МДИЦП-5000Ф Потпуно аутоматска ИЦП машина за гравирање / полупроводничка опрема Индуктивно спрегнута плазма, Кина МДИЦП-5000Ф Потпуно аутоматска ИЦП машина за јеткање / полупроводничка опрема Произвођачи, добављачи, фабрика са индуктивно спрегнутом плазмом

Опис производа

МДИЦП-5000Ф Потпуно аутоматска ИЦП машина за гравирање

Резиме

Опрема је двокоморни вакуум систем. Једна комора је комора за узорковање убризгавањем, а друга је комора за гравирање. Између ињекционе коморе за узорковање и коморе за нагризање је уграђена вакуум брава, а узорковање ињектирањем се транспортује манипулатором.
Опрема се углавном састоји од вакуумског система, система гасног кола, електричног система, управљачког система, система за хлађење, механизма за довод и узимање филма, алармног система итд.

Вакуум систем

Систем се састоји од молекуларне пумпе са брзином пумпања од 600 Л/С + увезене вакуум суве пумпе са брзином пумпања од Л/с за пумпање коморе за нагризање до високог вакуума. Између молекуларне пумпе и коморе за нагризање уграђен је електрични динамички вентил за регулацију притиска. Увезена сува пумпа је пумпа за претходно пумпање коморе за нагризање и пумпа предњег степена молекуларне пумпе. Користите другу механичку пумпу са брзином пумпања од Л/с за вакуумирање коморе за узорке. За везу између механичке пумпе и вакуум коморе и молекуларне пумпе користе се мехови од нерђајућег челика, а уграђен је електромагнетни пнеуматски блок вентил.

Систем контроле константног притиска

Опрема је опремљена низводним системом контроле константног притиска, а електрични подесиви вентил је уграђен у цевовод за извлачење ваздуха. Кроз мерење мерача филма (увезени делови), подесиви вентил се контролише како би вакуумска комора достигла константан притисак, како би се побољшала стабилност процеса.

Систем контроле константног притиска

Систем гасног кола

Два сета РФ напајања са аутоматским усклађивањем.

Алармни систем

Безбедносни захтеви за опрему.

Спецификација

Ime	Спц	Марка	бр./сет	белешке
Комора за нагризање, цевовод за екстракцију ваздуха, прозор за посматрање, резервисани интерфејс итд	стандард	ЈСВН	1	Антикорозивна
Оквир, електрични орман, заптивке, стандардни делови итд	стандард	ЈСВН	1
Систем за подизање поклопца коморе за нагризање	стандард	ЈСВН	1	Антикорозивна
Електрода за нагризање и систем за хлађење	стандард	ЈСВН	1	Антикорозивна
Молекуларна пумпа (брзина пумпања 600 Л/с)	ФФ620/150	КИКИ	1	Антикорозивна
Улазна сува пумпа (брзина пумпања 9 Л/с)	КСДС-35И	ЕДВАРДС	1	Антикорозивна
Механичка пумпа (брзина пумпања 9 Л/с)	ТРП-36	БВВАЦ	1
Електрични регулациони засун	ДЦК-150	ЈСВН	1	Антикорозивна
Зауставни вентил са пнеуматским мехом	КФКСНУМКС	ЈСВН	3	Антикорозивна
Мерач филма	КФКСНУМКС	ИНФИЦОН	1	Антикорозивна
Регулатор масеног протока	ДКСНУМКС	Севенстар	4	Антикорозивна
Пнеуматски мембрански вентил	1/4″ВЦР	-	4	Антикорозивна
Цев од нерђајућег челика, спој цеви итд	1/4″ВЦР	-	4	Антикорозивна
РФ напајање/аутоматски упаривач	-	Кина (опционо ЦРОВН1310)	1
РФ напајање/аутоматски упаривач	-	Кина (опционо ЦРОВН1310)	1
Композитни вакуум мерач	ЗДФ	RB	1
ИПЦ	2U	Кина	1
ЛЦД екран осетљив на додир	КСНУМКСинцх	Кина	1
ПЛЦ систем управљања	СКСНУМКС-КСНУМКС	Сиеменс	1
Систем управљања електричним погоном	стандард	ЈСВН	1
Детекција расхладне воде и систем цевовода	стандард	ЈСВН	1
Детекција компримованог ваздуха и систем цевовода	стандард	ЈСВН	1
Машина за хлађење циркулационе воде	HX	Кина	1
Комора за ињектирање	стандард	ЈСВН	1
Вакумска брава	СМЦ	СМЦ	1
Систем управљања манипулатором	СМЦ	СМЦ	1

Технички параметар поште

1. Гранични вакуум: комора за нагризање 9.0×10-5Па (унутрашња влажност≤55%)
Ињекциона комора за узорковање 6.0×10-1Па
2. Материјал за гравирање: Ⅲ、ⅤМатеријал、Си, СиО2, итд.
3. Брзина нагризања: ~ 1μ/мин
4. Уједначеност гравирања: ≤±5% (опсег φ125мм)
6. Величина електроде: φ200мм

Паковање и достава

Да бисте боље осигурали сигурност ваше робе, пружиће се професионалне, еколошке, погодне и ефикасне услуге паковања.

профил компаније

Имамо 16 година искуства у продаји опреме. Можемо вам пружити професионалну опрему за полупроводничке предње и задње линије пакета на једном месту из Кине.