Ova oprema se glavnо koristi za razvoj i proizvodnju malih i srednjih integrisanih krugova, poluprovodničkih komponenti i površinskih akustičnih valova. Zbog naprednog ravnanja mehanizma i niske snage ravnanja, ova mašina nije samo odgovarajuća za izlaganje različitim vrstama podloga, već i za izlaganje lako šutljivim podlogama kao što su kalij arsenid i fosfat čelika, kao i za izlaganje nekružnim i malim podlogama.
Specifikacija
Главни технички параметри
1. Tip izloženja: kontakt tip, poravnavanje ploče, jednostrano dvostrano izloženje 2. Područje ekspozicije: 110X110mm; 3. Uniformnost ekspozicije: ≥ 97%; 4. Intenzitet ekspozicije: 0-30mw/cm2 prilagodljiv; 5. Ugao UV zraka: ≤ 3 ° 6. Centralna talasna dužina ultravijolete: 365nm; 7. Životni vek izvora UV svetlosti: ≥ 20000 sati; 8. Temperatura radne površine: ≤ 30 ℃ 9. Korišćenje elektronskog zatvarača; 10. Rezolucija ekspozicije: 1 μ M (dubina ekspozicije je otprilike 10 puta širinu linije) 11. Režim ekspozicije: Dvostrana istovremena ekspozicija 12. Opseg poravnanja: x: ± 5mm Y: ± 5mm 13. Tačnost poravnanja ploče: 2 μ m 14. Opseg rotacije: Rotacija u Q-smjeru ≤ ± 5 ° 15. Mikroskopski sistem: dualno polje vidljivosti CCD sistema, objektivni leć 1.6X~10X, računarski sistem obrade slika, 19 "LCD monitor; Ukupna uvećanja 91-570x 16. Veličina maska: Može da vuce vakuumom 5 "kvadratne maske, bez posebnih zahteva za debljinom maske (od 1 do 3mm). 17. Veličina podloga: Odgovara za 4 "podloge, sa debljinom podloge od 0.1 do 2mm. 18. Prilikom narudžbe, nema posebnih zahteva, a 5 "X5 polica je standardna; možete prilagoditi police ispod 5" X5:
Pakovanje i dostava
Profil kompanije
Imamo 16 godina iskustva u prodaji opreme. Možemo Vam pružiti kompletno rešenje za opremu iz Kitajske za profesionalnu liniju pakovanja poluprovodnika, kako na početku tako i na kraju procesa.
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
