Precizna mašina za šlehanje i poliranje MDAM-CMP100/150, glavna jedinica i sva rezervna delovi su izrađeni od materijala sa visokim otpornostima na koroziju. Cela mašina je otporna na koroziju, stabilna, otporna na oštećenja i ržu, prilagođena je kemijskom mehaničkom šlehanju i poliranju različitih poluprovodničkih materijala. Radno prostorije su odvojene od zone prikaza i upravljanja i koriste digitalno upravljanje pomoću dodirnog ekrana. Ona je CNC upravljana, može čuvati i povlačiti podatke.
Sistem uređaja ima funkciju podešavanja vremena, koja može da radi neprekinuto 10 sati i da kontrolise brzinu cilindričnog diska za poliranje. Panel za kontrolu je postavljen izvan radne zone kako bi se sprečilo da se emulzija za poliranje prebaci na kontrolni panel. Svi parametri glavnog uređaja mogu da se prave na dodirnom ekranu. Procesni parametri glavnog uređaja imaju funkcije čuvanja i vraćanja podataka kako bi se osigurala konzistentnost i ponovljivost procesa. uzorak vejpera je adsorbovan na donjoj površini fiksne ploče vakuum pumpanjem, opremljen je vakuum pumpom bez ulja i ima nezavisnu funkciju sprečavanja obrnutog sucanja.
Sistem horizontalne rotacije uzorka sa konfiguracijom fiksne tačke ima funkciju oscilovanja, pri čemu je opseg oscilovanja prilagodljiv od 0-100%. Amplituda i brzina frekvencije oscilovanja se mogu tačno podešavati preko kontrolne table. Fiksna tačka je opremljena nezavisnim sistemom pogona za rotaciju, sa prilagodljivim opsegom brzine od 0-120 obrtaja po minuti. Ovaj funkcionalni dizajn osigurava potpuno oscilaciono ciljanje uzorka tijekom procesa grdenja i ciljanja, što znatno povećava kapacitet i učinkovitost opreme.
Fiksna tačka je opremljena digitalnom tablom praćenja debljine sa preciznošću praćenja od 1 μm. Pritisak fiksne tačke na uzorak vešta je neprekidno prilagodljiv, sa opsegom pritiska od 0-3,5kg i preciznošću od 2g/cm², te je opremljena uređajem za merenje pritiska.
Rad grindačkog i poliračkog diska je kontrolisan glavnim pogonom, a brzina diska se može prilagoditi od 0 do 120 okretaja po minuti. Ovaj opseg promene brzine efikasno osigurava brzinu grindaža i poliranja uzoraka različite tvrdoće i veličine materijala, čime se postižu bolji procesni parametri. Zamena grindačkih i poliračkih diskova je jednostavna i brza, sa ugrađenim diskovima koji omogućavaju opremi da brzo pređe od procesa grindaža na proces poliranja, znatno smanjujući vreme procesa. Grindački disk je opremljen blokom za popravku diska kako bi se osigurala dobra ravnanost grindačkog diska.