struktura |
иллустрате |
Izloženi sto |
Površina za izloženje: sto, područje postavljanja substarta |
Optički sistem |
Područje emitovanja laserom |
Sistem kontrolisanja okoline |
Kontrola unutrašnje temperature i pozitivnog tlaka uređaja |
Sistem platforme |
Kontroluje pokretanje stola za ekspoziciju kako bi se izvršila operacija putanje ekspozicije |
Kontrolni sistem |
Kontrolni sistem celog opreme |
Ne. |
Животна средина |
Zahtevati |
1 |
Sredina svetla |
Žuta svetlost |
2 |
Температура |
22℃±2℃ |
3 |
Vlažnost |
50%±10% |
4 |
Чистоћа |
1000 |
5 |
CDA |
0.6±0.1Mpa, 200LPM, suvo, čisto zrak |
6 |
Извор енергије |
220~240V, 50/60Hz, 2.5KW; Zemljica mora biti zakorijena. |
7 |
Voda za hlađenje |
Temperatura：10℃~ 20℃ Pritisak：0.3MPa ~ 0.5MPa Količina protoka：20L/min Razlika u pritisku：0.3MPa или više Dijametar priključka：Rc3/8 |
8 |
Lokacija |
nivo：±3mm/3000mm titranje：VC-B Osovine：750kg/㎡ |
10 |
Интернет |
Jedan mrežni port |
11 |
Veličina mašine |
1300*1100*2100mm |
12 |
Težina uređaja |
1500kg |
Ne. |
Projekat |
Spec. |
Napomena |
1 |
Rezolucija |
0.6um/ili drugi zahtev |
AZ703, AZ1350 |
2 |
CDU |
±10%@1um |
|
3 |
Debljina substarta |
0.2mm～4mm |
|
4 |
Tačnost mreže datuma |
60nm |
|
5 |
Prelaganje |
±500nm |
130mmx130mm |
6 |
Tačnost šiva |
±200nm |
AZ703 |
7 |
Maksimalna veličina ekspozicije |
190X190mm |
|
8 |
Protečnost |
≥300mm2/min |
≤50mj/cm2; |
9 |
извор светлости |
LD 375nm |
|
10 |
светлост |
6W |
|
11 |
Uniformnost energije |
≥95% |
|
12 |
životnost svetlosti |
10000h |
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
