МДПС-560 пириформни двокоморни систем за распршивање / опрема за полупроводничку индустрију, Кина МДПС-560 пириформни двокоморни систем за распршивање / опрема за индустрију полупроводника Произвођачи, добављачи, фабрика

Опис производа

МДПС-560 Пириформ двокоморни систем за распршивање

Користи се за припрему једнослојних/вишеслојних функционалних нанофилмова укључујући различите тврде, металне, полупроводничке и диелектричне филмове за универзитете и научне институције.

Вакумска комора за распршивање, мета за распршивање магнетрона, окретна плоча за грејање подлоге за хлађење водом, комора за убризгавање узорка, комора за узорковање, апарат за жарење, мета за повратно испирање, механизам за слање магнетног узорка, гасно коло, систем за пумпање, систем за мерење вакуума, електрични систем управљања и монтажна база.

Спецификација

тип			МДПС-560 ИИ
Главна комора за распршивање			пириформна вакуумска комора, величина: Φ560×350мм
Комора за убризгавање узорка			цилиндрични и хоризонтални тип, величина: Φ250мм×420мм
Систем за пумпање			независна сложена молекуларна пумпа и механичка пумпа за главну комору за распршивање и комору за убризгавање узорка.
Крајњи вакуум	Главна комора за распршивање	≤6.67×10-6Па (након печења и дегазације)
Крајњи вакуум		Комора за убризгавање узорка	≤6.67×10-4Па (након печења и дегазације)
Вратите време вакуума	Главна комора за распршивање	6.6×10-4Па након 40 мин. (пумпање након краткотрајног излагања ваздуху и испуњеног сувим азотом)
Вратите време вакуума		Комора за убризгавање узорка	6.6×10-3Па након 40 мин. (пумпање након краткотрајног излагања ваздуху и испуњеног сувим азотом)
Магнетрон Таргет Модуле			5 мета са трајним магнетом; величинаΦ60мм (једна од мета може да распршује феромагнетни материјал).Све мете могу да распршују РФ и ДЦ распршивање компатибилно; а растојање између мете и узорка подесиво од 40 мм до 80 мм.
Табела обртаја загревања подлоге за хлађење воде	Структура супстрата	Шест станица, пећи за грејање постављене на једној станици, а остале су подстанице за хлађење воде.
		veličina	Φ30мм, шест слика.
		Начин кретања	0-360°, реципрочно.
		грејање	Макс. Температура 600℃±1℃
		Супстрат Негативе Биас	-КСНУМКСВ
Систем гасног кола			Двосмерни контролер масеног протока (МФЦ)
Комора за убризгавање узорка	Сампле Цхамбер	Шест једноставних једном
		Аннеалер	Макс. температура грејања 800℃±1℃
		Репуттеринг Таргет Модуле	Репуттеринг цлеанинг
Магнет Сампле Сенд Систем			Користи се за транспорт узорака између коморе за распршивање и коморе за убризгавање узорка.
Рачунарски контролни систем			Ротација узорка, отварање и затварање преграде и контрола позиције циља
Флоор Оццупиед	Маин Сет	2600 × 900 мм2
Флоор Оццупиед		električna Кабинет	700×700 мм2 (два сета)

Паковање и достава

МДПС-560 Пириформ двокоморни систем за распршивање / фабрика опреме за полупроводничку индустрију

профил компаније

Имамо 16 година искуства у продаји опреме. Можемо вам пружити професионалну опрему за полупроводничке предње и задње линије пакета на једном месту из Кине.