Dom za vakuum plazmu (200) |
||
Dimenzije opreme |
1050×1700×1050mm (širina, visina i dubina) |
|
Težina |
800kg |
|
zahtevana snaga |
AC380V,50/60Hz,5žica, 30A |
|
Specifikacije plazmog generatora |
||
mrežna snaga |
radio frekvencija |
Ако |
0~1000W |
0-2000W |
|
Честота снаге |
13.56Mhz |
40 KHz |
Вакуумски систем |
||
Vakum pumpa |
Feiyue unipolar pump VSV100+Oba Roots pompa BSJ70 |
|
vakuum linija |
Sve nerđanske cijevi i visokojačne vakuumski šepovi |
|
Материјал |
Aluminijumska legura |
|
Debljina |
25mm |
|
čvrstost |
Vojni stepen zavarivanjem zaključan |
|
Dimenzije unutar prostora |
600×600×600mm(Š×V×D) |
|
Efektivna veličina elektrodne ploče |
472 X 451mm (Š×D) |
|
dostupan prostor |
35mm |
|
Raspored elektrodne ploče |
Vodoravna elektrodna ploča |
|
radna ploča |
Jedan set je standardan, a materijal je opcioni (aluminijum, ocel mreža) |
|
Radno prostorije |
8 spratova |
|
Procesni plin |
||
Opseg protoka |
0~300SCCM |
|
Kruga procesnog plina |
S opremom za O2, Ar, N2 troputni plin |
|
Kontrolni sistem |
||
Upravljanje sistemom |
Kontrola računara |
|
interaktivni režim |
Sučelje Windows |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved