1.Energija potrebna za opremu: Glavni izvor struje: 220V, 50HZ, potrošnja snage ≤1.5KW;
2.Opremljeno vakuum pumpom sa napajanjem od 220V;
3.Dimenzije i težina: Dimenzije: 1200 (dužina) × 720 (širina) × 1500 (visina). Težina ≤170kg;
4.Postaviti telo mašine na posvećenu radnu stolu;
5.Tip ekspozicije: kontakt tip, poravnavanje ploče, dvostrana ekspozicija;
6.Područje ekspozicije: φ100mm;
7.Neravnomernost ekspozicije: ≤±3%;
8.Intenzitet ekspozicije: ≥5mw/cm2;
9. Rezolucija ekspozicije: 2μm;
10. Režim ekspozicije: Dvostrana istovremena ekspozicija;
11. Opseg poravnanja: X: ±5mm Y:±5mm;
12. Tačnost gravinga: 2μm;
13. Opseg rotacije: Rotacija u Q-smjeru ≤±5°;
14. Mikroskopski sistem: Dualno polje vidljivosti CCD sistema, objektivni leć 1.6X~10X, računarski sistem obrade slika, 19"LCD monitor;
15. Veličina maska: Sposoban za vakuum adsorpciju