1. Uređaj može vakuumskim adsorbiranjem držati masku dimenzija 5"x5", bez posebnih zahteva za debljinom ploče (koja se razlikuje od 1 do 3mm).
2. Uređaj se može primeniti na kružni substart dimetra ф 100mm;
3. Debljina substarta ≤ 5mm;
4. Osvetljenje:
Izvor svetlosti: Koristi se GCQ350Z ultra-visokotlanička merkurijeva diraktna merkurijeva lampica.
Oblast osvetljenja: ≤ ф 117mm Područje ekspozicije: ф 100mm
unutar opsega ф 100mm, nepravilnosti ekspozicije su ≤ ± 3%, a intenzitet ekspozicije je >6mw/cm² (ovaj parametar je izmeren koristeći UV izvor svetlosti I-liniju 365nm).
5. Ovaj uređaj koristi uvezeni vremenski relaj za kontrolu pneumatickog zaslonka, osiguravajući preciznu i pouzdanu radnju.
6. Ova mašina je mašina za kontaktne ekspozicije koja može postići:
7. Tvrd kontakt ekspozicija: Koristi se cijevni vakuumski sistem za stjecanje visokog vakuum kontakta, vakuum ≤ -0.05MPa
8. Meek odnos izlaganja: Pritisak kontakta može podići vakuum na između -0,02MPa i -0,05MPa.
9. Mikro odnos izlaganja: manje od mekog kontakta, vakuum ≥ -0,02MPa.
10. Rezolucija izlaganja: Rezolucija tvrdeg kontaktnog izlaganja ovog uređaja može dostići 1 μm (prečnost korisničkog "ploča" i "čipa" mora da bude u skladu sa nacionalnim propisima, a okruženje, temperatura, vlažnost i prašina mogu biti strogo kontrolisani. Koristi se uvezen pozitivan fotoresist, a debljina jednolikog fotoresista može biti strogo kontrolisana. Takođe, napredne su prethodne i poslednje procese).
11. Poravnavanje: Promatranje sistema sastoji se od dva CCD kamerena montirana na dva jednotrakih mikroskopa i povezana sa prikaznim ekranom putem video kabel-a.
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
