МЦКСЈ-МЛС8 Систем литографије без маске, Кина МЦКСЈ-МЛС8 Систем за литографију без маске Произвођачи, добављачи, фабрика

Опис производа

Пример:

МЦКСЈ-МЛС8 Производња система за литографију без маске

Шема структуре опреме

МЦКСЈ-МЛС8 Добављач система за литографију без маске

Спецификација

Дијаграм структуре домаћина изложености

структура	илустровати
Излагање радне плоче	Подручје изложености: радна површина, површина за постављање подлоге
Оптички систем	Подручје обликовања ласерске емисије
Систем за контролу животне средине	Контролишите унутрашњу температуру и позитивни притисак уређаја
Систем платформе	Контролише кретање табеле експозиције да би се завршила операција путање експозиције
Контролни систем	Систем управљања целокупном опремом

Напомена: Пошто надоградња машине може да промени стварни изглед, специфичан предмет стварног производа.

Не.	животна средина	Захтевати
1	Окружење извора светлости	Жуто светло
2	Температура	22 ± 2 ℃
3	Влажност	50% ± 10%
4	чистоћа	1000
5	ЦДА	0.6±0.1Мпа, 200ЛПМ, сув, чист ваздух
6	Напајање	220~240В、50/60Хз、2.5КВ；Жица за уземљење мора бити уземљена，
7	Хлађење воде	Темп.: 10℃~ 20℃ Притисак: 0.3 МПа ~ 0.5 МПа Брзина протока: 20Л/мин Разлика у притиску: 0.3МПа以上 Преузми калибар: Рц3/8
8	Место одржавања	ниво: ±3 мм/3000 мм трешња: ВЦ-Б лежај: 750 кг/㎡
10	Интернет	Један мрежни порт
11	величина машине	КСНУМКС * КСНУМКС * КСНУМКСмм
12	Тежина уређаја	КСНУМКСкг

Не.	пројекат	Спец.	примедба
1	Резолуција	0.6ум/или други захтев	АЗ703、АЗ1350
2	компакт диск унит	±10%@1ум
3	Дебљина подлоге	0.2мм～4мм
4	Тачност мреже датума	КСНУМКСнм
5	Оковати	± 500нм	КСНУМКСммкКСНУМКСмм
6	Тачност шивања	± 200нм	АЗКСНУМКС
7	МАКС величина експозиције	КСНУМКСКСКСНУМКСмм
8	Пропусност	≥300мм2/мин	≤50мј/цм2；
9	извор светлости	ЛД 375нм
10	снага светлости	6W
11	Енергетска униформност	≥ КСНУМКС%
12	светли живот	КСНУМКСхр

Паковање и достава

профил компаније

Имамо 16 година искуства у продаји опреме. Можемо вам пружити професионалну опрему за полупроводничке предње и задње линије пакета на једном месту из Кине.