Reaktivt jonetsningssystem
Tillhandahålla professionellt anpassade lösningar för kunder
Dubbelkammar RIE (Cl₂) anpassning
I februari 2024 fick vi en förfrågan från en kund om en klorprocess på 100 mm.
Detta är en intressant applikation för oss eftersom den nödvändiga processgasen innehåller giftiga gaser Cl2 och BCl3. Vi måste förbättra maskinens alla konfigurationer för att undvika säkerhetsproblem, och specialdesignade en dubbelkammarstruktur av processkammaren och överföringskammaren för att perfekt skydda operatören samtidigt som vi uppfyller processkraven.
Efter cirka 5 månaders design och produktion genomförde vi flera provtester och produktionssimuleringar i företagets interna laboratorium och levererade snabbt utrustningen efter att ha godkänt kundens acceptans.
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Alla rättigheter reserverade
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NEJ
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
