Извор плазме
|
RF
|
||
Snaga
|
ICP
|
_
|
|
BIAS
|
1000W(opcija)
|
||
Oblast primene
|
4~8 inch
|
||
Broj jednokratno obrađivanih šalova
|
1
|
||
Димензије изгледа
|
850mmx900mmx1850mm
|
||
Upravljanje sistemom
|
ПЛЦ
|
||
Ниво аутоматизације
|
Ručno
|
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved