1. Tip ekspozicije: jednostrana.
2. Područje ekspozicije: 110×110mm.
3. Neuniformnost ekspozicionog osvetljenja: ≤±3%.
4. Intenzitet ekspozicije: 0-30mw/cm2 prilagodljiv.
5. Ugao UV zraka: ≤3°.
6. Centralna talasna dužina ultravijolete: 365nm.
7. Životni vek izvora ultravijolete: ≥500 sati.
8. Korišćenje elektronskog šutera.
9. Rezolucija ekspozicije: 1 μm;
10. Opseg mikroskopskog skeniranja: X: ±15mm Y: ±15mm;
11. Opseg poravnanja: prilagodba X,Y ±4mm; prilagodba u Q-smjeru ±3°;
12. Tačnost gravinga: 1 μm. Tačnost korisničke "verzije" i "čipa" mora da odgovara nacionalnim propisima,
a okruženje, temperatura, vlaga i prašina mogu biti strogo kontrolisani. Koristi se ulazno pozitivna fotoresistencija, a debljina jednolikog fotoresistenta može b iti strogo kontrolisana. Pored toga, prethodni i sledeći procesi su napredni;
13. Količina odvajanja: prilagodljivo između 0~50 μm;
14. Način osvetljenja: bliski način osvetljenja, koji omogućava tvrdi kontakt, meki kontakt i mikrokontakt osvetljenja; 15. Metoda traženja kvadrata: vazduh