Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
EN
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Dobijte ponudu

Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.

Početna strana
O NAMA
MH Equipment
Решење
Korisnici iz inostranstva
Video
KONTAKTIRAJTE NAS
Почетна> Wafer Šlicer
  • Automatski jednopločni talasni hemijski mehanički polirani planarizator CMP
  • Automatski jednopločni talasni hemijski mehanički polirani planarizator CMP
  • Automatski jednopločni talasni hemijski mehanički polirani planarizator CMP
  • Automatski jednopločni talasni hemijski mehanički polirani planarizator CMP
  • Automatski jednopločni talasni hemijski mehanički polirani planarizator CMP
  • Automatski jednopločni talasni hemijski mehanički polirani planarizator CMP
  • Automatski jednopločni talasni hemijski mehanički polirani planarizator CMP
  • Automatski jednopločni talasni hemijski mehanički polirani planarizator CMP
  • Automatski jednopločni talasni hemijski mehanički polirani planarizator CMP
  • Automatski jednopločni talasni hemijski mehanički polirani planarizator CMP

Automatski jednopločni talasni hemijski mehanički polirani planarizator CMP

Dobijte besplatnu ponudu
Opis Proizvoda
ATOM CMP sa jednim podlogom

Карактеристике машине

Uređaj je fleksibilan i može da podržava više glava.
Procesna sposobnost opreme je blizu nivoa glavnog modela proizvoda iste veličine.
Dobra konzistentnost procesa između uređaja.

Oblasti primene

polovanje STI, ILD/IMD, TSV, TGV i površinsko polovanje slojevina poput SiC, LT, LN, GaAs itd. u rasponu od 4-8 inch

Tehnički parametri

glave prečnika 4, 6 i 8 inch, sa višezonskim upravljanjem
Tip Φ20 inch 508MM Talasa
Tačnost kontrole pritiska glave <0.05PSI
Tačnost kontrole brzine rotacije glave i talasa <2RPM

1. Jedinični uređaj za učitavanje

Port se može okrenuti da bi se Cassete upustile u Qtank, što sprečava formiranje kristala Slurry-a na
opoljenoj površini Vafera. Opremljen je funkcijom Cassette Mapping.

2. Jedinični uređaj za uzimanje materijala robotom

Opremljen 4-osnim robotom, omogućava automatski prijenos vafera iz Cassete na jedinicu za polovanje.

3. Уколико је потребно. Пољерски јединица

Ова јединица је опремљена са Плетен * 1, Глава * 1, ПЦ *
уколико је потребно, може се користити и за исхрану.
детекција. Може постићи аутоматско учитавање и ислажење вафера, контролу више зона главе, Слурри
појава точка мења са подешавања рецепта, откривање крајње тачке и друге функције.
Глава полирача ЦМП
Све главе полирача које су конфигуриране на овом уређају независно су развијене, дизајниране и произведене од стране наше компаније.
Међу њима, 4-инчни 3-кувост глава је јединствени производ креиран од стране наше компаније, попуњавање празнине нема више кувости 4-инчни глава у Кини. Наша компанија може брзо да модификује или прилагоди главу према карактеристикама производа купца. У развоју ТГВ производа са танким филмом (200м), унутрашња структура главе је модификована како би задовољила захтеве полирања танким филмом. Током процеса развоја технологије полирања површине ЛН ОХ, наша компанија је дубоко унапредила 6-инчни главу и успешно испунила захтеве производа купца.
Primene
Tradicionalni proces ravnanja i poliranja IC plana;
Proces TGV/TSV;
Smart Cut i CMP prevezivanje;
Poliranje SIC podložaka/galijum arsenid poliranje.
Specifikacija
Luka
Količina * 1, sa Q-bakom
Robot
Količina * 1, za prenos pločica
HCLU
Količina * 1, za automatsko učitavanje i isključivanje pločica
Glava za poliranje
Količina * 13 kamenjasti kontrolni sistem, kontrolna tačnost od 0.1PSI, može da podrži operacije pločica širine 400-1200 UM.
Brzina čistačke glave
5-150RPM
Диск за полирање
Količina * 1 Veličina čistačkog diska 508mm, Brzina čistačkog plovca 10-150rpm.
Uređaj za oštrivanje
Količina * 1 čistački plovac. Čistački plovac može da radi onlajn (istovremeno) ili offlajn (nakon čišćenja). Uređaj
za oštrivanje je opremljen oštrivačkim osom, koja se može rotirati i pomiči gore-dole, a brzina i pritisak mogu se kontrolisati.
oštrivački alat je montiran na oštrivačku osu i može se brzo
ukloniti. Prema različitim vrstama čistačkih plovača, konfigurišu se različiti oštrivački alati, uključujući oštrivačke
četkice, dijamantske prste i dijamantske ploče.
UPA jedinica za kontrolu vazduhopisa čistačke glave
Količina * 13. Zona je prilagođena za bolji efekat ravnanja površine.
Pumpa za snabdevanje čistačnim tečnostima.
Količina * 2. Peristaltičke pumpe se koriste za snabdevanje tečnošću, sa 2 peristaltičke pumpe konfigurisane da dostavljaju različite čistačne tečnosti.
svaka pumpa može biti upotrebljena u bilo kojem koraku procesa.
Slurry ruka
Količina * 1 može kontrolisati mesto pada slurry-a i može čistiti čistački šećer.
Operativni kontrolni sistem može ostvariti kontrolu na nivou korisnika, kao što su režim operatera, režim održavanja i tehnički režim, a različiti režimi su kontrolisani lozinkama.
sistem softvera može uređivati procesne parametre svakog koraka procesa i ravnači i polira tanki film na površini čipa prema programu.
može pratiti radno stanje opreme, prati procesne parametre u stvarnom vremenu, a softver automatski smešta razne procesne podatke.
opremljen je sistemom hitnog zaustavljanja.
дугме, коришћено за одмах спречавање рада опreme и откључавање kontrolne електире.
Pakovanje i dostava
Profil kompanije
ČPP
1. О цени:
Све наше цене су konkurentne и pregovarivane. Cena varira u zavisnosti od konfiguracije i složenosti prilagođavanja vašeg uređaja.

2. О uzorku:
Možemo da vam pružimo uslugu proizvodnje uzoraka, ali možda ćete morati da platite neke naknade.

3. O plaćanju:
Nakon što se plan potvrdi, morate nam prvo platiti depozit, a zatim će fabrika početi da priprema robe. Nakon što
se oprema pripremi i platite ostatak, mi ćemo je poslati.

4. O dostavi:
Nakon što je izrada opreme završena, pošaljićemo vam video snimak prihvatanja, a možete i da dođete na mestо da proverite opremu.

5. Instalacija i podešavanje:
Nakon što oprema stigne u vaš zavod, možemo poslati inženjere da instaliraju i otkloni greške na opremi. Za ovu uslugu ćemo vam pružiti poseban ponudni iznos.

6. O garanciji:
Naša oprema ima garančni rok od 12 meseci. Nakon garančnog perioda, ukoliko su neki delovi oštećeni i trebaju se zamijeniti, naplaćićemo samo troškove proizvodnje.

Više proizvoda

Upit

Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved

Pravila o privatnosti

Upit Email WhatsApp Top
×

Zakažite sastanak