Индустрија полупроводника Касетни тип Машина за уклањање резидуалног резидуалног резиста са плазмом.

Опис производа

Касетни тип Батцх плазма ПР машина за уклањање

ДЕСЦУМ
Чишћење вафла
Уклањање остатака лепка након мокрог процеса
Уклањање површинских остатака
Уклоните остатак лепка након излагања и развоја

Индустрија полупроводника Тип касете Батцх плазма машина за уклањање ПР-а Производња фотоотпора за уклањање остатака

Proces

Индустрија полупроводника Тип касете Батцх плазма ПР машина за уклањање фоторезиста Фабрика за уклањање остатака

Индустрија полупроводника Тип касете Батцх плазма машина за уклањање ПР фотоотпорних остатака Детаљи о уклањању

Индустрија полупроводника Тип касете Батцх плазма ПР машина за уклањање фотоотпорног резидуалног уклањања добављача

prednost:

Цоре Адвантаге

Висока брзина дегумирања: плазма велике густине, брза брзина дегумирања
Стабилност: Након третмана плазмом, висока поновљивост
Даљинска плазма: Даљинска плазма, ниско оштећење јона на плочици
Истакнути софтвер: независно истраживање и развој софтвера, интуитивна анимација процеса, детаљни подаци и записи
Уједначеност: Плазма може контролисати притисак и температуру кроз лептир вентил
Безбедносни фактор: Низак ниво плазме смањује оштећење пражњења производа.
Сервис након продаје: Брз одговор и довољан инвентар
Контрола прашине: Испуните захтеве купаца.
Основна технологија: Са скоро 40% чланова тима за истраживање и развој

Платформа касете (МД-СТ 6100/620)

1. 4 носача плочица
2. Висока компатибилност: флексибилност избора величине плочице доноси високу цену и ефикасност решења
3. Комора за вакуум пренос високе стабилности:
Зрели и стабилни дизајн вакуумског преноса се зрело примењује на тржишту дуги низ година и купци су га добро препознали.
Дизајн грамофона, компактан простор, значајно смањује ризик од ПАРТИЦАЛ
4. Хуманизовани софтверски оперативни интерфејс:
Интуитивни хуманизовани софтверски оперативни интерфејс, праћење стања машине у реалном времену;
Свеобухватне функције аларма и безбедних функција за избегавање погрешног рада.
Моћна функција извоза података, евиденција различитих параметара процеса и извоз записа производње производа.

Робот

1. Једнократни дизајн двоструке плочице за одабир и постављање доноси високу продуктивност
2. Побољшати ефикасност простора.

Грејна плоча

1. Високо прецизна плоча за контролу температуре
Плоча за грејање вафла од собне температуре до 250°Ц, тачност контроле температуре ±1°Ц
Плоча за грејање вафла је калибрисана професионалним инструментима, а уједначеност. Унутар ±3°Ц, обезбедите уједначеност уклањања лепка
2. Једнокоморна дуал-вафер обрада
Једнокоморни дизајн са двоструком вафлом;
Независни дизајн пражњења снаге за сваку плочицу, осигуравајући да свака плочица. Округли ефекат уклањања ПР-а;
Под претпоставком да обезбедите УПХ ефикасност, смањите цену производа. Јака компатибилност
3. Производни капацитет: дводелни дизајн реакционе коморе, висока ефикасност производње.

Спецификација

ПЛАСМА извор	RF	микроталасни
снага	КСНУМКСв	КСНУМКСв
Применљив опсег	4~8 инча	4~8寸
Број појединачних обрада	4 ~ 6 инча = 50 комада / 8 инча = 25 комада	4 ~ 6 инча = 50 комада / 8 инча = 25 комада
Димензије изгледа	КСНУМКСкКСНУМКСкКСНУМКСмм	КСНУМКСкКСНУМКСкКСНУМКСмм
Контрола система	PC	PC
Ниво аутоматизације	Ауто	Ауто

Хардверске могућности
Време рада/Доступно време	≧ КСНУМКС%
Средње време за чишћење (МТТЦ)	≦6 сати
Средње време за поправку (МТТР)	≦4 сати
Средње време између кварова (МТБФ)	≧350 сати
Средње време између асистента (МТБА)	≧24 сати
Средња обланда између сломљених (МВББ)	≦1 у 10,000 облатни
Контрола грејне плоче	КСНУМКС-КСНУМКС °