Решење ултразвучног скенирајућег микроскопа за индустрију полупроводника

Време: КСНУМКС-КСНУМКС-КСНУМКС

Принцип ултразвучног тестирања

Ултразвучни претварач генерише ултразвучни импулс који стиже до ДУТ-а кроз медијум за спајање (воду).

Због разлике акустичне импедансе, ултразвучни талас се рефлектује на интерфејсу различитих материјала.

Ултразвучни претварач прима рефлектовани ехо и претвара га у електричне сигнале.

Рачунар обрађује електрични сигнал и приказује таласни облик или слику.

Образац за скенирање

Скенирање: таласни облик у одређеној тачки;

Хоризонтална оса показује време када се таласни облик појављује;

Вертикална оса показује амплитуду таласног облика.

Ц скенирање: скенирање попречног пресека;

Хоризонтална и вертикална оса означавају физичке димензије;

Боја означава амплитуду таласног облика.

Б скенирање: скенирање уздужног попречног пресека;

Хоризонтална оса означава физичке димензије;

Вертикална оса означава време када се таласни облик појављује;

Боја означава амплитуду и фазу таласног облика

Вишеслојно скенирање: вишеслојно Ц скенирање се врши у правцу дубине узорка.

Скенирање преноса: пријемници се додају на дно узорка како би прикупили емитоване звучне таласе за генерисање слика.

Предности и ограничења детекције

Предности:

1. Ултразвучна детекција је применљива на широк спектар материјала, укључујући метале, неметале и композитне материјале;

2. Може продрети у већину материјала;

3. Веома је осетљив на промене интерфејса;

4. Безопасан је за људско тело и животну средину.

Ограничења:

1. Избор таласног облика је релативно сложен;

2. Облик узорка утиче на ефекат детекције;

3. Положај и облик дефекта имају одређени утицај на резултат детекције;

4. Материјал и величина зрна узорка имају велики утицај на детекцију.

Контрола квалитета заваривања током процеса пуњења плочице

Надгледање током покретања машине за пуњење плочица и процеса отклањања грешака да би се интуитивно откриле абнормалности у различитим параметрима и стањима опреме.

Висина и угао усисне главе;

Оксидација и температура лема;

Материјал оловног оквира и чип материјала

Контрола квалитета заваривања током пуњења струготине

Праћење током покретања и отклањања грешака машине за пуњење чипова може интуитивно да пронађе абнормалности у различитим параметрима и стањима опреме

Висина и угао усисне главе;

Оксидација и температура лема;

Материјал оловног оквира и чипа

Празнине у процесу заваривања чипова ће узроковати недовољну дисипацију топлоте током употребе уређаја, што утиче на његов радни век и поузданост. Користећи методе ултразвучног испитивања, дефекти шупљина у заваривању могу се брзо и ефикасно идентификовати.


Празнине за заваривање	Савијање силиконских плочица	Хлеб чипс	Пукотине у силицијумским плочицама