирка за једноструке плочице ЦМП, Кина Аутоматска хемијска механичка полирка за полирање с једном плочицом ЦМП, произвођачи, добављачи, фабрика

Опис производа

АТОМ Сингле Платен ЦМП

Карактеристике машине

Уређај је флексибилан и може да подржи више глава.
Процесна способност опреме је блиска стандардном нивоу модела производа исте величине.
Добра конзистентност процеса међу уређајима.

Поља примене

4-8 инча СТИ, ИЛД/ИМД, ТСВ, ТГВ полирање и полирање површине једињења као што су СиЦ, ЛТ, ЛН, ГаАс, итд.

Технички параметри

Главе од 4 инча, 6 инча, 8 инча, контрола више зона
Тип плоче Φ20 инча 508 мм
Тачност контроле притиска главе<0.05ПСИ
Тачност контроле брзине ротације главе и плоче<2РПМ

производ аутоматски једноструки хемијски механички полир цмп-53

1. ЛоадПорт јединица

Отвор се може окренути да би се касета уронила у Ктанк, избегавајући стварање кристала каше на
полирана површина наполитанке. Опремљен функцијом Цассетте Маппинг.

производ аутоматски једноструки хемијски механички полир цмп-54

2. Јединица за проналажење роботског материјала

Опремљен 4-осним роботом, може аутоматски пренети плочице са касете на јединицу за полирање.

производ аутоматски једноструки хемијски механички полир цмп-55

3. Јединица за полирање

Ова јединица је опремљена Платен * 1, Хеад * 1, ПЦ *
1, крак за гнојницу * 1, ХЦЛУ * 1 и крајња тачка ЕПД
детекција. Може да постигне аутоматско учитавање и пражњење плочице, вишезонску контролу главе, кашу
промена тачке слетања помоћу подешавања рецепта, детекције крајње тачке и других функција.

производ аутоматски једноструки хемијски механички полир цмп-56

ЦМП глава за полирање

Главе за полирање конфигурисане на овом уређају су све независно развијене, дизајниране и произведене од стране наше компаније.
Међу њима, глава од 4 инча са 3 шупљине је јединствен производ који је креирала наша компанија, попуњавајући празнину без главе од 4 инча са више шупљина у Кини. Наша компанија може брзо модификовати или прилагодити главу према карактеристикама производа купца. У развоју ТГВ танкослојних (200ум) производа, унутрашња структура главе је модификована да испуни захтеве полирања танког филма. Током процеса развоја ЛН површинске ОКС технологије полирања, наша компанија је дубоко надоградила главу од 6 инча и успешно испунила захтеве купаца за производом.

производ аутоматски једноструки хемијски механички полир цмп-57

aplikacije

Традиционални процес полирања ИЦ планаризације;

ТГВ/ТСВ процес;

Паметно сечење и предвезивање ЦМП;

СИЦ полирање подлоге/полирање галијум арсенидом.

производ аутоматски једноструки хемијски механички полир цмп-58

Спецификација

лука	Количина * 1, са К-танком
Робот	Количина * 1, за пренос вафла
ХЦЛУ	Количина * 1, за аутоматско пуњење и истовар вафла
Глава за полирање	Количина * 13 контрола шупљине, контролна тачност од 0.1ПСИ, може да подржи 400-1200 УМ вафер операције.
Брзина глачања главе	КСНУМКС-КСНУМКСРПМ
Диск за полирање	Количина * 1 Величина диска за полирање 508 мм, брзина јастучића за полирање 10-150 о/мин.
Рука за подрезивање	Количина * 1 подлога за полирање. Подлога за полирање се може полирати на мрежи (истовремено) или ван мреже (након полирања). Подрезивање рука је опремљена осовином за подрезивање, која се може ротирати и померати горе-доле, а брзина и сила притиска се могу контролисати. Тхе алат за тримовање је инсталиран на осовини за подрезивање и може се брзо уклоњена. У складу са различитим типовима јастучића за полирање, конфигуришу се различити типови алата за облагање, укључујући и облоге четке, дијамантски прстенови и дијамантски дискови.
УПА јединица за контролу притиска главе за полирање	Количина * 13 зона подесива за бољи ефекат планаризације површине
Пумпа за довод течности за полирање	Количина * 2. Перисталтичке пумпе се користе за довод течности, са 2 перисталтичке пумпе конфигурисане да испоручују различито полирање течности на диск за полирање. Свака пумпа се може користити у било ком кораку процеса.
Слурри Арм	Количина * 1 може контролисати тачку слетања суспензије и може очистити подлогу за полирање.
Систем за контролу рада може постићи контролу на нивоу корисника, као што су режим оператера, режим одржавања и технички режим, и вар ови режими се контролишу помоћу лозинки. Системски софтвер може да уређује процесне параметре сваког корака процеса и изравнава и полирајте танки филм на површини чипа према програму. Може да прати статус рада опреме, надгледа процесне параметре у реалном времену, а софтвер може аутоматски да складишти различите процесне податке. Опремљен са заустављањем у случају нужде дугме, које се користи за тренутно заустављање рада опреме и искључивање контролног напајања.

Паковање и достава

производ аутоматски једноструки хемијски механички полир цмп-59

производ аутоматски једноструки хемијски механички полир цмп-60

профил компаније

Питања

1. О цени:
Све наше цене су конкурентне и могу се преговарати. Цена варира у зависности од конфигурације и сложености прилагођавања вашег уређаја.

2. О узорку:
Можемо да вам пружимо услуге производње узорака, али можете обезбедити неке накнаде.

3. О плаћању:
Након што је план потврђен, потребно је прво да нам уплатите депозит, а фабрика ће почети да припрема робу. Након што је
опрема је спремна и ви платите остатак, ми ћемо га послати.

4. О испоруци:
Након што је производња опреме завршена, послаћемо вам видео пријем, а можете доћи и на локацију да прегледате опрему.

5. Инсталација и отклањање грешака:
Након што опрема стигне у вашу фабрику, можемо послати инжењере да инсталирају и отклоне грешке на опреми. Даћемо вам посебну понуду за ову услугу.

6. О гаранцији:
Наша опрема има гарантни рок од 12 месеци. Након гарантног рока, ако су неки делови оштећени и треба их заменити, ми ћемо наплатити само цену коштања.