MDXN-25D4 High Precision Mask Aligner , China MDXN-25D4 High Precision Mask Aligner Manufacturers, Suppliers, Factory

Opis Proizvoda

Ova oprema se glavnо koristi za razvoj i proizvodnju malih i srednjih integrisanih krugova, poluprovodničkih komponenti i površinskih akustičnih valova. Zbog naprednog ravnanja mehanizma i niske snage ravnanja, ova mašina nije samo odgovarajuća za izlaganje različitim vrstama podloga, već i za izlaganje lako šutljivim podlogama kao što su kalij arsenid i fosfat čelika, kao i za izlaganje nekružnim i malim podlogama.

MDXN-25D4 High Precision Mask Aligner manufacture

Specifikacija

Главни технички параметри

1. Tip ekspozicije: jednostrana ekspozicija
2. Područje ekspozicije: 110X110mm;
3. Uniformnost ekspozicije: ≥ 97%;
4. Intenzitet ekspozicije: 0-30mw/cm2 prilagodljiv;
5. Ugao UV zraka: ≤ 3 °
6. Centralna talasna dužina ultravijolete: 365nm;
7. Životni vek izvora UV svetlosti: ≥ 20000 sati; (garancija 2 godine)
8. Korišćenje elektronskog zatvarača;
9. Rezolucija ekspozicije: 1 μ M
10. Opseg kamere: ± 15mm Y: ± 15mm
11. Opseg poravnanja: x: ± 4mm Y: ± 4mm Q: ±3°.
12. Tačnost poravnanja: 1um (pod uslovima dobre okoline).
13. Opseg razdvajanja: 0-50um prilagodljiv.
14. Metoda ekspozicije: kontakt ekspozicija. (tvrd/mekak/mikro dodir)
15. Metoda ravnoteže: Zraka plutanje.
16. Mikroskopski sistem: dualno polje prikaza CCD sistema, objektivni leć 1.6X~10X, računarski sistem obrade slika, 19 "LCD monitor; Ukupna uvećanja 91-570x. rastojanje objektiva: 50-120mm.
17. Veličina maske: 127*127mm; 102*102mm
18. Veličina substarta: Φ102mm; Φ76mm
19. Debljina substarta: ≤1mm
20. Ekspoziciono vreme: 0-999.9 sekundi prilagodljivo.
21.Snaga: 220V 50Hz 1.5kw.
22.izvor zraka? 0.4Mpa
23.Stepen vakuum-a: -0.07MPa~-0.09Mpa

Pakovanje i dostava

MDXN-25D4 High Precision Mask Aligner details

MDXN-25D4 High Precision Mask Aligner factory

Profil kompanije

Imamo 16 godina iskustva u prodaji opreme. Možemo Vam pružiti kompletno rešenje za opremu iz Kitajske za profesionalnu liniju pakovanja poluprovodnika, kako na početku tako i na kraju procesa.