|
projekat
|
specifikacije
|
примедбе
|
||
|
1 |
Преглед опреме |
Назив опреме: Потпуно аутоматска машина за развијање униформног лепка
|
||
|
Модел опреме: МД-2Ц2Д6
|
||||
|
Спецификације вафера за обраду: компатибилан са стандардним плочицама од 4/6 инча
|
||||
|
Ток процеса уједначеног лепка: резање корпе за цвеће → центрирање → уједначени лепак (капање → једнолични лепак → уклањање ивица, назад
прање) → решо → хладни тањир → постављање корпе Ток процеса развоја: сечење цветне корпе → центрирање → развој (развојни раствор → дејонизована вода, задње прање → сушење азотом) → грејна плоча → хладна плоча → постављање корпе |
||||
|
Укупна величина (приближно): 2100 мм (Ш) * 1800 мм (Д) * 2100 мм (В)
|
||||
|
Величина хемијског ормара (приближно): 1700 (Ш) * 800 (Д) * 1600 мм (В)
|
||||
|
Укупна тежина (приближно): 1000 кг
|
||||
|
Висина радног стола: 1020 ± 50 мм
|
||||
|
2 |
Касета јединица
|
Количина: КСНУМКС
|
||
|
Компатибилна величина: 4/6 инча
|
||||
|
Детекција касете: детекција микропрекидача
|
||||
|
Детекција извлачења: Да, рефлективни сензор
|
||||
|
3 |
робот |
Количина: КСНУМКС
|
||
|
Тип: Двоструки робот за вакуумску адсорпцију
|
||||
|
Степен слободе: 4-осе (Р1, Р2, З, Т)
|
||||
|
Материјал прстију: керамика
|
||||
|
Метода фиксације супстрата: метода вакуум адсорпције
|
||||
|
Функција мапирања: Да
|
||||
|
Тачност позиционирања: ± 0.1 мм
|
||||
|
4 |
Јединица за центрирање
|
Количина: КСНУМКС сет
|
Опционо оптичко поравнање
|
|
|
Начин поравнања: механичко поравнање
|
||||
|
Прецизност центрирања: ± 0.2 мм
|
||||
|
5 |
Униформна јединица лепка |
Количина: 2 комплета (у наставку су конфигурације за сваку јединицу)
|
||
|
Брзина ротације вретена: -5000рпм~5000рпм
|
носећи беспосличар
|
|||
|
Прецизност ротације вретена: ± 1рпм (50рпм~5000рпм)
|
||||
|
Минимално подешавање брзине ротације вретена: 1рпм
|
||||
|
Максимално убрзање ротације вретена: 20000рпм/с
|
носећи беспосличар
|
|||
|
Рука за капање: 1 сет
|
||||
|
Пут фотоотпорне цеви: 2 пута
|
||||
|
Пречник фотоотпорне млазнице: 2.5 мм
|
||||
|
Фотоотпорна изолација: 23 ± 0.5 ℃
|
опционо
|
|||
|
Хидратантна млазница: Да
|
||||
|
РРЦ: Да
|
||||
|
Пуфер: Да, 200 мл
|
||||
|
Метода испуштања лепка: спуштање у средини и скенирање су опциони
|
||||
|
Рука за уклањање ивица: 1 сет
|
||||
|
Пречник млазнице за уклањање ивица: 0.2 мм
|
||||
|
Праћење протока течности за уклањање ивица: мерач протока са пловком
|
||||
|
Опсег протока течности за уклањање ивица: 5-50мл/мин
|
||||
|
Цјевовод повратног испирања: 2 начина (4/6 инча сваки са 1 каналом)
|
||||
|
Надгледање протока повратног прања: мерач протока са пловком
|
||||
|
Опсег протока течности за повратно испирање: 20-200мл/мин
|
||||
|
Метода фиксације чипа: вакуумска адсорпциона глава мале површине
|
||||
|
Аларм вакуумског притиска: дигитални сензор вакуумског притиска
|
||||
|
Материјал стезне главе: ППС
|
||||
|
Материјал чаше: ПП
|
||||
|
Праћење издувних гасова чаше: дигитални сензор притиска
|
||||
|
6 |
Јединица за развој |
Затварач: да
|
||
|
Количина: 2 комплета (у наставку су конфигурације за сваку јединицу)
|
||||
|
Брзина ротације вретена: -5000рпм~5000рпм
|
носећи беспосличар
|
|||
|
Прецизност ротације вретена: ± 1рпм (50рпм~5000рпм)
|
||||
|
Минимално подешавање брзине ротације вретена: 1рпм
|
||||
|
Максимално убрзање ротације вретена: 20000рпм/с
|
носећи беспосличар
|
|||
|
Рука за развој: 1 сет
|
||||
|
Развојни цевовод: 2-смерни (млазница у облику лепезе/стубовита)
|
||||
|
Филтрација развијача: 0.2ум
|
||||
|
Контрола температуре развијача: 23 ± 0.5 ℃
|
опционо
|
|||
|
Распон протока раствора за развијање: 100~1000мл/мин
|
||||
|
Режим кретања руке за развијање: фиксна тачка или скенирање
|
||||
|
Фусинг арм: 1 сет
|
||||
|
Цјевовод дејонизоване воде: 1 круг
|
||||
|
Пречник млазнице за дејонизовану воду: 4 мм (унутрашњи пречник)
|
||||
|
Опсег протока дејонизоване воде: 100~1000мл/мин
|
||||
|
Цјевовод за сушење азота: 1 круг
|
||||
|
Пречник млазнице за азот: 4 мм (унутрашњи пречник)
|
||||
|
Опсег протока азота: 5-50Л/мин
|
||||
|
Развијач, дејонизована вода, праћење протока азота: мерач протока са пловком
|
||||
|
Цјевовод повратног испирања: 2 начина (4/6 инча сваки са 1 каналом)
|
||||
|
Надгледање протока повратног прања: мерач протока са пловком
|
||||
|
Опсег протока течности за повратно испирање: 20-200мл/мин
|
||||
|
Метода фиксације чипа: вакуумска адсорпциона глава мале површине
|
||||
|
Аларм вакуумског притиска: дигитални сензор вакуумског притиска
|
||||
|
Материјал стезне главе: ППС
|
||||
|
Материјал стезне главе: ППС
|
||||
|
Материјал чаше: ПП
|
||||
|
Праћење издувних гасова чаше: дигитални сензор притиска
|
||||
|
7 |
Јединица за причвршћивање |
Количина: КСНУМКС
|
опционо
|
|
|
Температурни опсег: собна температура ~ 180 ℃
|
||||
|
Уједначеност температуре: Собна температура ~ 120 ℃ ± 0.75 ℃
120.1 ℃ ~ 180 ℃ ± 1.5 ℃ (Уклоните 10 мм од ивице, осим отвора игле за избацивање) |
||||
|
Минимална количина подешавања: 0.1 ° Ц
|
||||
|
Метода контроле температуре: ПИД подешавање
|
||||
|
Опсег висине ПИН-а: 0-20 мм
|
||||
|
ПИН материјал: тело СУС304, ПИН пин поклопац ПИ
|
||||
|
Размак за печење: 0.2 мм
|
||||
|
Аларм за превисоку температуру: аларм за позитивно и негативно одступање
|
||||
|
Начин снабдевања: Мехурићи, 10 ± 2мл/мин
|
||||
|
Вакуум рада коморе: -5-20КПа
|
||||
|
8 |
Јединица за грејање |
Количина: КСНУМКС
|
||
|
Температурни опсег: собна температура ~ 250 ℃
|
||||
|
Уједначеност температуре: Собна температура ~ 120 ℃ ± 0.75 ℃
120.1 ℃ ~ 180 ℃ ± 1.5 ℃ 180.1 ℃ ~ 250 ℃ ± 2.0 ℃ (Уклоните 10 мм од ивице, осим отвора игле за избацивање) |
||||
|
Минимална количина подешавања: 0.1 ℃
|
||||
|
Метода контроле температуре: ПИД подешавање
|
||||
|
Опсег висине ПИН-а: 0-20 мм
|
||||
|
ПИН материјал: тело СУС304, ПИН пин поклопац ПИ
|
||||
|
Размак за печење: 0.2 мм
|
||||
|
Аларм за превисоку температуру: аларм за позитивно и негативно одступање
|
||||
|
9 |
Јединица за хладне плоче
|
Количина: КСНУМКС
|
||
|
Температурни опсег: 15-25 ℃
|
||||
|
Начин хлађења: хлађење циркулационе пумпе константне температуре
|
||||
|
10 |
Цхемицал Суппли |
Складиштење фоторезиста: пнеуматска пумпа за лепак * 4 сета (опциони резервоар или електрична пумпа за лепак)
|
||
|
Запремина наношења лепка: максимално 12 мл по сесији, тачност ± 0.2 мл
|
||||
|
Уклањање ивица/прање леђа/РРЦ снабдевање: резервоар под притиском од 18Л * 2 (аутоматско допуњавање)
|
||||
|
Уклањање ивица/прање леђа/прање нивоа течности РРЦ: фотоелектрични сензор
|
||||
|
Праћење нивоа течности фоторезиста: фотоелектрични сензор
|
||||
|
Испуштање уједначене отпадне течности лепка: резервоар за отпадну течност од 10Л
|
||||
|
Набавка програмера: резервоар под притиском од 18Л * 4 (Складиштено у хемијском орману изван машине)
|
||||
|
Дејонизовано снабдевање водом: фабричко директно снабдевање
|
||||
|
Развијање праћења нивоа течности: фотоелектрични сензор
|
||||
|
Отпуштање развојног отпада: испуштање фабричког отпада
|
||||
|
Испорука средства за повећање лепљивости: резервоар под притиском од 10Л * 1, резервоар под притиском од 2Л * 1
|
||||
|
Праћење нивоа љепљивости: фотоелектрични сензор
|
||||
|
11 |
контролни систем |
Начин управљања: ПЛЦ
|
||
|
Интерфејс за рад људске машине: екран осетљив на додир од 17 инча
|
||||
|
Непрекидно напајање (УПС): Да
|
||||
|
Подесите дозволе за шифровање за оператере уређаја, техничаре, администраторе
|
||||
|
Тип сигналног торња: црвена, жута, зелена 3 боје
|
||||
|
12 |
Индикатори поузданости система
|
Време рада: ≥95%
|
||
|
МТБФ: ≥ 500х
|
||||
|
МТТР: ≤ 4х
|
||||
|
МТБА: ≥24х
|
||||
|
Стопа фрагментације: ≤ 1/10000
|
||||
|
13 |
Остале функције
|
Жуто светло: 4 сета (положај: изнад јединице за мешање и развој лепка)
|
||
|
ТХЦ: Да, 22.5 ℃ ± 0.5 ℃, 45% ± 2%
|
опционо
|
|||
|
ФФУ: Класа 100, 5 комплета (процесна јединица и РОБОТ зона)
|
||||
Гуангзхоу Миндер-Хигхтецх Цо., Лтд.
Ауторско право © Гуангзхоу Миндер-Хигхтецх Цо., Лтд. Сва права задржана
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
НЕ
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
