Automatic CMP Post Clean , Kina Automatic CMP Post Clean Tillverkare, leverantörer, fabrik

Produktbeskrivning

Rengöringsutrustning efter Wafer Chemical Mechanical Polering

CMP Post Chean

Maskinfunktioner

Stark processförmåga
Dubbelkammarborstning, med ett brett spektrum av processtillämpbarhet
Utrustningen upptar en liten yta, med dimensioner på 2200 * 800 * 2200 (mm)

Programfält

6-8 tum CMP efter borstning
Rengöring efter slipning av SIC eller andra underlag

Tekniska parametrar

Rengöring efter 4-tums och 6-tums CMP
Dubbelkammardesign, oberoende kammardrift Blöt in och torka ut eller torka in och torka ut
Höghastighets centrifugering torr SRD

LoadPort-enhet, laddningsenhet

LoadPort är enhetens laddningsenhet

Våt Kassettmatning
Har sprayfuktande funktion

Borsteenhet, Waferrengöringsenhet

Dubbelkammarenhet, som klarar två olika rengöringslösningar
Borstläget kan justeras enligt receptet Bälttransportör

SRD-enhet, Wafer-torkenhet

Spinntorkning av waferclamp-typ, med en maximal hastighet på 4000RPM
Kan utföra AS-rengöring på waferytor och spraya DIW

LADDA AV aggregat, klippaggregat

UnLoad-enheten har en oberoende FFU för att säkerställa renheten hos wafer-utmatningen

Transportör

Våtområdet är bandtransportör

Torrt område för robotteleportering

Beskrivning av borstenhet

Som visas i den vänstra bilden består borstenheten i denna enhet av två borstenheter, nämligen BU1 BU2.

Borsttrycket för varje enhet kan justeras separat (enligt receptet), och varje borstbladsenhet kan tvättas med olika kemiska rengöringslösningar separat.

Maskinens borste använder PVA-borsten, som är en vanlig typ på marknaden.
Överföringen mellan kaviteterna är bandtransportör. Det finns en DIW RINSE inuti håligheten

SRD-enhet

SRD-enheten är utrustad med en klämmande CHUCK och en AS ARM, som ytterligare fysiskt kan rengöra och centrifugera waferytan.

Specifikation

Utrustningsstorlek:	2200 * 800 * 2200 (mm)
Lastning och lossningsmetoder	torka in/våta in/torka ut
Antal borstenheter	2
Antal SRD-enheter	1
Transportmetod	Våtzonsbandtransport, torrzonsrobottransport
Storleken på utrustningen med en borstkammare på 1 är 1850 * 800 * 2200

Förpackning och leverans

Företagsprofil

FAQ

1. Om pris:
Alla våra priser är konkurrenskraftiga och förhandlingsbara. Priset varierar beroende på konfigurationen och anpassningskomplexiteten för din enhet.

2. Om exempel:
Vi kan tillhandahålla provproduktionstjänster åt dig, men du kan tillhandahålla vissa avgifter.

3. Om betalning:
Efter att planen har bekräftats måste du först betala oss en deposition, och fabriken kommer att börja förbereda varorna. Efter den
utrustningen är klar och du betalar resten, vi skickar den.

4. Om leverans:
Efter att utrustningstillverkningen är klar skickar vi godkännandevideon till dig och du kan också komma till platsen för att inspektera utrustningen.

5. Installation och felsökning:
När utrustningen anländer till din fabrik kan vi skicka ingenjörer för att installera och felsöka utrustningen. Vi kommer att ge dig en separat offert för denna serviceavgift.

6. Om garanti:

Vår utrustning har 12 månaders garantitid. Efter garantitiden, om några delar är skadade och behöver bytas ut, debiterar vi endast självkostnadspriset.