Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
EN
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Få offert

Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.

Hemsida
Om oss
MH Equipment
Lösning
Användare utomlands
Video
Kontakta oss
Hem> Wafer Grinder
  • Automatisk enkelt plattform Wafer Kemisk Mekanisk Polerare Planarization CMP
  • Automatisk enkelt plattform Wafer Kemisk Mekanisk Polerare Planarization CMP
  • Automatisk enkelt plattform Wafer Kemisk Mekanisk Polerare Planarization CMP
  • Automatisk enkelt plattform Wafer Kemisk Mekanisk Polerare Planarization CMP
  • Automatisk enkelt plattform Wafer Kemisk Mekanisk Polerare Planarization CMP
  • Automatisk enkelt plattform Wafer Kemisk Mekanisk Polerare Planarization CMP
  • Automatisk enkelt plattform Wafer Kemisk Mekanisk Polerare Planarization CMP
  • Automatisk enkelt plattform Wafer Kemisk Mekanisk Polerare Planarization CMP
  • Automatisk enkelt plattform Wafer Kemisk Mekanisk Polerare Planarization CMP
  • Automatisk enkelt plattform Wafer Kemisk Mekanisk Polerare Planarization CMP

Automatisk enkelt plattform Wafer Kemisk Mekanisk Polerare Planarization CMP

Få en gratis offert
Produktbeskrivning
ATOM Single Platen CMP

Maskinfunktioner

Enheten är flexibel och kan stödja flera huvuden.
Utrustningens processförmåga är nära den högsta nivån av produkter av samma storlek.
God konsekvens mellan enheters process.

Ansökningsfält

4-8 tum STI, ILD/IMD, TSV, TGV-slipning och yteslipning av sammansättningar som SiC, LT, LN, GaAs, etc

Tekniska parametrar

4-tums, 6-tums, 8-tums huvuden, flerzonkontroll
Typ av Φ20-tums 508MM-platén
Huvudtrycksregleringsnoggrannhet <0.05PSI
Rotationshastighetsnoggrannhet för huvud och platén <2RPM

1. LoadPort-enhet

Porten kan vändas för att doppa Cassette i Qtank, vilket undviker bildningen av Slurry-kristaller på
slipnad yta av Wafer. Utrustad med Cassette Mapping-funktion.

2. Robotmaterialhämtningseinhet

Utrustad med en 4-axelsrobot som kan automatiskt överföra plattor från Cassette till slipenheten.

3. Poleringsenhet

Denna enhet är utrustad med Platen * 1, Huvud * 1, PC *
1, Slurry Arm * 1, HCLU * 1 och EPD-slutpunkt
detektering. Den kan uppnå automatisk wafer-laddning och avladdning, flersones huvudkontroll, Slurry
landningspunkt ändring med Receptinställningar, slutpunktsdetektering och andra funktioner.
CMP Poleringshuvud
Poleringshuvuden som konfigurerats på detta enhet är alla oberoende utvecklade, designade och producerade av vår företag.
Bland annat är det 4-tums 3-kavithuvud ett unikt produkt skapat av vårt företag, vilket fyller luckan av inget multikavitets 4-tums huvud i Kina. Vår företag kan snabbt ändra eller anpassa huvudet enligt produktegenskaperna hos kundens produkt. Under utvecklingen av TGV tunnfilms (200um) produkter, ändrades den inre strukturen av huvudet för att uppfylla kraven på tunnfilmspolering. Under utvecklingsprocessen av LN ytor OX-poleringsteknik, uppgraderade vårt företag djupt det 6-tums huvudet och lyckades uppfylla kundens produktkrav.
Tillämpningar
Traditionell IC-planariseringsspanskedningsprocess;
TGV/TSV-process;
Smart Cut och Pre bonding CMP;
SIC-underlagspolning/galliumarsenidpolning.
Specificitet
Hamn
Antal * 1, med Q-tank
Robot
Antal * 1, för vafäröverföring
HCLU
Antal * 1, för automatisk inläsning och utläsning av vafärer
Poleringshuvud
Antal * 13 kavitetsskärning, styckgrannhet på 0,1PSI, kan stödja 400-1200 UM vafäroperationer.
Hastighet för poleringshuvud
5-150RPM
Polerskiva
Kvantitet * 1 Poleringsdisc Storlek 508mm, Poleringsmatta Hastighet 10-150rpm.
Beskärningsarm
Kvantitet * 1 poleringsmatta. Poleringsmattan kan poleras online (samtidigt) eller offline (efter polering). Beskärning
armen är utrustad med en beskärningsaxel, vilken kan rotera och röra sig upp och ner, och hastigheten och nedtryck kan kontrolleras. Den
beskärningsverktyget monteras på beskärningsaxeln och kan snabbt
tas bort. Enligt de olika typerna av poleringsmattor konfigureras olika typer av klädningsverktyg, inklusive klädning
borstar, diamantringar och diamantskivor.
UPA-poleringshuvudets lufttrycksstyrningsenhet
Mängd * 13 justerbar för bättre ytplaneringseffekt
Slipflüssighetspump
Mängd * 2. Peristaltiska pumpar används för flüssighetsförsörjning, med 2 peristaltiska pumpar konfigurerade för att leverera olika släppflüssigheter
till slippladan. Varje pump kan användas i vilken processsteg som helst.
Slurry Arm
Mängd * 1 kan kontrollera nederlagpunkt för slurry och kan rengöra slipsidan.
Operatörsystemet kan uppnå användarnivåkontroll, såsom operatörsläge, underhållsläge och tekniskt läge, och varje läge styrs av lösenord. Systemprogramvaran kan redigera processparametrarna för varje processsteg och plana och
slipa tjockfilmen på chipsidan enligt programmet. Den kan övervaka driftstatusen för utrustningen, övervaka processparametrar i realtid och programvaran kan automatiskt lagra olika processdata. Utstyrd med en nödstoppknapp
polishar den tynne filmen på chipsidan enligt programmet.
den kan övervaka utrustningens driftstatus, övervaka processparametrar i realtid och programvaran kan automatiskt lagra olika processdata. Utstyrd med en nödstoppknapp
knapp, används för att omedelbart stoppa utrustningsdrift och avbryta styrströmmen.
Förpackning & Leverans
Företagsprofil
Vanliga frågor
1. Om pris:
Alla våra priser är konkurrenskraftiga och förhandlingsbara. Priset varierar beroende på konfigurationen och komplexiteten av anpassningen av din enhet.

2. Om provproduktion:
Vi kan erbjuda provproduktions tjänster, men du kanske måste betala vissa avgifter.

3. Om betalning:
När planen är bekräftad måste du betala en förskottsbetala till oss först, och fabriken kommer att börja förbereda varorna. När
utrustningen är redo och du har betalat restbeloppet, skickar vi ut den.

4. Om leverans:
När tillverkningen av utrustningen är klar skickar vi dig en acceptansvideo, och du kan också komma till platsen för att inspektera utrustningen.

5. Installation och justering:
När utrustningen ankommer till din fabrik kan vi skicka ut ingenjörer för att installera och felsöka utrustningen. Vi kommer att ge dig ett separat offert för den här tjänstekostnaden.

6. Om garantin:
Vår utrustning har en garantiavtal på 12 månader. Efter garantiavtalet, om några delar skadas och behöver bytas ut, kommer vi endast att debitera kostnadspriset.

Mer produkter

Fråga

Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved

Integritspolicy

Fråga Email WhatsApp Top
×

Kom i kontakt