1.Потребна енергија за опрему: Напајање главног рачунала: 220В, 50ХЗ, потрошња енергије≤1.5КВ;
2.Опремљен вакуум пумпом са напајањем од 220В;
3. Величина и тежина: Величина: 1200 (дужина) × 720 (ширина) × 1500 (висока). Тежина ≤170кг;
4. Поставите тело машине на наменски радни сто;
5.Тип експозиције: контактни тип, поравнање плоче, двострано излагање;
6.Област експозиције:φ100мм;
7. Неуједначена изложеност: ≤±3%;
8. Интензитет експозиције: ≥5мв/цм2;
9. Резолуција експозиције: 2μм;
10. Режим експозиције: Двострана истовремена експозиција;
11. Опсег поравнања: Кс: ±5мм И:±5мм;
12. Прецизност гравирања: 2μм;
13. Опсег ротације: подешавање ротације К-смера≤±5°;
14. Микроскопски систем: ЦЦД систем са двоструким видним пољем, објектив објектива 1.6Кс~10Кс, компјутерски систем за обраду слике, 19" ЛЦД монитор;
15. Величина маске: Способна за вакуумску адсорпцију