Sistem induktivno povezane plazme ( ICP ) Opreme za poluprovodnike , China Sistem induktivno povezane plazme ( ICP ) Opreme za poluprovodnike Manufacturers, Suppliers, Factory

Opis Proizvoda

Sistem za induktivno spojeno plazmeno graviranje (icp)

Inductive Coupling Plasma Etching System ( ICP ) Semiconductor equipment details

Inductive Coupling Plasma Etching System ( ICP ) Semiconductor equipment supplier

Inductive Coupling Plasma Etching System ( ICP ) Semiconductor equipment factory

Rezultat procesa

Krystalno / silicijsko / rešetkasto graviranje

Korišćenjem BR maske za graviranje krystalnih ili silicijskih materijala, uzorak rešetkastog niza ima najtanji red do 300nm i nagib strane uzorka je blizu > 89°, što se može primeniti na 3D prikaz, mikro optičke uređaje, optoelektronsku komunikaciju itd.

Kompozitno / poluprovodničko graviranje

Tačna kontrola temperature površine uzorka može dobro da kontroluje morfologiju etiranja materijala baziranog na GaN, GaAs, InP i metalima. Primenljivo je za plave LED uređaje, laserove, optičku komunikaciju i druge primene.

Inductive Coupling Plasma Etching System ( ICP ) Semiconductor equipment manufacture

Raščlanjivanje na bazi kremnijuma

primenljivo je za etiranje materijala baziranog na kremnju, kao što su Si, SiO2 i SiNx. Može da realizuje etiranje kremnijskih linija preko 50nm i duboko etiranje kremnijevih rupa ispod 100µm

Specifikacija

Konfiguracija projekta i dijagram strukture mašine

Stavka	MD150S-ICP	MD200S-ICP	MD150CS-ICP	MD200CS-ICP	MD300C-ICP
Veličina proizvoda	≤6 dužina	≤8 dužina	≤6 dužina	≤8 dužina	Prilagođeno≥12dužine
Izvor snage SRF	0~1000W/2000W/3000W/5000W Podešavanje, automatsko pridruživanje\, 13.56MHz/27MHz
Izvor snage BRF	0~300W/0~500W/0~1000W Podešavanje, automatsko pridruživanje, 2MHz/13.56MHz
Molekularna pumpa	Neporožavajući : 600 /1300 (L/s) /Prilagođeno			Protiv porožavnosti: 600 /1300 (L./s)/Prilagođeno		600/1300(L/s) /Prilagođeno
Foreline pumpa	Mehanička pumpa / suva pumpa			Antikorozivna suva pumpa		Mehanička pumpa / suva pumpa
Pumpa za prethodno čuvanje	Mehanička pumpa / suva pumpa			Mehanička pumpa / suva pumpa
Procesni pritisak	Nekontrolirani pritisak / 0-0.1 / 1 / 10Torr kontrolirani pritisak
Врста гаса	H2/CH4/O2/N2/Ar/SF6/CF4/ CHF3/C4F8/NF3/NH3/C2F6/Po želji (Do 12 kanala, bez korozivnih i toksičnih gasova)			H2/CH4/O2/N2/Ar/SF6/CF4/CHF3/ C4F8/NF3/NH3/C2F6/Cl2/BCl3/HBr/ Po želji (do 12 kanala)
гасни опсег	0~5sccm/50sccm/100sccm/200sccm/300sccm/500sccm/1000sccm/Po želji
LoadLock	Da/Ne			da
Upravljanje uzorkom temperaturom	10°C~SobnaTemp/-30°C~150°C/Prilagođeno			-30°C~200°C/Prilagođeno
Povratno hladenje helijem	Da/Ne			da
Obloženje procesne šuplje	Da/Ne			da
Upravljanje temperaturom zidova šuplje	Ne/Sobna temp-60/120°C			Sobna temp~60/120°C
Kontrolni sistem	Automatski/prilagođeno
Materijal za graviranje	Na bazi sira: Si/SiO2/ SiNx/ SiC..... Organic materijali: PR/Organic film......			Na bazi sira: Si/SiO2/SiNx/SiC III-V: InP/GaAs/GaN...... IV-IV: SiC II-VI: CdTe...... Magnetni materijal / alijansni materijal Metalni materijali: Ni\/Cr\/Al\/Cu\/Au... Organic materijali: PR\/Organic film...... Duboko etiranje silikona

Pakovanje i dostava

Profil kompanije

Imamo 16 godina iskustva u prodaji opreme. Možemo Vam pružiti kompletno rešenje za opremu iz Kitajske za profesionalnu liniju pakovanja poluprovodnika, kako na početku tako i na kraju procesa.

početna strana

O NAMA

MH Equipment

Решење

Korisnici iz inostranstva

Video

KONTAKTIRAJTE NAS

Sistem induktivno povezane plazme ( ICP ) Opreme za poluprovodnike

Krystalno / silicijsko / rešetkasto graviranje

Kompozitno / poluprovodničko graviranje

Raščlanjivanje na bazi kremnijuma

Više proizvoda

Serija MD-FS stroj za vijanje kondenzatora

Serija MD-FDS Automatski stroj za vijanje kondenzatora

Serija MD-EFS stroj za vijanje kondenzatora

Serija MD-EDFS filmni stroj za vijanje kondenzatora

upit

Articles

Products

Get In Touch

Sistem induktivno povezane plazme ( ICP ) Opreme za poluprovodnike

Krystalno / silicijsko / rešetkasto graviranje

Kompozitno / poluprovodničko graviranje

Raščlanjivanje na bazi kremnijuma

Više proizvoda

upit

Articles

Products

Get In Touch

Zakažite sastanak