Plasma
|
RF
|
RF
|
||
Ström
|
ICP
|
1000W
|
1000W
|
|
BIAS
|
600w(option)
|
600w(option)
|
||
Tillämpningsområde
|
4~8 tum
|
4~8 tum
|
||
Antal enskilda bearbetningsplattor
|
1
|
2
|
||
Utseendet
|
1080x1840x1800mm
|
1340x2050x1800mm
|
||
Systemkontroll
|
Industriell styrsystem
|
Industriell styrsystem
|
||
Automationsnivå
|
automatisk
|
automatisk
|
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved