Опрема за полупроводничку индустрију МДЛБ-МЦ200 Средство за чишћење фотомаски, Кина Опрема за индустрију полупроводника МДЛБ-МЦ200 Средство за чишћење фотомаски Произвођачи, добављачи, фабрика

МДЛБ-МЦ200

Средство за чишћење фотомаски

Јединица за чишћење:

Комора за чишћење је обрађена материјалима отпорним на корозију, који имају глатку површину и лако се чисте. На дну унутрашње шупљине налази се отвор за испуштање отпада, који користи гравитацију како би омогућио испуштање отпадне течности у фабрички цевовод за испуштање отпада. Унутар шупљине постоји усисни отвор који може благовремено извући атмосферу из шупљине. Опремљен са 3 аутоматске закретне руке, може постићи аутоматско чишћење.

Табела конфигурационих параметара:

Не.	пројекат	specifikacije	Примедбе
1	Преглед опреме	Назив уређаја: Пхотомаск Цлеанер
		Модел опреме: МДЛБ-МЦ200
		Укупне димензије (приближно): 1300 мм (Ш) * 1000 мм (Д) * 1950 мм (В)
		Укупна тежина машине (приближно): 300 кг
		Висина оперативног стола: 900 ± 50 мм
		Спецификације величине подлоге: погодно за квадратне маске од 2/4/5/6/8 инча
		Ток процеса: ручно постављање плочице → чишћење (четка, раствор за чишћење → вода под високим притиском → мегасонична вода → дејонизована вода → сушење гасовитог азота) → ручно уклањање плочице
		Врста опреме: полуаутоматски, ручни утовар и истовар
2	Изградња опреме	Оклоп: нерђајући челик, глатка, отпорна на корозију, лако се чисти
		Комора за чишћење: ПП, глатка, отпорна на корозију, лако се чисти
		Цевовод: Користи се цевовод за усклађивање ПУ/ПФА
		Радно осветљење: антикорозивно жуто светло осветљење
		Стил отварања врата: Двострука врата са функцијом аларма за отварање врата
		Екран осетљив на додир: екран осетљив на додир дијагонале 10 инча у пуној боји * 1
		ФФУ: Класа 100
		Доњи носач отпоран на цурење: доступан
3	Серво мотор високе прецизности	Количина: КСНУМКС
		Брзина: -3000~3000рпм	Празан терет
		Максимално убрзање ротације вретена: 3000рпм/С	Празан терет
		Прецизност брзине: ± 1рпм (50рпм~3000рпм)
		Резолуција брзине: 1рпм
4	Аутоматска закретна рука	Количина: КСНУМКС
4	Аутоматска закретна рука	Брзина окретне руке: 1~30 °/С
5	čišćenje јединица	Окретна рука за чишћење: 1 канал дејонизоване воде, 1 канал азотног гаса Мегасониц Арм: 1 Мегасониц, 1 Вода под високим притиском Крак четке: 1 четка, 1 вода, 1 раствор за чишћење
		Метода чишћења: аутоматско чишћење
		Функција усисавања дејонизоване воде: доступна
		Повратно испирање (дејонизована вода): 1 пут
		Начин снабдевања: Раствор за чишћење: Мембранска пумпа Дејонизована вода: испоручује се директно из фабрике
		Резервоар под притиском са детекцијом нивоа течности
6	Четка за четкицу	Количина: 1 (са функцијом самочишћења)
		Брзина: до 1000 обртаја у минути, подесива брзина
		Висина подесива ручно
7	Убаците у лежиште	Количина: КСНУМКС
		Материјал: ППС + нерђајући челик
		Величина: Погодно за квадратне маске од 2/4/5/6/8 инча
		Метода причвршћивања подлоге: Метода фиксирања канџама
8	Контролни систем	Контролни систем: помоћу ПЛЦ контроле
		Програм: 100 група, свака група се састоји од 100 корака, са максималним временом појединачног корака од 3000.0 секунди Резолуција: 0.1С
		Програм се може сачувати, позвати, изменити и избрисати
		Подесите дозволе за шифровање: за оператере уређаја, техничаре, администраторе и произвођаче
		Тип сигналног торња: црвена, жута, зелена 3 боје