Интегрисано решење за машину за уклањање микроталасне плазме фоторезиста за микроталасну плазму, Кина Интегрисано решење за машину за уклањање микроталасне плазме фоторезиста за микроталасну плазму, произвођачи, добављачи, фабрика

Опис производа

Машина за уклањање фоторезиста у микроталасној плазми

Плазма интегрисано решење за паковање полупроводника

Интегрисано решење за паковање полупроводника

Машина за уклањање фоторезиста у микроталасној плазми је нисконапонски систем за уклањање фоторезиста у микроталасној плазми посебно дизајниран за полупроводнике. Применом фреквенције од 2.45ГХз микроталасне пећнице на прозор на зиду вакуум коморе, генерише се велика и континуирана количина плазме која улази у комору за процесно чишћење чипа. Погодан за различите величине кутија материјала, може задовољити различите потребе и пружити прилагођена решења.

Интегрисано решење за производњу машина за уклањање микроталасне плазме за паковање полупроводника

Спецификација

ПЛАСМА извор	микроталасни
снага	КСНУМКС-КСНУМКСВ
радни простор	6 асортимана магазина (опсег величина часописа: Л260ммкВ95ммкХ190мм)
капацитет обраде	35ум Питцх/40ум Бумп15к15мм максимална величина матрице
Димензије изгледа	КСНУМКСммкКСНУМКСммкКСНУМКСмм
Контрола система	Индустријски систем управљања
Ниво аутоматизације	Упутство