Tehnički parametar |
Način merenja |
PSI/VSI/super dubina fokusa/jasan polje |
Jedinstveno polje merenja (20× objektiven) |
500*350μm (automatsko šivenje) |
|
Prilagođavanje ugla |
±12° ručno |
|
Prilagođavanje Z-ose |
20mm električno + 50mm ručno (mehanizam grubog i finog prilagođavanja) |
|
Raspon longitudinalnog skeniranja |
0-10mm |
|
Longitudinalna rezolucija |
<0.2nm |
|
Ponovljivost merenja dužinskog hrubeća |
0.01nm (režim PSI) |
|
greška indikacije visine koraka merenje |
<0.75% (režim VSI) |
|
Bočna rezolucija: @550nm |
0.69μm (objektiv 20×) |
|
Merljiva refleksija uzorka |
0.1%-100% |
|
Vreme merenja |
<5s (režim PSI) |
|
Функција анализе |
Функција анализе |
3D merenje visine, 3D analiza debljine, 2D merenje dimenzija |
3D izlazni podaci |
3D podaci o oblaku tačaka, sive škale slikovni podaci, prilagođeni izveštaj |
Objektivno uvećanje |
2.5x |
5х |
10x |
20x |
50x |
100x |
Нумерицал Апертуре |
0.075 |
0.13 |
0.3 |
0.4 |
0.55 |
0.7 |
Optička rezolucija @550nm (μm) |
3.7 |
2.1 |
0.92 |
0.69 |
0.5 |
0.4 |
Dubina fokusa (μm) |
48.7 |
16.2 |
3.04 |
1.71 |
0.9 |
0.56 |
Radna distanca (mm) |
10.3 |
9.3 |
7.4 |
4.7 |
3.4 |
2.0 |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved