Minder-Hightech är en halvledarproducerare. Halvledare är nödvändiga komponenter i mycket av det som gör det möjligt med modern livsstil, såsom mobiltelefoner och datorer. Nu finns det flera steg för att skapa halvledare, men det första steget är att skapa ett mönster på en flat yta som kallas en wafer.

För att åstadkomma detta mönster deponerar vi ett speciellt material på waffeln. Detta ämne kallas fotoresist. När vi har lagt ner fotoresisten exponeras den för ljus. Under ljuset hårdnas en del av fotoresisten och blir stark. De områden som ligger i skugga förblir mjuka och kan tas bort.

Efter att ha fått önskat mönster på waffeln måste fotoresisten tas bort från de områden där vi ska utföra ytterligare bearbetning. Just här kommer Plasma Cleaner att spela in, faktiskt.

Plasmabaserade metoder för borttagning av fotoresist

Plasma är en tillstånd av gas med hög energinivå, på grund av en hög elektrisk laddning som tillämpas på den. Och denna aktiverade gas är mycket användbar för att ta bort fototvett från waferytan. Genom plasma kan fototvettet bli sprött och rengöringen blir mycket enklare.

Vi har två olika tekniker som använder plasma för borttagning av fototvett: torrätching och askning.

Torrätching: I denna teknik interagerar det faktiska plasmat med fototvettet. Plasmat reagerar med fototvett där de möts. Denna reaktion bryter ner fototvettet och omvandlar det till gas. Denna gasformiga substans kan senare rensas bort från waferytan, vilket resulterar i att de områden vi kräver rent och tillgängligt för fortskridande exponeras.

Ashing — Detta är en annan metod att göra det, där icke-reaktiv plasma används för fotoresist. Plasmats ånga delar upp fotoresisten i små bitar istället. Dessa små bitar kan sedan spolas bort från wafern. Denna metod är lämplig och skyddar wafern samtidigt som onödig fotoresist tas bort.

Användning av reaktiv plasma för fotoresiststripping

Plasma Ytorbehandling är ett mycket kraftfullt verktyg som hjälper oss att ta bort den hårdaste fotoresisten från wafern. Plasma är fantastiskt på sin egen hand, men det bästa är att vi kan omvandla det till en super selektiv agent. Det betyder att det kan justeras för att endast specifikt reagera med fotoresisten, inte med de andra materialen under den.

Till exempel: Om vi har ett mönster på vafern där metall placeras under fototvett, kan vi använda en typ av plasma som reagerar endast med fototvettet. På så sätt kan vi gravera bort fototvettet utan att skada metallen under det. Detta är mycket viktigt eftersom alla delar av vafern måste behålla sin integritet under processen.

Plasmatekniken för avlägsnandet av fototvett

Minder-Hightech använder modern plasmateknik för att ta bort fototvettet från våra vafer. Detta låter oss tillverka felbara halvledare av hög kvalitet.

Snabbt, anpassningsbart efter dina behov. Våra system är utformade för att integreras smidigt i din arbetsflöde. Det betyder att vi kan ta bort fototvettet snabbt. Och eftersom vi är snabba, uppfyller vi den fulla efterfrågan hos våra kunder, och levererar bra produkter när de behöver dem.

Men våra plasmaanläggningar är också mycket noggranna, utöver sin effektivitet. Vad denna precision ger oss är möjligheten att ta bort enbart fototjockt. Vår teknik förhindrar att alla andra delar av vafern skadas av vår process, och vi kan inte tillåta det. Denna systematiska praxis blir ännu viktigare för kvaliteten på de halvledare vi tillverkar.

Plasma-inducerad fototjocktborttagning på halvledare

Så, för att sammanfatta, är plasma en superkraft som låter oss ta bort viss fotoresist från vaflans yta på ett mycket effektivt sätt. Vi, hos Minder-Hightech, tillämpar den senaste och bästa plasmatekniken för att producera semikonductor med exakt noll defekter. När det gäller plasmasystem är våra lösningar tillverkade för att balansera hastighet med noggrannhet, samtidigt som de fortfarande är mycket effektiva. Det betyder att vi kan uppfylla våra kunders krav samtidigt som vi levererar kvalitetsprodukter utan miss. Detta strävar också efter att förbättra processen för semikonduktorer eftersom vi använder plasma removal teknik som gör våra semikonduktorer så bra som möjligt för alla typer av elektroniska enheter för att vara pålitliga apparater.