Dom za vakuumski plazmu (200) |
||||
Dimenzije opreme |
1050×1700×1050mm (širina, visina i dubina) |
|||
težina |
800kg |
|||
zahtevana snaga |
AC380V,50/60Hz,5žica, 30A |
|||
Specifikacije plazmog generatora |
||||
mrežna snaga |
radio frekvencija |
Ако |
||
0~1000W |
0-2000W |
|||
Честота снаге |
13.56Mhz |
40 KHz |
||
Вакуумски систем |
||||
vakum pumpa |
Feiyue unipolar pump VSV100+Oba Roots pompa BSJ70 |
|||
vakuum linija |
Sve nerđanske cijevi i visokojačne vakuumski šepovi |
|||
материјал |
Aluminijumska legura |
|||
debljina |
25mm |
|||
čvrstost |
Vojni stepen zavarivanjem zaključan |
|||
Dimenzije unutar prostora |
600×600×600mm(Š×V×D) |
|||
Efektivna veličina elektrodne ploče |
472 X 451mm (Š×D) |
|||
dostupan prostor |
35mm |
|||
Raspored elektrodne ploče |
Vodoravna elektrodna ploča |
|||
radna ploča |
Jedan set je standardan, a materijal je opcioni (aluminijum, ocel mreža) |
|||
Radno prostorije |
8 spratova |
|||
Procesni plin |
||||
Opseg protoka |
0~300SCCM |
|||
Kruga procesnog plina |
S opremom za O2, Ar, N2 troputni plin |
|||
Kontrolni sistem |
||||
upravljanje sistemom |
Kontrola računara |
|||
interaktivni režim |
Sučelje Windows |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved