Индустрија полупроводника ИЦП ПЛАСМА ПР машина за уклањање фоторезиста за уклањање остатака, Кина Индустрија полупроводника ИЦП ПЛАСМА ПР машина за уклањање фоторезиста Произвођачи, добављачи, фабрика

Опис производа

ИЦП ПЛАСМА Пхоторесист Ремовер

АСХИНГ
Уклањање полимера
Суво уклањање тврдог слоја маске
Уклањање фотоотпорности након имплантације јона
Уклањање фотоотпорности у БАВ/САВ процесу
Хемијско чишћење слоја антирефлексног графичког филма
Уклањање површинских остатака
Чишћење површине након јеткања
ДЕСЦУМ

Индустрија полупроводника ИЦП ПЛАСМА ПР машина за уклањање фоторезиста Производња резидуалног уклањања

Proces

Индустрија полупроводника ИЦП ПЛАСМА ПР машина за уклањање фоторезиста Фабрика за уклањање остатака

prednost:

Цоре Адвантаге

Висока брзина дегумирања: плазма велике густине, брза брзина дегумирања
Стабилност: Након третмана плазмом, висока поновљивост
Даљинска плазма: Даљинска плазма, ниско оштећење јона на плочици
Истакнути софтвер: независно истраживање и развој софтвера, интуитивна анимација процеса, детаљни подаци и записи
Уједначеност: Плазма може контролисати притисак и температуру кроз лептир вентил
Безбедносни фактор: Низак ниво плазме смањује оштећење пражњења производа.
Сервис након продаје: Брз одговор и довољан инвентар
Контрола прашине: Испуните захтеве купаца.
Основна технологија: Са скоро 40% чланова тима за истраживање и развој

Платформа касете (МД-СТ 6100/620)

1. 4 носача плочица
2. Висока компатибилност: флексибилност избора величине плочице доноси високу цену и ефикасност решења
3. Комора за вакуум пренос високе стабилности:
Зрели и стабилни дизајн вакуумског преноса се зрело примењује на тржишту дуги низ година и купци су га добро препознали.
Дизајн грамофона, компактан простор, значајно смањује ризик од ПАРТИЦАЛ
4. Хуманизовани софтверски оперативни интерфејс:
Интуитивни хуманизовани софтверски оперативни интерфејс, праћење стања машине у реалном времену;
Свеобухватне функције аларма и безбедних функција за избегавање погрешног рада.
Моћна функција извоза података, евиденција различитих параметара процеса и извоз записа производње производа.

Индустрија полупроводника ИЦП ПЛАСМА ПР машина за уклањање фоторезиста за уклањање остатака добављач

Индустрија полупроводника ИЦП ПЛАСМА ПР машина за уклањање фоторезиста Детаљи за уклањање остатака

Робот

1. Једнократни дизајн двоструке плочице за одабир и постављање доноси високу продуктивност
2. Побољшати ефикасност простора.

Грејна плоча

1. Високо прецизна плоча за контролу температуре
Плоча за грејање вафла од собне температуре до 250°Ц, тачност контроле температуре ±1°Ц
Плоча за грејање вафла је калибрисана професионалним инструментима, а уједначеност. Унутар ±3°Ц, обезбедите уједначеност уклањања лепка
2. Једнокоморна дуал-вафер обрада
Једнокоморни дизајн са двоструком вафлом;
Независни дизајн пражњења снаге за сваку плочицу, осигуравајући да свака плочица. Округли ефекат уклањања ПР-а;
Под претпоставком да обезбедите УПХ ефикасност, смањите цену производа. Јака компатибилност
3. Производни капацитет: дводелни дизајн реакционе коморе, висока ефикасност производње.

Спецификација

ПЛАЗМА			RF	RF
снага	ICP	КСНУМКСв	КСНУМКСв
снага		БИАС	600в (опција)	600в (опција)
Применљив опсег			4~8 инча	4~8 инча
Број појединачних обрада			1	2
Димензије изгледа			КСНУМКСкКСНУМКСкКСНУМКСмм	КСНУМКСкКСНУМКСкКСНУМКСмм
Контрола система			Индустријски систем управљања	Индустријски систем управљања
Ниво аутоматизације			аутоматски	аутоматски

Хардверске могућности
Време рада/Доступно време	≧ КСНУМКС%
Средње време за чишћење (МТТЦ)	≦6 сати
Средње време за поправку (МТТР)	≦4 сати
Средње време између кварова (МТБФ)	≧350 сати
Средње време између асистента (МТБА)	≧24 сати
Средња обланда између сломљених (МВББ)	≦1 у 10,000 облатни
Контрола грејне плоче	КСНУМКС-КСНУМКС °