Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.

Početna strana
O NAMA
MH Equipment
Решење
Korisnici iz inostranstva
Video
KONTAKTIRAJTE NAS
Почетна> Provera poluprovodničkih uredjaja
  • Spektroskopski Elipsometar
  • Spektroskopski Elipsometar
  • Spektroskopski Elipsometar
  • Spektroskopski Elipsometar
  • Spektroskopski Elipsometar
  • Spektroskopski Elipsometar
  • Spektroskopski Elipsometar
  • Spektroskopski Elipsometar
  • Spektroskopski Elipsometar
  • Spektroskopski Elipsometar
  • Spektroskopski Elipsometar
  • Spektroskopski Elipsometar

Spektroskopski Elipsometar

Opis Proizvoda

Spektroskopski Elipsometar

Spektralni elipsometar može da izvrši brzo i višetaktne automatsko testiranje, a može da proveri jednolikost uzorka sa jednim klikom. Proizvod je opremljen polarizatorom, analizatorom i kompenzatorom koji su svi izboračeni sa apsolutnim kodiranjem visokopreciznih položajnih zaključnih uređaja sa funkcijom kompenzacije bandgap-a, što povećava tačnost i stabilnost sistema. Koristeći arhitekturu dvostrukih vlakna, poboljšava se efikasnost sakupljanja svetlosti, dovoljno spektara može biti sakupljeno sa reženih kiselinom ili poliranih površina, kao i sa običnih piramidalnih prednjih strana za testiranje i analizu. Takođe ima osnovne funkcije poput auto-fokusa, selekcije intenziteta svetlosti i fazi kompenzacije.
Dizajniran za visokopreciznu i efikasnu analizu optičkih osobina materijala. Može automatski, brzo i
tačno meri refraktivni indeks, koeficijent gasenja i debljinu filma materijala. Odgovara zahtevima karakterizacije tankih filmova i materijala u nauci, poluprovodnicima, fotovoltaici, optičkim oblogama, prikaznim pločama i drugim oblastima.

Objekat merenja:

Optički oblog: Si02, Si3N4, SnO2, Nb205, Ti02, Ta205, A2O3, MgF2,Pi.
Prikaz: OLED(AIG3, PCBM, NPB, NPD...), elektrodi(ITO, PEDOT, MgO, Ag, Al, Mg...) ...
Fotovoltaika: Si, Poly-Si, SiNx, CdS, CIGS, CdTe, PFN-Br, ABX3, PEDOT:PSS, PTB7-Th:PC71BM.
Poluprovodnik: Fotorezist, ZnO, SiON, SiC, SiGe, GaN, AIN, InP, GaAs, AlxGa(1-x)N
Ostalo: OCD, 2-D materijali, Van der Waals heterojunkcija i uređaji...

Funkcija proizvoda:

Merenje refraktivnog indeksa: Tačno meri refraktivni indeks materijala na različitim talasnim dužinama, pružajući ključne podatke za optički dizajn i istraživanje materijala.
Merenje koeficijenta apsorpcije: Analizira karakteristike apsorpcije svetla materijala kako bi se pomoglo u optimizaciji performansi optoelektronskih uređaja.
Meritička debljina filma: Podržava detekciju debljine filma na razini nanometara do mikrona sa visokim razrešenjem i dobro ponovljivost.
Brzo automatsko testiranje: Sa funkcijom višetakmičkog automatskog skeniranja, brzina merenja dostiže 1 sekundu/takmicu, što znatno povećava efikasnost serijskog testiranja.

Princip merenja:

Princip elipsometrijskog merenja je zasnovan na promeni stanja polarizacije svetlosnih refleksa pre i posle površine sredstva, kako bi se dobile informacije o optičkim osobinama i strukturi.
Električno polje ulaznog zraka raspada se u dve uspravne pravce, gde je p-svetlo paralelno vibraciji svetla
talas, s svetlo okomito na vibraciju svetlosnog talasa. Amplitude i faze p i s svetla se menjaju kada se zraka odbije od površine sredstva.

Korelacija između fizikalnih karakteristika sredstva i promene stanja polarizacije.

Radno okruženje aparata:

Napona: 220VAC+10%
Sobna temperatura: temperaturno okruženje (10-30)℃
Relativna vlažnost: (20-80)%RH

Spektrometar:

Detekciona jedinica: 2048 piksela brz CCD detektor sa obrnutim osvetljenjem
Detaljni parametri:
1. spektralni opseg bolji od 350nm-1000nm
2. prašina u svetlu <0.02%@400nm
3. odnos signala do šuma 4800
4. dinamički opseg 50000:1
5. holografska svetlosna staza
6. digitalna rezolucija 16-bit
7. brzina čitanja >400kHz
8. brzina prijenosa podataka 600MB/s
9. minimalno vreme integracije/pražnjenje korak 6 μs/1μs
10. kašnjenje spoljnog izaziva 95ns+/–20ns
11. računarski sučelje USB4.1C/2.0
12. operativni sistem Win 7/in 8/Win 10
prosečan QE u UV regionu, obrnuti CCD senzor, prosečan QE ≥75% Sistem hlađenja mikro TE hlađenje, temperatura nakon hlađenja je 30°C
niža od okružne temperature.
Metoda integracije: softverska kontrola automatskog podešavanja vremena integracije, omogućava postizanje najboljih

Sistem izvora svetlosti:

Izvor svetlosti halogen lampa sa kvarcijum kapljenjem, opseg talasa 350nm-2000nm, bez raspada vek trajanja duže od 50000 sati.
Nepovoljno napajanje za halogen lampu napona 4.9vd

Ploča sa funkcijom auto fokusa:

Premesti uzorak na najbolju poziciju merenja koristeći funkciju auto fokusa, Put: 100mm
Tačnost: 0.0005mm, Ograničenje lokacije sa pozitivnim i negativnim ograničenjem i senzorom nulte pozicije; početna pozicija, završna pozicija, dužina koraka funkcije auto fokusa mogu se podešavati u softveru koristeći Gausovu regresionu metodu; podešavanje određenog vremena integracije i sakupljanje intenziteta metode Fokusa
Структура производа
Specifikacija
Optički sistem:
Ugao incidencije
65°
Odmak snopova
< 0.3°
Parametri merenja
Psi&Del, TanPsi&CosDel, Alpha&Beta
Polarizatori
Glan-Thompson
Материјал
a-BBO
Kompensator
fazni pomak za četvrt talasa, hiper ahermatičan
Izbor intenziteta
Element izbora linearnog optičkog gustine. Osigurava dobar odnos signala prema šumu tijekom mjerenja, poboljšava tačnost podataka,
spriječava da intenzitet svjetlosti bude presišan ili preoptilan kako bi se smanjio odnos signala prema šumu i tačnost
Optički dizajn
dvostruki vlakno prenosi svjetlost od lampe do spektrometra kroz polarizacione elemente; stabilna svjetlosna staza, praktično za zamjenu lampa
Fibr
ant UV pasivacija; NA=0.22; čisti otvor 600um
Mikro svetlosni tačka
prečnik ≤200um, da bi se razlikovao koristan svetlost reflektovan sa prednje strane od nekorisne svetlosti reflektovane sa
donje strane, lako se razmontira
Raskočeno
1 50um, za razlikovanje korisne svetlosti reflektovane sa prednje strane od nekorisne svetlosti reflektovane sa dna
površina
Tabela osnovnih parametara izbora:
Spektralni opseg
350-1000nm
C
Видљиви
210-1000nm
УЦ
UV-Vidljivo
210-1700nm
Ne
UV-Vid-NIR
Optički kompensator
RC
Jednostepeni kompensator
RC2
C2
Dvostepeni kompensator
Spektralni opseg
X-Y
М
Veliki put do 230mm
X-R
R
Veliki prečnik do 300mm
Pakovanje i dostava
Profil kompanije
Minder-Hightech je predstavnik prodaje i servisa u industriji opreme za poluprovodnike i elektronske proizvode. Od 2014., kompanija se bavi pružanjem klijentima Suvremenih, Pouzdanih i Kompletnih Rešenja za mašinsku opremu.
ČPP
1. О цени:
Све наше цене су konkurentne и pregovarivane. Cena varira u zavisnosti od konfiguracije i složenosti prilagođavanja vašeg uređaja.

2. О uzorku:
Možemo da vam pružimo uslugu proizvodnje uzoraka, ali možda ćete morati da platite neke naknade.

3. O plaćanju:
Nakon što se plan potvrdi, morate nam prvo uplatiti depozit, a zatim će fabrika početi da priprema robe. Nakon što je opremna spremna i uplaćena preostala suma, poslat ćemo je.

4. O dostavi:
Nakon što je izrada opreme završena, pošaljićemo vam video snimak prihvatanja, a možete i da dođete na mestо da proverite opremu.

5. Instalacija i podešavanje:
Nakon što oprema stigne u vaš zavod, možemo poslati inženjere da instaliraju i otkloni greške na opremi. Za ovu uslugu ćemo vam pružiti poseban ponudni iznos.

6. O garanciji:
Naša oprema ima garančni rok od 12 meseci. Nakon garančnog perioda, ukoliko su neki delovi oštećeni i trebaju se zamijeniti, naplaćićemo samo troškove proizvodnje.

Upit

Upit Email WhatsApp Top
×

Zakažite sastanak