Stavka |
MD150-RIE |
MD200-RIE |
MD200C-RIE |
||
Veličina proizvoda |
≤6 dužina |
≤8 dužina |
≤8 dužina |
||
RF izvor snage |
0-300W/500W/1000W Podešavanje, automatsko prilagođavanje |
||||
Molekularna pumpa |
-\/620(L\/s)\/1300(L\/s)\/Prilagođeno |
Antiseptik620(L\/s)\/1300(L\/s)\/Prilagođeno |
|||
Foreline pumpa |
Mehanička pumpa\/suva pumpa |
Сува пумпа |
|||
Procesni pritisak |
Nekontrolirani pritisak\/0-1Torr kontrolirani pritisak |
||||
Врста гаса |
H\/CH4\/O2\/N2\/Ar\/SF6\/CF4\/ CHF3\/C4F8\/NF3\/Prilagođeno (Do 9 kanala, bez korozivnih i toksičnih plinova) |
H2\/CH4\/O2\/N2\/Ar\/F6\/CF4\/ CHF3\/C4F8\/NF3\/Cl2\/BCl3\/HBr(Do 9 kanala) |
|||
гасни опсег |
0~5sccm\/50sccm\/100sccm\/200sccm\/300sccm\/500sccm\/prilagođeno |
||||
LoadLock |
Da/Ne |
da |
|||
Upravljanje uzorkom temperaturom |
10°C~Sobna temp/-30°C~100°C/Prilagođeno |
-30°C~100°C/Prilagođeno |
|||
Povratno hladenje helijem |
Da/Ne |
da |
|||
Obloženje procesne šuplje |
Da/Ne |
da |
|||
Upravljanje temperaturom zidova šuplje |
Ne/Sobna temp~60/120°C |
Sobna temp-60/120°C |
|||
Kontrolni sistem |
Automatski/prilagođeno |
||||
Materijal za graviranje |
Na baziji kremenjaka: Si/SiO2/SiNx··· IV-IV: SiC Magnetni materijali/legurski materijali Metalni materijal: Ni/Cr/Al/Au..... Organički materijal: PR/PMMA/HDMS/Organic film...... |
Na baziji kremenjaka: Si/SiO2/SiNx...... III-V (билаш 3): InP/GaAs/GaN...... IV-IV: SiC II-VI (билаш 3): CdTe...... Magnetni materijali/legurski materijali Metalni materijal: Ni/Cr/A1/Au...... Organic materijal: PR/PMMA/HDMS /organicka folija... |
|||
Primjenjuje se za odrasljivanje teško odrasljivih materijala poput nekih metala (poput Ni / Cr) i keramike, a raščlanjivanje materijala sa uzorkom ostvaruje se fizičkim bombardovanjem. |
Koristi se za odrasljivanje i uklanjanje organskih spojeva kao što su fotorezist (PR) / PMMA / HDMS / polimer |
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
