Bearbetningsbar wafer |
Storlek |
Inches |
4,5,6,8 |
Vafelkassett |
Nummer |
- |
2 |
Rubbningssätt |
- |
Lodrät nedsänkningsmetod för smyging |
|
Smygspindel |
Typer |
- |
Luftläggare |
MÄNGD |
- |
2 |
|
Hastighet |
rpm |
0~5000 |
|
Utgående effekt |
KW |
5.5/7.5 |
|
Slag |
mm |
150 |
|
Matningshastighet |
um/s |
0.01~100 |
|
Spolförloppshastighet |
mm/min |
300 |
|
Upplösning |
um |
0.1 |
|
Arbetsstyckets axel |
TYP |
- |
Kulager |
MÄNGD |
- |
3 |
|
Sugkupotyp |
- |
Mikroporös keramik |
|
Waferuppsugningsmetod |
- |
Vakuumadsorption |
|
Hastighet |
rpm |
0~300 |
|
Wafertransport |
- |
Robotarm |
|
- |
Roterande skiva |
||
Andra funktioner |
Wafercentrering |
- |
Mobil pinsjustering |
Waferrenskning |
- |
Vatten och luft rensning, cirkulationsdrying |
|
Rensning av sugkupor |
- |
Burransning |
|
SLIPPNING |
mm |
φ200 |
|
ONLINE mätning |
Mätområde |
um |
0~1800 |
Upplösning |
um |
0.1 |
|
Upprepningsnoggrannhet |
um |
±0,5 |
|
Bearbetning noggrannhet |
Intra-wafer noggrannhet (TTV) |
um |
≤2 |
Inter-wafer noggrannhet (WTW) |
um |
±3 |
|
Ytbrukthet (Ry) |
um |
0,13 (2000# färdig) |
|
Utseende |
Utsynsfärgning |
um |
Apelsinmönster |
Dimensioner(B×D×H) |
mm |
1200×2750×1950 |
|
Vikt |
kg |
4200 |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved