1. Уређај може да усисава адсорбује квадратну маску од 5 "Кс5", без посебних захтева за дебљину плоче (у распону од 1 до 3 мм).
2. Уређај се може применити на ф 100мм кружну подлогу;
3. Дебљина подлоге ≤ 5мм;
КСНУМКС. Осветљење:
Извор светлости: Коришћена је живина лампа ГЦК350З ултра високог притиска једносмерне струје.
Опсег осветљења: ≤ ф 117мм Област експозиције: ф 100мм
остати ф У опсегу од 100мм, неравномерност експозиције је ≤ ± 3%, а интензитет експозиције је>6мв/цм2 (овај индикатор се мери коришћењем извора УВ светлости И-лине 365нм).
5. Овај уређај усваја увезени временски релеј за контролу пнеуматског затварача, осигуравајући тачан и поуздан рад.
6. Ова машина је машина за излагање контакту која може постићи:
7. Изложеност тврдом контакту: Користите вакуум цевовода да бисте добили контакт високог вакуума, вакуум ≤ -0.05МПа
8. Излагање меком контакту: Контактни притисак може подићи вакуум на између -0.02МПа и -0.05МПа.
9. Изложеност микро контакту: мање од меког контакта, вакуум ≥ -0.02МПа.
10. Резолуција експозиције: Резолуција изложености тврдом контакту овог уређаја може да достигне 1 μ изнад м (тачност корисникове „плоче“ и „чипа“ мора да буде у складу са националним прописима, а околина, температура, влажност и прашина могу треба строго контролисати увезени позитивни фоторезист, а дебљина униформног фоторезиста се може строго контролисати.
11. Поравнање: Систем за посматрање се састоји од две ЦЦД камере постављене на два једноцевна микроскопа и повезане са екраном преко видео кабла.