Model |
MDTS-WT2200 |
Broj osa za ređanje |
2 |
Број радних столова |
3, Indeksna metoda |
Osovina čepiva |
Broj vazdušnih špindela: 2 Motor špindela: promenljivo frekvencijski motor od 7.5kW Brzina: 0~6000obr/min, bezstepeno prilagodljiva Specifikacija točnog kota: Φ203mm Tip točnog kota: dijamantski točni kot |
Sistem za povećanje točnog kota |
Količina: 2 komada Metod upravljanja sistemo za pakanje: LM vodič i loptasta šipka комбинација Motor pogona: servomotor Najmanja brzina pakanja: 0.1um/sec Najveća brzina pakanja: 50mm/sec |
Radna klupa |
Količina: 3, indeksni režim Motor vrtnice: Servomotor Brzina: 0~300okr/min, bezreperno prilagodljiva Metod adsorpcije: Vakuumska adsorpcija |
Radna ploča rotirajućeg stola |
Režim pogona: servomotor Opseg rotacije: 0~240° Oblik pozicioniranja: senzorska asistencija za pozicioniranje |
Automatska debljina Sistem merenja |
Metod merenja: IPG kontakt online stvarno-vremensko merenje Broj mernih glava: 2 Merni senzor: senzor nivoa 0.1um |
Automatsko učitavanje/ sistem isključivanja |
Tip kutije: 6-8inch Cassette, 25 slojeva Metod automatskog učitavanja/isključivanja: koristi se manipulator za veštače da bi se osiguralo da se tanki veštači prevoze bez štete Debljina wafera: 150um-1000um |
Funkcija čišćenja radne površine |
Metod čišćenja: Poliranje olivnim kamenjem & DI voda + vazduh dvostručno pranje |
Automatsko čišćenje/ Sistem sušenja |
Čišćenje: Pranje izljevom za DIW Metod sušenja: Fukavanje + sušenje Brzina: max1000rpm bezstepeno prilagođiva |
Sistem za eliminaciju statičkog elektriciteta |
Ionska traka ili Orion ventilator |
Hlačer špindla |
Temperatura: 18-22°C Protok: 4~8L/min |
Kontrolni sistem |
Sistem kontrole: PC sistem kontrole, dodirni ekran, 3-bojni alarmski signal Kineski/engleski sučelje s čovjekom i mašinom |
Maksimalna veličina plastine |
Maksimalno kompatibilno sa 8 inča |
Opseg brzine |
0~6000 RPM |
Putovanje Z-ose |
160mm |
Brzina pomeranja Z ose |
0.1~100um/sec |
Brzina brze povlačenja Z-ose |
50mm/sec |
Rezolucija Z-ose |
0.1um |
Opseg merenja debljine online |
0~1800um |
Rezolucija merenja debljine u režimu online |
0.1um |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved