Rešenje ultrazvučnog skeniranog mikroskopa za industriju poluprovodnika

Time : 2025-02-27

Princip ultrazvukovog testiranja

Ultrazvučni pretvarač generiše ultrazvučni impuls koji stiže do uredjaja za testiranje putem koplira (voda).

Zbog razlike akustične impendanse, ultrazvučna valova se odbijaju na suštini različitih materijala.

Ultrazvučni pretvarač prima odbijeni echo i pretvara ga u električne signale.

Računara obrađuje električni signal i prikazuje valovnu formu ili sliku.

Oblik skeniranja

A sken: valovna forma na određenoj tački;

Vodoravna osa označava vreme kada se pojava valovne forme događa;

Okomita os označava amplitudu vala.

C skeniranje: presečno transverzalno skeniranje;

Horizontalna i vertikalna os označavaju fizikalne dimenzije;

Boja označava amplitudu vala.

B skeniranje: dužinsko presečno skeniranje;

Horizontalna os označava fizikalne dimenzije;

Vertikalna os označava vreme kada se val pojavljuje;

Boja označava amplitudu vala i fazu

Višeslojno skeniranje: višeslojno C skeniranje se vrši u dubinskom smeru uzorka.

Transmisivno skeniranje: primavioci se dodaju na dnu uzorka da bi se sakupile prosleđene zvučne talase za generisanje slika.

Prednosti i ograničenja otkrivanja

Prednosti:

1. Ultrazvukovsko otkrivanje je primenljivo na širok spektar materijala, uključujući metale, ne-metale i složene materijale;

2. Može proniknuti kroz većinu materijala;

3. Je vrlo osetljiv na promene na sučelju;

4. Nije štetan za čoveku i okoliš.

Ograničenja:

1. Izbor valne forme je relativno kompleksan;

2. Oblik uzorka utiče na efekat detekcije;

3. Položaj i oblik defekta imaju određeni uticaj na rezultat detekcije;

4. Materijal i veličina zrnanja uzorka imaju veliki uticaj na detekciju.

Provera kvaliteta svarenja tijekom procesa učitavanja pločica

Praćenje tijekom pokretanja mašine za učitavanje vefera i procesa određivanja grešaka kako bi se intuitivno otkrili neobični pojavi u različitim parametrima i stanjima opreme.

Visina i ugao sučnog glave;

Oksidacija i temperatura loje;

Materijal nosača i čip materijala

Provera kvaliteta svađenja tijekom učitavanja čipa

Praćenje tijekom pokretanja i određivanja grešaka na mašini za učitavanje čipa može intuitivno pronaći neobičnosti u različitim parametrima i stanjima opreme

Visina i ugao sučnog glave;

Oksidacija i temperatura loje;

Materijal nosača i čip

Praznine u procesu svađenja čipa uzrokuju nedovoljno otpuštanje topline tijekom korišćenja uređaja, što utiče na njegov vek i pouzdanost. Korišćenjem ultrazvukovih metoda, defektni praznine u svađenju mogu biti brzo i efikasno otkrivene.