ASKING DESCUM fotoresistborttagning ICP Dry Plasma Photoresist Removal Machine , Kina ASKING DESCUM fotoresistborttagning ICP Dry Plasma Fotoresistborttagningsmaskin Tillverkare, leverantörer, Fabrik

Produktbeskrivning

ICP Dry Plasma Photoresist Borttagningsmaskin

ICP torr plasmafotoresistborttagningsmaskin används huvudsakligen för att ta bort polymerer, ASHING, DESCUM, fotoresistborttagning efter jonimplantation och avlägsnande av ytrester. Kaviteten är lämplig för 4-8 tums prover, med 1-2 stycken bearbetade i en enda process.

ASKA
Avlägsnande av polymer
Torrt avlägsnande av hårt maskskikt
Fotoresistens borttagning efter jonimplantation
Fotoresistensborttagning i BAW/SAW-processen
Kemtvätt av antireflekterande grafisk filmskikt
Avlägsnande av ytrester
Ytrengöring efter etsning
DESCUM

ASKING DESCUM fotoresistborttagning ICP Dry Plasma Photoresistborttagning Maskindetaljer

ASKING DESCUM fotoresistborttagning ICP Dry Plasma Photoresistborttagning Maskinfabrik

Specifikation

PLASMA			RF	RF
Effekt	ICP	1000w	1000w
Effekt		FÖRDOM	600w (tillval)	600w (tillval)
Gällande omfattning			4~8寸	4~8寸
Antal enstaka bearbetningsskivor			1	2
Utseendemått			1080x1840x1800mm	1340x2050x1800mm
Systemkontroll			Industriellt kontrollsystem	Industriellt kontrollsystem
Automationsnivå			automatisk	automatisk