Машина за прецизно брушење и полирање МДАМ-ЦМП100/150, главна јединица и сви резервни делови су направљени од материјала који су високо отпорни на корозију. Цела машина је отпорна на корозију, стабилна, отпорна на хабање и рђу, погодна за хемијско механичко брушење и полирање различитих полупроводничких материјала. Радни простор је одвојен од контролне области дисплеја и дигитално се контролише помоћу контролног система екрана осетљивог на додир. Управља се са ЦНЦ-а, може се складиштити и може се преузети.
Систем уређаја има функцију времена, која може да ради непрекидно 10 сати и контролише брзину диска за полирање. Контролна табла је постављена изван радног простора како би се спречило прскање абразивног раствора на контролну таблу. Сви параметри домаћина се могу подесити на екрану осетљивом на додир. Параметри главног процеса имају функције складиштења и преузимања како би се осигурала конзистентност и поновљивост процеса. Узорак плочице се адсорбује на доњој површини уређаја вакуумским пумпањем, опремљен вакуум пумпом без уља и има независну функцију против обрнутог усисавања.
Узорак конфигурације уређаја за хоризонтални погонски систем ротације има функцију замаха, са подесивим опсегом замаха од 0-100%. Амплитуда замаха и брзина фреквенције могу се прецизно подесити преко контролне табле. Уређај је опремљен независним погонским системом за ротацију, са подесивим опсегом брзине од 0-120 о/мин. Овај функционални дизајн обезбеђује потпуно полирање узорка током процеса брушења и полирања, значајно побољшавајући капацитет полирања и ефикасност опреме.
Уређај је опремљен дигиталним столом за праћење дебљине са тачношћу праћења од 1 μм. Притисак уређаја на узорку плочице је континуирано подесив, са опсегом притиска од 0-3.5 кг и прецизношћу од 2 г/цм², и опремљен је уређајем за мерење притиска.
Рад диска за брушење и полирање контролише главни погон, а брзина диска се може подесити од 0 до 120 обртаја у минути. Овај опсег варијације брзине ефикасно обезбеђује брзину брушења и полирања узорака различитих тврдоћа и величина материјала, чиме се постижу виши процесни индикатори. Замена брусних дискова и дискова за полирање је једноставна и брза, са уграђеним дисковима који омогућавају опреми да брзо пређе са процеса брушења на процес полирања, што значајно скраћује време процеса. А брусни диск је опремљен блоком за поправку диска како би се осигурало да диск за брушење има добру равност.