Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
EN
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Få offert

Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.

Hemsida
Om oss
MH Equipment
Lösning
Användare utomlands
Video
Kontakta oss
Hem> MH Equipment> Slip- och polerare
  • Automatisk CMP Efterrensningsprocess
  • Automatisk CMP Efterrensningsprocess
  • Automatisk CMP Efterrensningsprocess
  • Automatisk CMP Efterrensningsprocess
  • Automatisk CMP Efterrensningsprocess
  • Automatisk CMP Efterrensningsprocess
  • Automatisk CMP Efterrensningsprocess
  • Automatisk CMP Efterrensningsprocess
  • Automatisk CMP Efterrensningsprocess
  • Automatisk CMP Efterrensningsprocess
  • Automatisk CMP Efterrensningsprocess
  • Automatisk CMP Efterrensningsprocess

Automatisk CMP Efterrensningsprocess

Få en gratis offert
Produktbeskrivning

Rensningseffekt efter Vafers Kemisk Mekanisk Polering

CMP Efterrening

Maskinfunktioner

Stark processförmåga
Dubbelkammarborste, med en bred räcka av processanvändbarhet
Utrustningen tar liten plats, med dimensionerna 2200 * 800 * 2200 (mm)

Ansökningsfält

6-8 tum CMP efter borstning
Rensning efter slipning av SIC eller andra underlag

Tekniska parametrar

Rensning efter 4-tums och 6-tums CMP
Dubbelkamerv design, oberoende kamerabedrift Våt in och torrt ut eller torrt in och torrt ut
Hög hastighets rotationsdrying SRD

LoadPort-enhet, laddningsenhet

LoadPort är laddningsenheten för detta enhet
Våt kassettförsörjning
Har sprutningsfuktigande funktion

Borstenhet, Waferrensningseenhet

Dubbelkamereenhet, kan stödja två olika rensningslösningar
Borstpositionen kan justeras enligt receptet, Belt Conveyor

SRD-enhet, Wafer torkningsenhet

Wafer klamp typ snurrtorkning, med maximal hastighet 4000OMS
Kan utföra AS-rengöring på waferytan och spruta DIW

UNLOAD-enhet, skäringsenhet

UnLoad-enheten har en oberoende FFU för att säkerställa rengöringen vid waferutmatning

Transportör

Våt område är belt conveyor
Torkat område för Robot teleportering

Beskrivning av borstenhet

Som visas i figuren till vänster består borstenheten av denna enhet av två borstarenheter, nämligen BU1 BU2.
Borsttrycket för varje enhet kan justeras separat (som anges i receptet), och varje borstbladsenhet kan rengöras separat med olika kemiska rensningslösningar.
Maskinens borste använder PVA-borste, som är en vanligt förekommande typ på marknaden.
Transmissionen mellan kammaren är en bandkonveyor. Det finns en DIW-SPOELING inne i kammaren.

SRD-enhet

SRD-enheten är utrustad med en krampe CHUCK och en AS ARM, vilket kan ytterligare fysiskt rena och rotera wafern till torghet.
Specificitet
Utrustningsstorlek:
2200 * 800 * 2200 (mm)
Laddnings- och avladdningsmetoder
torr in/tvätt in/torr ut
Antal borstenheter
2
Antal SRD-enheter
1
Transportmetod
Våt zon bandtransport, torr zon robottransport
Storleken på utrustningen med en borstarum av 1 är 1850 * 800 * 2200
Förpackning & Leverans
Företagsprofil
Vanliga frågor
1. Om pris:
Alla våra priser är konkurrenskraftiga och förhandlingsbara. Priset varierar beroende på konfigurationen och komplexiteten av anpassningen av din enhet.

2. Om provproduktion:
Vi kan erbjuda provproduktions tjänster, men du kanske måste betala vissa avgifter.

3. Om betalning:
När planen är bekräftad måste du betala en förskottsbetala till oss först, och fabriken kommer att börja förbereda varorna. När
utrustningen är redo och du har betalat restbeloppet, skickar vi ut den.

4. Om leverans:
När tillverkningen av utrustningen är klar skickar vi dig en acceptansvideo, och du kan också komma till platsen för att inspektera utrustningen.

5. Installation och justering:
När utrustningen ankommer till din fabrik kan vi skicka ut ingenjörer för att installera och felsöka utrustningen. Vi kommer att ge dig ett separat offert för den här tjänstekostnaden.

6. Om garantin:

Vår utrustning har en garantiavtal på 12 månader. Efter garantiavtalet, om några delar skadas och behöver bytas ut, kommer vi endast att debitera kostnadspriset.

Mer produkter

Fråga

Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved

Integritspolicy

Fråga Email WhatsApp Top
×

Kom i kontakt