Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.

hemsida
Om oss
MH Equipment
Lösning
Användare utomlands
video
Kontakta oss
Hem> Mask Aligner
  • Justerare / Justeringsmaskin för fotolitografi
  • Justerare / Justeringsmaskin för fotolitografi
  • Justerare / Justeringsmaskin för fotolitografi
  • Justerare / Justeringsmaskin för fotolitografi
  • Justerare / Justeringsmaskin för fotolitografi
  • Justerare / Justeringsmaskin för fotolitografi
  • Justerare / Justeringsmaskin för fotolitografi
  • Justerare / Justeringsmaskin för fotolitografi
  • Justerare / Justeringsmaskin för fotolitografi
  • Justerare / Justeringsmaskin för fotolitografi
  • Justerare / Justeringsmaskin för fotolitografi
  • Justerare / Justeringsmaskin för fotolitografi

Justerare / Justeringsmaskin för fotolitografi

Produktdescription
Mask Justerare Litografi Maskin
Mask Justerare används huvudsakligen i utvecklingen och produktionen av små och medelstora integrerade kretsar, halvledarkomponenter, optoelektroniska enheter, ytanläggande vågkomponenter, tunnfilmskretsar och effekt-elektroniska enheter
Mask Aligner Känd även som: mask aligner exposure machine, exposure system, lithography system, etc., är det centrala utrustningen för tillverkning av chips. Den använder teknik liknande fotostryck för att trycka de fina mönstren på masken på silkeskivan med hjälp av ljusbelysning.
Huvudsakligen består av: högprecisionens justeringsarbetsbänk, tvåögd separerad synfält vertikal mikroskop, tvåögd separerad synfält horisontellt mikroskop, digital kamera, datorimageringsminnesystem, multipunktsljuskälla (fly eye) exponeringshuvud, PLC-kontrollsistem, pneumatiskt system, vakuumsystem, direktkopplad vakuumpump, sekundär motvibrationsarbetsbänk och tillbehållare.
Aligner /Alignment Machine photolithography manufacture
Aligner /Alignment Machine photolithography factory
Egenskap
1. Hög jämnhet fly-eye exponeringshuvud / luftflytande nivelleringmekanism / pålitligt vakuumklampningsexponering. hög upplösning.
2. Justeringsmetod med mask håller stabil och substratförsörjning, vilket säkerställer konsekvensen av ledningsgravitationen och kraften.
3. Använder gaplös rakt ledning, hög precision, hög hastighet.
4. Alla modeller är lämpliga att arbeta med alla standardfotoresister, som AZ, Shipley, SU 8.
5. Alla modeller: Kvaliteten på mönstret överfört av systemet till subtratet efter 5 maskapplikationer bör vara samma som mönsterkvaliteten efter den första maskapplikationen.
6. Exponeringstid justerbar mellan 1 sekund och 1 timme. Justeringsnoggrannhet 1 µm
Aligner /Alignment Machine photolithography supplier
Aligner /Alignment Machine photolithography details
Aligner /Alignment Machine photolithography details
Aligner /Alignment Machine photolithography factory
Aligner /Alignment Machine photolithography manufacture
Aligner /Alignment Machine photolithography details
Aligner /Alignment Machine photolithography factory
Aligner /Alignment Machine photolithography factory
Aligner /Alignment Machine photolithography manufacture
Aligner /Alignment Machine photolithography details
Specificitet
Modell
MD-G25A
MD-G25D
MD-G31

MD-G33



Exponeringstyp
en sida

Dubbel sida justering och dubbel sida exponering



Exponeringsläge
Kontakt hård, mjuk och icke-kontakt närhet




Antal exponeringshuvuden
1 exponeringshuvud

2 exponeringshuvud



Typ av ljuskälla
GCQ350 klotformad kvicksilverlampa



LED UV-exponeringshuvud

Kylmetod
Luftkylning




Expositionsområde
Φ100 mm
110×110mm
Φ100 mm

150mm×150mm



Exponeringsläge
Kompatibelt med kontakt, hård och mjuk




Exponeringsojämnahet
Φ100mm<±3%<>
≤ ± 3%




Expositionsupplösning
2μm
1 μm




Strålningsintensitet (365 nm)
≥6mw/cm²
≤40mw/cm2
≥5mw/cm2

0~30mw/cm2



Strålningsojämnahet
≤±4%
≤ ± 3%




UV-ljusets maximala avvikelsesvinkel




Belysningsomfång
≤Φ117mm
Φ117mm
≤Φ117mm

Fram och bak ≥ Φ115mm



Kompensationsläge för wedge-fel
Kulönformig automatisk kompensation

Automatisk eliminering

3-punkts automatisk kompensation


Rörelsen på X- och Y-axlarna
±4mm
±5mm
±4mm

±5 mm



Rörelsen av θ
±3°
≤5°
≤±5º

≤0.5°



XYZ substratförskjutningsupplösning
0.5µm
0.3µm
0.3µm

0.01µm



Mikroskopssystem
Två ensiffriga mikroskop / Två CCD-kameror




Skärmarstorlek
15 tum.




Bilduppsökningsupplösning
2µm
1.5µm
1.5µm

1.5µm



Mätavstånd för mask och substrat
0.5 µm
0.3 µm




Diagonaldimension av CCD-målyta
1/3,(6mm)



40mm~110mm

Inställningstabellstorlek
≤ Kvadrat 5*5 tum (Anpassbara specifikationer)




Substratstorlek
Φ 100mm eller 100*100mm kvadrat
60*49.5mm kvadrat
2”-4”

1"x1"-5"x5"



Substratjocklek
1-3 mm
≤5 mm
1-3 mm

≤5 mm



Vakuumpump
Oljefritt tyst(-0.07~-0.08MPα)




Ren komprimerad luft
≥0.4MPα




Strömförsörjning
AC 220V±10% 50HZ 1.5KW




Reinrumsklass
Klasse 100




Reinrumstemperatur
25℃±2℃




Relativ fuktighet i rensrummet
≤60%




Vibreringsamplitud i rensrummet
≤4μm




Utrustningsstorlek
1300 ×720×1600mm


1500 ×800×1600mm


Utrustningens vikt
200KG


280 kg


Framställning av en högprecisionssystem för justering kräver nästan perfekt precision i mekaniska processer. En annan teknisk utmaning med justeringssystemet är justeringsmikroskopet. För att förstärka synfältet på mikroskopet använder många högprestationslithografimaskiner LED-belysning. Det finns två uppsättningar av justeringssystem med fokuseringsfunktion. Huvudsakligen består det av två ögon och två synfält som riktas mot kroppen av mikroskopet, ett par ögonympar och ett par objektivlinsor (lithografimaskinen tillhandahåller vanligtvis ögonympar och objektivlinsor med olika förstoring för användarna). Funktionen av CCD-justeringssystemet är att förstora justeringsmärkena på masken och provet och visa dem på övervakaren.
Aligner /Alignment Machine photolithography factory
Aligner /Alignment Machine photolithography factory
Arbetsstycket är en nyckelkomponent i litografi maskinen, vilken består av maskprovets totala rörelseplattform (XY), maskprovet relativ rörelseplattform (XY), rotationsplattformen, provnivelleringssystemet, provfokussystemet, vafärplattformen, maskupplåsaren och dragutmaskplattformen. Provnivelleringssystemet omfattar en bollstol och en halvklot. Under nivelleringen tillämpas först tryckluft på bollstolen och halvklotet, och sedan flyttas bollstolen, halvklotet och provstycket uppåt genom fokusratten så att provstycket kan nivelas mot masken, och därefter byter den tvåpositionstriksväxeln luftmotståndet på bollstolen och halvklotet för att låsa och bibehålla nivelltillståndet.
Aligner /Alignment Machine photolithography details
Aligner /Alignment Machine photolithography supplier
Aligner /Alignment Machine photolithography factory
Aligner /Alignment Machine photolithography details
Aligner /Alignment Machine photolithography factory



Minder-Hightech erbjuder dig en avancerad teknik för fotolithografi via Aligner/Aligneringsmaskin.

 

Kampar du med otillräcklig noggrannhet när du skriver ut kretsar på dina elektroniska produkter? Med Minder-Hightech's Aligner/Alignment Machine kan du vara säker på att uppnå hög nivå av precision i din produktion av utskrivna kretsar.

 

Med detta revolutionära produkt kan du enkelt överföra ett högupplöst bild på ett produkt med hjälp av fotolitografi. Denna maskin garanterar noggrannhet genom ett system som justerar materialet till bilden.

 

När bilderna har skrivits ut och laddats upp, beräknar maskinen mängden exponering som krävs och hur materialet är justerat i förhållande till bilderna. Denna beräkning görs med hjälp av den senaste datorprogramvaran som kan uppdateras för att hålla jämna steg med teknologisk utveckling inom produktionsindustrin.

 

Det gör det möjligt för dig att skapa en bred spektrum av produkter, inklusive mikrokransar, radiobanda (RF) kretsar och inbyggda kretsar. Enheten kan uppnå den bästa gravdjupen, spårbredden och lagermotlagerjusteringen genom att lägga till olika kompletterande processer, såsom kemisk etching och elektroplåtering.

 

Vårt produkts fördel ligger i dess förmåga att producera hög justering, vilket garanterar att mönster placeras med stor noggrannhet på materialet. Du kan enkelt skriva ut många komplexa designar utan några deformationer.

 

Det är användarvänligt, kompakt och effektivt, vilket gör det lämpligt för olika tillverkningsanläggningar eller företagsskalor. Dessutom kommer vårt apparat med handbok för underhåll och platsutbildning med vår tekniska supportpersonal.

 

Minder-Hightech’s Aligner/Alignment Machine använder fotolitografisk teknik för att hjälpa dig åstadkomma de bästa resultaten när du skriver ut dina kretsar. Upplev en ny nivå av teknik som erbjuder hög noggrannhet och precision som inte kan matchas av traditionella tryckmetoder. Minder-Hightech’s Aligner/Alignment Machine är det som din tillverkningsföretag behöver för att hålla ett steg före konkurrensen. Kontakta oss idag för att njuta av fördelarna med den bästa Aligner/Alignment Machine-tekniken på marknaden.


Fråga

Fråga Email WhatsApp Top
×

Kom i kontakt