Тачка | МД150-РИЕ | МД200-РИЕ | МД200Ц-РИЕ | ||
Димензије производа | ≤6 инча | ≤8 инча | ≤8 инча | ||
РФ извор напајања | 0-300В/500В/1000В Подесиво, аутоматско усклађивање | ||||
Молекуларна пумпа | -/620(Л/с)/1300(Л/с)/Прилагођено | Антисептик620(Л/с)/1300(Л/с)/Цустом | |||
Форелине пумпа | Механичка пумпа/сува пумпа | Сува пумпа | |||
Процесни притисак | Неконтролисани притисак/0-1Торр контролисан притисак | ||||
Тип гаса | H/CH4/O2/N2/Ar/SF6/CF4/ ЦХФ3/Ц4Ф8/НФ3/Прилагођено (До 9 канала, без корозивног и токсичног гаса) | H2/CH4/O2/N2/Ar/F6/CF4/ CHF3/C4F8/NF3/Cl2/BCl3/HBr(Up to 9 channels) | |||
Гас ранге | 0~5sccm/50sccm/100sccm/200sccm/300sccm/500sccm/custom | ||||
ЛоадЛоцк | Да не | да | |||
Контрола темпа узорка | 10°Ц~Собна температура/-30°Ц~100°Ц/прилагођено | -30°Ц~100°Ц /прилагођено | |||
Хлађење задњег хелијума | Да не | да | |||
Процесна облога шупљине | Да не | да | |||
Контрола температуре зидова шупљине | Не/Соба~60/120°Ц | Собна температура-60/120°Ц | |||
Систем за контролу | Ауто/цустом | ||||
Материјал за гравирање | На бази силицијума: Си/СиО2/СиНк. ИВ-ИВ: СиЦ Магнетни материјали/легирани материјали Метални материјал: Ни/Цр/Ал/Ау. Органски материјал: ПР/ПММА/ХДМС/Органски филм. | На бази силицијума: Си/СиО2/СиНк. ИИИ-В(注3): ИнП/ГаАс/ГаН. ИВ-ИВ: СиЦ ИИ-ВИ (фаза 3): ЦдТе. Магнетни материјали/легирани материјали Метални материјал: Ни/Цр/А1/Ау. Органски материјал: ПР/ПММА/ХДМС/органски филм. |
Погодно за микроталасне уређаје, уређаје за напајање итд.
Машина Миндер-Хигх-тецх Реацтиве Ион Етцхинг (РИЕ) је најсавременија технологија која може да гравира и анализира различите врсте материјала са невероватном прецизношћу. Ова машина је дизајнирана за употребу у различитим индустријама где је потребно редовно микрофабриковање или гравирање. Направљен је од висококвалитетних материјала који га чине издржљивим, поузданим и способним да дају одличне резултате.
Опремљен РФ генератором плазме је ефикасан. РИЕ систем користи спојницу је индуктивну за добијање плазме из доводног бензина. Ова техника ствара плазму високе густине која повећава брзину нагризања повезану са производом. Процес гравирања на РИЕ машини је ефикасан, прецизан и веома подложан контроли, омогућавајући да се постигне специфична дубина. Ова карактеристика је јединствена и одличан је избор за истраживачке или индустријске радове.
Машина има широк опсег, укључујући микроелектронику, производњу МЕМС-а и производњу полупроводника. Ова машина игра важну улогу у јеткању и микромашинској обради полупроводничких материјала као што су силицијум, галијум арсенид и германијум у индустрији полупроводника. Миндер-Хигх-тецх РИЕ уређај је додатно успостављен у МЕМС индустрији за производњу меких и тврдих материјала као што су полиимид, силицијум диоксид и силицијум нитрид. Поред тога, доступан је за анализу кварова у индустријама повезаним са услугама и производима који су електронски.
Укључује различите функције које олакшавају коришћење. То је софтвер који је једноставан за коришћење и обезбеђује оператеру потпуну контролу над параметрима гравирања који се користе у уређају. Подешавања машине се чувају у њеној интерној меморији може да ускладишти преко 100 сетова подешавања. Екран има додирни екран који омогућава оператеру да подеси параметре као што су кретање гаса, дебљина снаге и притисак. Миндер-Хигх-тецх РИЕ машина такође има функцију контроле температуре која осигурава да су материјали урезани на одговарајућој температури и спречава њихово оштећење.
Савршено за компаније којима је потребна поуздана и ефикасна машина може пружити тачне и прецизне резултате. Овај уређај је дизајниран са врхунском технологијом и ниво је много. Његова свестраност и карактеристике прилагођене кориснику чине га избором за веома добра истраживања и индустријске апликације у различитим секторима.
Такође има ефикасан систем за анализу кварова који омогућава машини да открије и исправи све механичке проблеме што је пре могуће. Овај систем осигурава да РИЕ машина одржава висок квалитет и поузданост током свог животног циклуса. За сваку индустрију која захтева прецизно и ефикасно гравирање или микрофабрикацију, Миндер-Хигх-тецх РИЕ машина је савршено решење.
Ауторско право © Гуангзхоу Миндер-Хигхтецх Цо., Лтд. Сва права задржана