1. Режим рада: Робот за пуњење аутоматски учитава облатне из АБ (рециклабилне) кутије за вафле на претходно позиционирање
радни сто, а кроз подешавање вафера за позиционирање камере и система аутоматског ротирања, постиже се предпозиционирање плочице; Робот за пуњење затим учитава унапред постављене плочице на радни сто за поравнање. Путем компјутерског препознавања слике и аутоматског подешавања система поравнања, може се постићи аутоматско поравнавање графике на маски и плочицама. Такође је могуће завршити једну експозицију без поравнања графике. Након аутоматског излагања од стране система за прекомерно излагање, робот за истовар аутоматски ставља облатне у ЦД (рециклабилну) кутију за вафле.
2. Област експозиције: 160 × 160 мм;
3. Неуједначена осветљеност експозиције: ≤ 3%;
4. Интензитет експозиције: 0~≥ 40мв/цм2 подесив (угао снопа 2°);
5. Угао УВ зрака: ≤ 3 °;
6. Централна таласна дужина ултраљубичастог светла: 365нм;
7. Животни век извора УВ светлости: ≥ 20000 сати;
8. Капацитет одвајања: 0~≥ 1000ум подесив;
9. Тачност поравнања: ≤ ± 1.5 μ М;
10. Тачност експозиције: Контактна експозиција ± 1 μ м. Угао снопа од 20 μМ близу експозиције 2 ° ≤ ± 2 μ М
11. Методе излагања: тврд контакт, меки контакт и излагање у близини;
12. Режим експозиције: Можете бирати између једнократне експозиције или оффсет експозиције
13. Препознавање слике пре позиционирања и систем аутоматског ротирања (укључујући радни сто за претходно позиционирање): угао ротације К ≥ ± 180 °, тачност ротације К ≤ 0.01 °;
14. Систем за препознавање слике и аутоматско поравнавање (укључујући УВВ радни сто за поравнање): опсег поравнања КСИ ≥ ± 5 мм, угао ротације К ≥ ± 3 °, а два сочива микроскопа контролишу две КСИЗ електричне платформе.
15. Величина маске: 5 " × 5 " и 7 " × 7 ";
16. Величина облатне: 4 "и 6";
17. Радне станице за горње и доње филмске кутије: двоструке радне станице;
18. Ваздушни јастук за ноге
19. Роботска рука са двоструком руком за утовар и истовар: З ≥ 350мм, Р135мм;
20. Број наполитанки у кутији за вафле: утврђује се на основу броја обланда у кутији за вафле купца;
21. Подизање стола за позиционирање: З ≥ ± 25 мм;
22. Време експозиције: подесиво од 0 до 999.9 секунди;
23. Ритам производње:>120 комада на сат;
24. Напајање: једнофазни АЦ220В 50Хз, потрошња енергије ≤ 3КВ;
25. Притисак чистог ваздуха: ≥ 0.4 МПа;
26. Степен вакуума: -0.07МПа~-0.09МПа;
27. Величина: 1400 * 1000 * 2100 мм;
28. Тежина: Приближно 400 кг