Wafersstorlek
|
4”~ 8” platta
|
Plattjocklek
|
100~750 mikroner
|
Platttyp
|
Si, SiC, GaN, eller andra material
|
Filmtyp
|
Blå film, UV-film
Bredd: 230 ~ 300 mm Längd: 100 m Tjocklek: 0,05 ~ 0,2 mm |
Waferbärarring
|
6”, 8” DISCO
|
Metod för laddning och avladdning
|
Manuell placering och borttagning av wafer/stång
|
Filmpositioneringsnoggrannhet
|
±0.5mm
Standard 6” och 8” plattor för 6” och 8” wafers |
Vakuumpump
|
Minder-Hightech
|
Antistatisk kontroll
|
Dejoniseringsventilator
|
Styrenhet
|
Baseras på PLC-kontroll, med 10-tum touchscreen
|
Säkerhetsskydd
|
Utrustad med ljusgårdsskydd och nödstoppknapp
|
Strömförsörjning SPÄNNING
|
Enfas AC 220V, 16A
|
Komprimerad Luft
|
0,45~0,6MPa, flöde 70L/min
|
Maskinhölje
|
Vit plastbespruten metallhölje
|
Volym
|
850mm (bredd)*1750mm (djup)*1970mm (höjd)
|
Nettovikt
|
480 kg
|
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved