Техничка параметар | Режим мерења | ПСИ/ВСИ/супер дубина поља/светло поље |
Једно мерно видно поље (20× објективно сочиво) | 500*350μм (аутоматско шивање) | |
Подешавање угла | ±12° ручно | |
Подешавање З-осе | 20мм електрични + 50мм ручни (механизам за грубо и фино подешавање) | |
Уздужни опсег скенирања | КСНУМКС-КСНУМКСмм | |
Лонгитудинална резолуција | <0.2нм | |
Поновљивост мерења уздужне храпавости | 0.01 нм (ПСИ режим) | |
грешка индикације висине степеника мера | <0.75% (ВСИ режим) | |
Бочна резолуција: @550нм | 0.69 μм (20× објектив објектива) | |
Мерљива рефлексивност узорка | КСНУМКС%-КСНУМКС% | |
Време мерења | <5с (ПСИ режим) | |
Функција анализе | Функција анализе | 3Д мерење висине, 3Д анализа храпавости, 2Д мерење димензија |
3Д излаз података | Подаци 3Д облака тачака, подаци о сликама у нијансама сиве, прилагођени извештај |
Објективно увећање | 2.5x | 5x | 10x | 20x | 50x | 100x |
Нумерички отвор | 0.075 | 0.13 | 0.3 | 0.4 | 0.55 | 0.7 |
Оптичка резолуција @550нм (μм) | 3.7 | 2.1 | 0.92 | 0.69 | 0.5 | 0.4 |
Дубина фокуса (μм) | 48.7 | 16.2 | 3.04 | 1.71 | 0.9 | 0.56 |
Радна удаљеност (мм) | 10.3 | 9.3 | 7.4 | 4.7 | 3.4 | 2.0 |
Ауторско право © Гуангзхоу Миндер-Хигхтецх Цо., Лтд. Сва права задржана