Slipbar oblat |
Storlek |
Inches |
4,5,6,8 |
Wafer kassett |
Antal |
- |
2 |
Gnuggande sätt |
- |
Vertikal nedslipningsmetod |
|
Sliphjulsspindel |
Typer |
- |
Luftlager |
Antal |
- |
2 |
|
Fart |
rpm |
0 ~ 5000 |
|
Uteffekt |
Kw |
5.5/7.5 |
|
Stroke |
mm |
150 |
|
Feedhastighet |
um/s |
0.01 ~ 100 |
|
Snabb hastighet framåt |
mm / min |
300 |
|
Upplösning |
um |
0.1 |
|
Arbetsstyckets axel |
Typ |
- |
Kullager |
Antal |
- |
3 |
|
Typ sugkopp |
- |
Mikroporös keramik |
|
Wafer sugmetod |
- |
Vakuumadsorption |
|
Fart |
rpm |
0 ~ 300 |
|
Waferöverföring |
- |
Robotarm |
|
- |
Roterande skiva |
||
Övriga funktioner |
Wafercentrering |
- |
Mobil stiftinriktning |
Rengöring av rån |
- |
Vatten- och luftrening, centrifugering |
|
Rengöring av sugkopp |
- |
Rengöring av oljesten |
|
Slipskiva |
mm |
Φ200 |
|
ONLINE mätning |
Mätområde |
um |
0 ~ 1800 |
Upplösning |
um |
0.1 |
|
Upprepa noggrannhet |
um |
± 0.5 |
|
bearbetning noggrannhet |
Intra-wafer noggrannhet (TTV) |
um |
≤ 2 |
Inter-wafer precision (WTW) |
um |
± 3 |
|
Ytjämnhet (Ry) |
um |
0.13(2000#finish) |
|
Utseende |
Utseende färg |
um |
Orange mönster |
Mått (B×D×H) |
mm |
1200 × 2750 × 1950 |
|
Vikt |
kg |
4200 |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Alla rättigheter reserverade